[發明專利]有機電致發光器件及其制造方法

有效

• 申請號: 200810227260.7
• 申請日: 2008-11-25
• 公開（公告）號: CN101740726A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發明（設計）人: 王玉林
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/50
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 劉芳

技術領域

本發明涉及平板顯示技術領域，尤其涉及一種有機電致發光器件及其制造方法。?

背景技術

有機電致發光器件又稱為有機發光二極管(Organic?Light?EmittingDiode，簡稱OLED)，是一種新型的平板顯示器件，與液晶顯示器件相比，OLED具有主動發光、高亮度、超薄、低功耗、大視角以及工作溫度范圍寬等諸多優點。?

在OLED器件的結構中，絕緣層是不可或缺的部分之一，絕緣層的作用包括限制像素面積大小、確定顯示單元像素準確位置以及阻止陰極和陽極之間發生短路等。?

通常，在OLED器件的制備過程中，在基板上涂敷光敏性聚酰亞胺(ployimide，簡稱PI)，通過掩模板對光敏性PI曝光、顯影，形成絕緣層圖形，然后在絕緣層上制備隔離柱。PI是一種有機絕緣材料，可以用作OLED器件中的絕緣層。?

現有技術制備OLED器件的工藝，由于直接對形成絕緣層的材料曝光來獲得絕緣層圖形，所以需要用到光敏性有機絕緣材料，但是光敏性PI價格昂貴，對于降低OLED器件生產成本不利；并且，通常絕緣層和隔離柱的材料不同，會造成隔離柱和絕緣層之間的接觸不穩定，從而影響OLED器件的穩定性。?

發明內容

本發明的目的在針對現有技術中存在的問題，提供一種OLED及其制造方法，避免采用價格昂貴的光敏性有機絕緣材料，并克服絕緣層和隔離柱之間由于材料差異導致的接觸不穩定的問題。?

為了實現上述目的，本發明提供了一種有機電致發光器件制造方法，包括：?

步驟1、在基板上形成第一電極；?

步驟2、在形成有所述第一電極的基板上連續形成非光敏性有機絕緣材料和正性光刻膠，采用能夠形成絕緣層圖形的掩模板對所述正性光刻膠進行曝光，然后顯影和刻蝕，并保留正性光刻膠，形成絕緣層圖形；?

步驟3、在經過所述步驟2的基板上形成正性光刻膠，采用能夠形成隔離柱的掩模板對所述步驟3中形成的正性光刻膠進行曝光和顯影，形成隔離柱圖形；步驟3中形成的正性光刻膠的材料與步驟2中形成的正性光刻膠材料相同；?

步驟4、在經過所述步驟3之后的基板上形成有機材料層；?

步驟5、在經過所述步驟4之后的基板上形成第二電極。?

為了實現上述目的，本發明還提供了一種有機電致發光器件，包括：?

第一電極，設置在基板上；?

絕緣層，設置在形成有所述第一電極的基板上，所述絕緣層的材料為非光敏性有機絕緣材料；?

正性光刻膠，設置在所述絕緣層上；?

隔離柱，設置在所述正性光刻膠上，所述隔離柱的材料與所述正性光刻膠相同；?

有機材料層，形成在所述隔離柱、正性光刻膠以及所述第一電極上；?

第二電極，形成在所述有機材料層上。?

本發明提供的有機電致發光器件及其制造方法，在形成有第一電極的基板上連續形成普通的非光敏性有機絕緣材料和正性光刻膠，采用能夠形成絕緣層圖形的掩模板對正性光刻膠曝光，然后顯影刻蝕，形成絕緣層圖形，這樣就避免了采用價格昂貴的光敏性有機絕緣層材料，可以降低有機電致發光器件中絕緣層部分的成本，從而降低整個有機電致發光器件的成本，并且隔離柱的材料與形成在隔離柱之下的正性光刻膠的材料是相同的，可以避免由于隔離柱和絕緣層材料差異導致的接觸不穩定，有利于提高有機電致發光器件的穩定性。?

下面通過附圖和實施例，對本發明的技術方案做進一步的詳細描述。?

附圖說明

圖1所示為本發明有機電致發光器件制造方法中形成第一電極之后的結構示意圖；?

圖2所示為本發明有機電致發光器件制造方法中形成絕緣層之后的結構示意圖；?

圖3所示為本發明有機電致發光器件制造方法中形成隔離柱之后的結構示意圖；?

圖4所示為本發明有機電致發光器件制造方法中形成第二電極之后的結構示意圖。?

具體實施方式

本發明提供的OLED制造方法包括如下步驟：?

步驟1、在基板上形成第一電極；?

步驟2、在形成有第一電極的基板上連續形成非光敏性有機絕緣材料和正性光刻膠，采用能夠形成絕緣層圖形的掩模板對所述正性光刻膠進行曝光，然后顯影和刻蝕，并保留正性光刻膠，形成絕緣層圖形；?