[發明專利]真空緩沖裝置

有效

• 申請號: 200810228374.3
• 申請日: 2008-10-29
• 公開（公告）號: CN101728234A
• 公開（公告）日: 2010-06-09
• 發明（設計）人: 侯憲華
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/683
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 張志偉

1.一種真空緩沖裝置，其特征在于：該裝置設有真空包，真空包上設有與 真空管路連接的接口；真空包為圓柱型兩頭敞開的真空管和真空管兩邊的悶蓋焊 接而成的結構；真空管上焊接連塊，廢物收集裝置可以拆卸的與連塊相連；廢物 收集裝置設有杯座、密封圈、真空杯，杯座與真空管上焊接的連塊相連，杯座底 部連接真空杯，真空杯與杯座之間設置有密封圈，杯座上設有開孔，開孔分別與 真空管和真空杯相通。

2.按照權利要求1所述的真空緩沖裝置，其特征在于：接口至少三個，有 一路接口與外真空相連，一路接口與設備的真空顯示開關相連，其余接口連接各 個真空管路上。

3.按照權利要求1所述的真空緩沖裝置，其特征在于：真空包通過固定板 固定在設備上。

4.按照權利要求1所述的真空緩沖裝置，其特征在于：真空包是圓柱形密 封的空腔。

5.按照權利要求1所述的真空緩沖裝置，其特征在于：真空杯底部依次設 置壓條和擰緊螺母，壓條為向下凸起、具有彈性的拱形結構，壓條和擰緊螺母通 過螺柱螺紋連接，擰緊螺母焊接于固定鉤上，固定鉤的兩端分別鉤在杯座兩側。