[發(fā)明專利]一種高精度光刻膠分配泵控制裝置及其控制方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810228795.6
• 申請日: 2008-11-14
• 公開（公告）號: CN101738868A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙宇;張軍;董文博;劉賀祥
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;G05B19/02
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種化學(xué)藥品供應(yīng)設(shè)備中的光刻膠分配泵，尤其是一種可 精確控制不同種類化學(xué)藥品用量的高精度光刻膠分配泵控制裝置及其控制 方法。

背景技術(shù)

目前，半導(dǎo)體設(shè)備中使用的化學(xué)藥品供應(yīng)系統(tǒng)中的工藝泵主要采用隔 膜泵，但隔膜泵對膠量無法實現(xiàn)高精密控制。在光刻膠成本很高的情況下， 每片晶片在涂膠的時候需要的膠量是一定的，如果每一片晶片浪費1ml，就 意味著半導(dǎo)體制造廠商每一年要在光刻膠上增加巨大的投入。在這種情況 下，就需要對光刻膠的使用量進(jìn)行精確的控制，減少不必要的浪費，降低 成本。在對需要精確控制不同種類化學(xué)藥品的量的時候，普通的控制裝置 無法實現(xiàn)精確控制

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)中存在控制不精確的缺陷，本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是 提供一種可精確控制不同種類化學(xué)藥品用量的高精度光刻膠分配泵控制裝 置及其控制方法。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

本發(fā)明一種高精度光刻膠分配泵控制器包括：

主控電路，具有執(zhí)行控制程序的第1處理器，其將輸入的選擇命令和/ 或控制信號通過通訊接口與泵驅(qū)動電路進(jìn)行通訊連接；泵驅(qū)動電路，由第2 處理器接收主控電路的控制信號，實現(xiàn)對光刻膠分配泵的選擇控制。

所述主控電路以第1處理器中的第1單片機(jī)為控制核心結(jié)合人機(jī)接口 電路、第1參數(shù)掉電保護(hù)電路及第1復(fù)位電路構(gòu)成，單片機(jī)的數(shù)字量輸入 端與人機(jī)接口電路的鍵輸入信號相連，輸出端接有報警指示；所述泵驅(qū)動 電路以第2單片機(jī)為控制核心結(jié)合步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動電路、第2參數(shù)掉電保護(hù) 電路及第2復(fù)位電路構(gòu)成，第2單片機(jī)的數(shù)字端分別與不同的步進(jìn)電機(jī)驅(qū) 動電路相連。

本發(fā)明一種高精度控制器的控制方法包括以下步驟：

在多個光刻膠分配泵中選擇參與控制的泵；

設(shè)置各參與控制的泵參數(shù)；

將數(shù)據(jù)傳輸給泵驅(qū)動電路；

泵驅(qū)動電路對被選泵進(jìn)行控制。

所述泵驅(qū)動電路對被選泵進(jìn)行控制包括以下步驟：

判斷是否使用加減速控制；

根據(jù)勻變速運動公式計算驅(qū)動泵電機(jī)的加速步數(shù)，輸出至泵驅(qū)動電路。

加速步數(shù)通過以下公式計算得到：

T＝2(n*V0-a*(1+n)*n/2)+(V0-a*n)*(N-2*n)

其中，T為噴射時間，n為加速步數(shù)，V0為起始速度，a為加速度， N為總脈沖數(shù)。

在設(shè)置各參與控制的泵參數(shù)步驟后還具有確認(rèn)所設(shè)參數(shù)范圍是否正確 步驟，所述參數(shù)范圍為：光刻膠分配泵的噴射量范圍0.1cc～5.0cc；噴射 速度范圍0.1cc/sec～5.0cc/sec；單次噴射量x不能低于0.1cc；四段設(shè)置 的噴射量總和不能高于5.0cc；噴射時間不能超出x/5～x/0.1；如所設(shè)置的 參數(shù)超出范圍，系統(tǒng)自動報警提示。

所述設(shè)置各參與控制的泵參數(shù)包括以下步驟：

判斷是否進(jìn)行泵參數(shù)設(shè)置；

如是，則選擇化學(xué)藥品的配方制；

根據(jù)上述配方設(shè)置泵參數(shù)；

確認(rèn)所設(shè)參數(shù)是否正確；

正確，則保存，接續(xù)將數(shù)據(jù)傳輸給泵驅(qū)動電路步驟。

如果所設(shè)參數(shù)不正確，則轉(zhuǎn)至在多個光刻膠分配泵中選擇參與控制的 泵步驟。

如果不進(jìn)行泵參數(shù)設(shè)置，則判斷是否需要排空氣泡；

如需要排空氣泡，則設(shè)置排空氣泡的次數(shù)；

接續(xù)將數(shù)據(jù)傳輸給泵驅(qū)動電路步驟；

如果不需要排空氣泡，則轉(zhuǎn)至判斷是否進(jìn)行泵參數(shù)設(shè)置步驟。

本發(fā)明具有以下有益效果及優(yōu)點：

1.控制精確，杜絕浪費。本發(fā)明通過硬件及軟件的配合控制，能準(zhǔn)確 的控制光刻膠的吐出量，減少各種光刻膠尤其是昂貴的光刻膠的浪費，減 少企業(yè)的投入；

2.工作效率高。本發(fā)明能夠?qū)Χ嗯_高精度光刻膠分配泵進(jìn)行控制，又 可保存每臺泵的多種配方設(shè)置，為用戶提供了便捷的使用方式，如泵的噴 射速度、加速度及噴射后回吸速度等多種可設(shè)置參數(shù)，減少輸入數(shù)據(jù)的時 間和次數(shù)，提高了效率，可以更大程度的滿足客戶需求；

3.應(yīng)用靈活。本發(fā)明裝置的泵驅(qū)動電路部分可作為一個獨立單元，使 用更加靈活。

附圖說明

圖1為本發(fā)明裝置的電氣結(jié)構(gòu)框圖；