[發(fā)明專利]末端執(zhí)行器及帶有該末端執(zhí)行器的基片傳送自動機械

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810215787.8
• 申請日: 2008-09-05
• 公開（公告）號: CN101383319A
• 公開（公告）日: 2009-03-11
• 發(fā)明（設計）人: 河宗義
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/677;B25J9/06;B65G47/90;B65G49/07
• 代理公司: 上海恩田旭誠知識產(chǎn)權代理有限公司
• 代理人: 尹洪波

1.一種用于包括臂的自動機械的末端執(zhí)行器，其包括：

肘節(jié)板，其可轉(zhuǎn)動地連接至所述臂；

第一托板，其以可沿垂直方向移動的方式連接至所述肘節(jié)板，以支承第一基片；以及

第二托板，其連接至所述肘節(jié)板，以支承第二基片，該第二托板靠近所述第一托板。

2.如權利要求1所述的末端執(zhí)行器，其特征在于，還包括升降裝置，其用于向上移動所述第一托板以讓所述第一托板支承所述第一基片，并用于向下移動所述第一托板以讓所述第二托板支承第二基片。

3.如權利要求2所述的末端執(zhí)行器，其特征在于，所述升降裝置包括，用于移動所述第一托板的驅(qū)動部和用于控制所述驅(qū)動部的控制器。

4.如權利要求1所述的末端執(zhí)行器，其特征在于，所述第一基片為待處理基片和經(jīng)處理基片中的任一種，且所述第二基片為所述待處理基片和經(jīng)處理基片中的另一種。

5.如權利要求1所述的末端執(zhí)行器，其特征在于，還包括設置在所述第一托板和第二托板的端部上的制動部，以防止所述第一基片和第二基片從所述第一托板和第二托板掉落。

6.一種基片傳送自動機械，包括：

可轉(zhuǎn)動殼體；

下臂，其可轉(zhuǎn)動地連接至所述殼體；

上臂，其可轉(zhuǎn)動地連接至所述下臂的端部；以及

末端執(zhí)行器，包括：肘節(jié)板，其可轉(zhuǎn)動地連接至所述上臂的端部；第一托板，其以可沿垂直方向移動的方式連接至所述肘節(jié)板以支承第一基片；和第二托板，其連接至所述肘節(jié)板以支承第二基片，該第二托板靠近所述第一托板。

7.如權利要求6所述的自動機械，其特征在于，所述末端執(zhí)行器包括升降裝置，其用于向上移動所述第一托板以讓所述第一托板支承所述第一基片，并用于向下移動所述第一托板以讓所述第二托板支承第二基片。

8.如權利要求7所述的自動機械，其特征在于，所述升降裝置包括，用于移動所述第一托板的驅(qū)動部和用于控制所述驅(qū)動部的控制器。

9.如權利要求6所述的自動機械，其特征在于，所述末端執(zhí)行器還包括設?置在所述第一托板和第二托板的端部上的制動部，以防止所述第一基片和第二基片從所述第一托板和第二托板掉落。

10.如權利要求6所述的自動機械，其特征在于，還包括第二末端執(zhí)行器，該第二末端執(zhí)行器包括：第二肘節(jié)板，其可轉(zhuǎn)動地連接至所述上臂的端部；第三托板，其以可沿垂直方向移動的方式連接至所述第二肘節(jié)板以支承第三基片；和第四托板，其連接至所述第二肘節(jié)板以支承第四基片，該第四托板靠近所述第三托板。

11.如權利要求10所述的自動機械，其特征在于，所述第二末端執(zhí)行器還包括第二升降裝置，其用于向上移動所述第三托板以讓所述第三托板支承所述第三基片，并用于向下移動所述第三托板以讓所述第四托板支承第四基片。