[發(fā)明專利]一種高精度光刻膠分配泵控制裝置及其控制方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810228795.6
• 申請(qǐng)日: 2008-11-14
• 公開（公告）號(hào): CN101738868A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙宇;張軍;董文博;劉賀祥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/16
• 分類號(hào): G03F7/16;G05B19/02
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

1.一種高精度控制器的控制方法，其特征在于包括以下步驟：

在多個(gè)光刻膠分配泵中選擇參與控制的泵；

設(shè)置各參與控制的泵參數(shù)；

將數(shù)據(jù)傳輸給泵驅(qū)動(dòng)電路；

泵驅(qū)動(dòng)電路對(duì)被選泵進(jìn)行控制；

所述泵驅(qū)動(dòng)電路對(duì)被選泵進(jìn)行控制包括以下步驟：

判斷是否使用加減速控制；

根據(jù)勻變速運(yùn)動(dòng)公式計(jì)算驅(qū)動(dòng)泵電機(jī)的加速步數(shù)，輸出至泵驅(qū)動(dòng)電路；

所述加速步數(shù)通過以下公式計(jì)算得到：

T＝2(n*V0-a*(1+n)*n/2)+(V0-a*n)*(N-2*n)

其中，T為噴射時(shí)間，n為加速步數(shù)，V0為起始速度，a為加速度，N為總 脈沖數(shù)；

在設(shè)置各參與控制的泵參數(shù)步驟后還具有確認(rèn)所設(shè)參數(shù)范圍是否正確步驟， 所述參數(shù)范圍為：光刻膠分配泵的噴射量范圍0.1cc～5.0cc；噴射速度范圍 0.1cc/sec～5.0cc/sec；單次噴射量x不能低于0.1cc；四段設(shè)置的噴射 量總和不能高于5.0cc；噴射時(shí)間不能超出x/5～x/0.1；

如所設(shè)置的參數(shù)超出范圍，系統(tǒng)自動(dòng)報(bào)警提示；

所述設(shè)置各參與控制的泵參數(shù)包括以下步驟：

判斷是否進(jìn)行泵參數(shù)設(shè)置；

如是，則選擇化學(xué)藥品的配方；

根據(jù)上述配方設(shè)置泵參數(shù)；

確認(rèn)所設(shè)參數(shù)是否正確；

正確，則保存，接續(xù)將數(shù)據(jù)傳輸給泵驅(qū)動(dòng)電路步驟；

如果所設(shè)參數(shù)不正確，則轉(zhuǎn)至在多個(gè)光刻膠分配泵中選擇參與控制的泵步 驟；

如果不進(jìn)行泵參數(shù)設(shè)置，則判斷是否需要排空氣泡；

如需要排空氣泡，則設(shè)置排空氣泡的次數(shù)；

接續(xù)將數(shù)據(jù)傳輸給泵驅(qū)動(dòng)電路步驟；

如果不需要排空氣泡，則轉(zhuǎn)至判斷是否進(jìn)行泵參數(shù)設(shè)置步驟。