[發明專利]一種機械手調度方法、裝置及等離子體處理設備

有效

• 申請號: 200810225524.5
• 申請日: 2008-11-04
• 公開（公告）號: CN101740441A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發明（設計）人: 馬寶林
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/00;B25J3/00;B25J9/16
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 張天舒;陳源

技術領域

本發明涉及機械傳輸和等離子技術領域，具體而言，涉及一種機械手調度方法、裝置及等離子體處理設備。?

背景技術

目前，在等離子技術領域中，為了獲得較高的投入回報，需要等離子體處理設備具有較高的產率。現有的等離子體處理設備通常包括多個晶片盒、一個諸如機械手的傳輸裝置、多個腔室模塊和一個晶片校準器。通常，由機械手將晶片從晶片盒中取出，并根據工藝需要放到目標腔室模塊中，以便在此進行后續操作。實際工藝中，一個諸如晶片等的待處理工件可以訪問不同腔室模塊以完成不同操作，并在這些工藝完畢后，由機械手將晶片從腔室模塊中取出并放到晶片盒中，這樣，一個晶片的加工/處理工藝過程即完畢。?

請參閱圖1，現有的一種等離子體處理設備包括6個腔室模塊(即，腔室模塊1至6，并且每一個腔室模塊均可以作為晶片單次傳輸的目標腔室模塊)、一個機械手。該機械手具有兩個同軸的手臂A和B，并根據預先計算出的晶片傳輸路徑序列在各個腔室模塊之間傳輸晶片，以完成工藝過程。?

在實際應用中，當兩個手臂A和B同時空閑時，如果要對某個腔室模塊進行取片/放片的操作，通常會隨機地選擇手臂A或者手臂B，而后再確定所選手臂是順時針旋轉還是逆時針旋轉，以便旋轉最小角度而快速到達目標腔室模塊，從而實現快速傳片。?

事實上，采用上述方法進行傳片時，仍然存在著傳片速度有待進一步提高的問題，例如，如果在圖1所示等離子體處理設備所處狀態下，要對腔室模塊1進行傳片操作，并且手臂A和手臂B都處于空閑狀態，那么系統在隨機選擇手臂時可能會選擇手臂A，這種情況下，因手臂A距離腔室模塊1相對較遠，因此其旋轉到腔室模塊1的角度比手臂B旋轉到腔室模塊1所需的旋轉角度大，這樣，手臂A進行上述旋轉就需要經歷較長的時間，從而導致整個工藝過程中機械手傳片的效率較低，并最終影響整個等離子體處理設備的工作效率，進而影響機臺產率。?

發明內容

為解決上述技術問題，本發明提供了一種機械手調度方法及機械手調度裝置，其能夠科學地選擇手臂并實現快速傳輸操作。?

此外，本發明還提供一種應用上述機械手調度方法的等離子體處理設備，以及應用上述機械手調度裝置的等離子體處理設備，其同樣能夠科學地選擇手臂并實現快速傳輸操作。?

為此，本發明提供一種機械手調度方法，其包括手臂選擇步驟和手臂移動步驟。在所述手臂選擇步驟中，根據空閑手臂的數量、手臂當前位點Cu_Stn、目標位點M_Stn，選擇距離目標位點最近的手臂；具體包括：步驟10)，判斷空閑的手臂數量，如果空閑手臂數等于2，則轉到步驟20)；如果空閑手臂數等于1，則直接選擇該空閑的手臂，并結束手臂選擇步驟；如果無空閑手臂，則返回表示無空閑手臂的信息，并結束手臂選擇步驟；以及步驟20)，計算手臂當前位點Cur_Stn與目標位點M_Stn的差值，并將該差值的絕對值賦值給變量a，即，a＝|Cur_Stn-M_Stn|；計算手臂當前位點Cur_Stn與目標位點M_Stn的差值，將該差值與N/2求和后的絕對值賦值給變量b，即，b＝|Cur_Stn+N/2-M_Stn|；判斷是否a＞N/2，如果是，則將a重新賦值為a＝N-a，否則保持a值不變；判斷是否b＞N/2，如果是，則將b重新賦值為b＝N-b，否則保持b值不變；并且比較a和b，如果a＜b，則確定第一手臂離目標位點最近并選擇該手臂，否則確定第二手臂離目標位點最近并選擇該手臂，其中，N為位點總數，其對應于腔室模塊總數。在所述手臂移動步驟中，使所選擇的手臂旋轉至目標位點，以便由該手臂在目標位點處執行傳輸操作。?

作為另一技術方案，本發明還提供一種機械手調度方法并且該機械手的位點總數等于6。所述機械手調度方法包括手臂選擇步驟和手臂移動步驟。在所述手臂選擇步驟中，根據空閑手臂的數量、手臂當前位點Cur_Stn、目標位點M_Stn，選擇距離目標位點最近的手臂；具體包括：步驟10)，判斷空閑的手臂數量，如果空閑手臂數等于2，則轉到步驟30)；如果空閑手臂數等于1，則直接選擇該空閑的手臂，并結束手臂選擇步驟；如果無空閑手臂，則返回表示無空閑手臂的信?息，并結束手臂選擇步驟；以及步驟30)，判斷是否|Cur_Stn-M_Stn|＜＝1，或者|Cur_Stn-M_Stn|＝5；如果滿足上述條件之一，則確定選擇第一手臂；如果上述兩個條件都不滿足，則確定選擇第二手臂。在所述手臂移動步驟中，使所選擇的手臂旋轉至目標位點，以便由該手臂在目標位點處執行傳輸操作。?