[發明專利]一種機械手調度方法、裝置及等離子體處理設備

有效

• 申請號: 200810225524.5
• 申請日: 2008-11-04
• 公開（公告）號: CN101740441A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發明（設計）人: 馬寶林
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/00;B25J3/00;B25J9/16
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 張天舒;陳源

1.一種機械手調度方法，其特征在于，包括手臂選擇步驟和手 臂移動步驟，其中

在所述手臂選擇步驟中，根據空閑手臂的數量、手臂當前位點 Cur_Stn、目標位點M_Stn，選擇距離目標位點最近的手臂；具體包括：

步驟10)，判斷空閑的手臂數量，如果空閑手臂數等于2， 則轉到步驟20)；如果空閑手臂數等于1，則直接選擇該空閑 的手臂，并結束手臂選擇步驟；如果無空閑手臂，則返回表 示無空閑手臂的信息，并結束手臂選擇步驟；

步驟20)，計算手臂當前位點Cur_Stn與目標位點M_Stn 的差值，并將該差值的絕對值賦值給變量a，即，a＝|Cur_Stn- M_Stn|；計算手臂當前位點Cur_Stn與目標位點M_Stn的差值， 將該差值與N/2求和后的絕對值賦值給變量b，即，b＝|Cur_Stn +N/2-M_Stn|；判斷是否a＞N/2，如果是，則將a重新賦值為a＝ N-a，否則保持a值不變；判斷是否b＞N/2，如果是，則將b重 新賦值為b＝N-b，否則保持b值不變；并且比較a和b，如果a＜b， 則確定第一手臂離目標位點最近并選擇該手臂，否則確定第二 手臂離目標位點最近并選擇該手臂；其中，N為位點總數，其 對應于腔室模塊總數；并且

在所述手臂移動步驟中，使所選擇的手臂旋轉至目標位點，以便 由該手臂在目標位點處執行傳輸操作。

2.根據權利要求1所述的機械手調度方法，其特征在于，在所述 手臂移動步驟中還包括確定手臂旋轉方向的步驟：即，根據目標位點 M_Stn和所選手臂的當前位點Cur_Stn，確定所選手臂的旋轉方向，以 使該手臂旋轉最小角度而到達目標位點。

3.根據權利要求1所述的機械手調度方法，其特征在于，所述目標 位點對應于目標腔室模塊。

4.一種機械手調度方法，其特征在于，所述機械手的位點總數 等于6，并且該機械手調度方法包括手臂選擇步驟和手臂移動步驟， 其中

在所述手臂選擇步驟中，根據空閑手臂的數量、手臂當前位點 Cur_Stn、目標位點M_Stn，選擇距離目標位點最近的手臂；具體包括：

步驟10)，判斷空閑的手臂數量，如果空閑手臂數等于2， 則轉到步驟30)；如果空閑手臂數等于1，則直接選擇該空閑 的手臂，并結束手臂選擇步驟；如果無空閑手臂，則返回表 示無空閑手臂的信息，并結束手臂選擇步驟；

步驟30)，判斷是否|Cur_Stn-M_Stn|＜＝1，或者|Cur_Stn -M_Stn|＝5；如果滿足上述條件之一，則確定選擇第一手臂； 如果上述兩個條件都不滿足，則確定選擇第二手臂；并且

在所述手臂移動步驟中，使所選擇的手臂旋轉至目標位點，以便 由該手臂在目標位點處執行傳輸操作。

5.根據權利要求4所述的機械手調度方法，其特征在于，在所述 手臂移動步驟中還包括確定手臂旋轉方向的步驟：即，根據目標位點 M_Stn和所選手臂的當前位點Cur_Stn，確定所選手臂的旋轉方向，以 使該手臂旋轉最小角度而到達目標位點。

6.根據權利要求4所述的機械手調度方法，其特征在于，所述目標 位點對應于目標腔室模塊，所述位點總數對應于腔室模塊總數。