[發明專利]一種多晶硅的純度檢測方法及裝置無效
| 申請號： | 200810223000.2 | 申請日： | 2008-09-25 |
| 公開（公告）號： | CN101685048A | 公開（公告）日： | 2010-03-31 |
| 發明（設計）人： | 李核;田俊;陳紅雨 | 申請（專利權）人： | 華南師范大學 |
| 主分類號： | G01N1/28 | 分類號： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京凱特來知識產權代理有限公司 | 代理人： | 鄭立明 |
| 地址： | 510006廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多晶 純度 檢測 方法 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種多晶硅的純度檢測方法，其特征在于，所述方法包括：
A、將硅粉混合均勻后，用二次去離子水洗滌2～5次，然后烘干 至恒重；
B、將烘干后的硅粉放入Teflon盤子中，加水潤濕樣品，并加入 0.3mL～1mL濃度為2.5g/L的多羥基化合物溶液；
C、將所述Teflon盤子放置在Teflon容器上并放置于密封體中，在 所述密封體底部加入7mL～10mL優級純度的HF和2mL～3mL優級 純度的HNO3，密封所述密封體后加熱到110～120℃；所述密封體為 耐熱耐酸腐蝕的密閉容器；
D、當硅粉全部消解完全，打開所述密封體并揮發至干燥后，向 所述Teflon盤子內加入5mL～10mL?HNO3溶解殘渣后，轉移至塑料容 量瓶；
所述5mL～10mL?HNO3為HNO3與水的體積比為1：1的HNO3；
E、用二次去離子水對所述塑料容量瓶定容后，測定雜質元素的 含量；
所述多羥基化合物為甘露醇或甘油。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法在進行步 驟E之前還包括：將所述Teflon盤子用二次去離子水洗滌2～5次并注 入至所述塑料容量瓶。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于華南師范大學，未經華南師范大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200810223000.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：無源光網絡中信號傳輸和處理的方法、系統和裝置
- 下一篇：一種機腳
