[發明專利]顆粒清除單元及具有該單元的基片傳送裝置

有效

• 申請號: 200810215297.8
• 申請日: 2008-09-19
• 公開（公告）號: CN101391256A
• 公開（公告）日: 2009-03-25
• 發明（設計）人: 安英基;鄭載正;成保藍璨;具教旭
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: B08B5/00
• 分類號: B08B5/00;B65G25/04
• 代理公司: 上海恩田旭誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 尹洪波

1.一種清除顆粒的單元，所述單元包括：

殼體；

以垂直方向設在所述殼體中的分區壁，其將所述殼體的內部空間分為第一空間與第二空間；

壓力生成部件，其將所述第一空間分為上空間與下空間，并且其可在所述第一空間中以垂直方向移動，以使所述上空間與所述下空間交替生成正壓與負壓；

第一門與第二門，它們分別鉸接至所述殼體側壁的上部與下部，以通過正壓從所述殼體向外打開，及

第三門與第四門，它們分別鉸接至所述分區壁的上部與下部，以通過負壓從所述上空間及下空間向內打開；

其中所述顆粒經由所述第一空間從所述第二空間清除至外部空間。

2.如權利要求1所述的單元，還包括分別連接至所述第一門、第二門、第三門、及第四門的彈性部件，以關閉已打開的所述第一門、第二門、第三門、及第四門。

3.如權利要求1所述的單元，其中所述第一門與第三門設于所述壓力生成部件的上死點的上方，并且所述第二門與第四門設于所述壓力生成部件的下死點的下方。

4.如權利要求1所述的單元，還包括移動所述壓力生成部件的驅動部。

5.如權利要求1所述的單元，還包括根據所述上空間中的壓力以及所述下空間中的壓力來打開及關閉所述門的驅動部。

6.一種清除顆粒的單元，所述單元包括：

殼體；

以垂直方向設在所述殼體中的分區壁，其將所述殼體的內部空間分為第一空間與第二空間；

壓力生成部件，其將所述第一空間分為上空間與下空間，并且其可在所述第一空間中以垂直方向移動，以使所述上空間與所述下空間交替生成正壓與負壓；及

鉸接至界定出所述上空間與下空間中任意一個的所述殼體側壁的一部分之上、以及所述分區壁的一部分之上的多扇門，

其中鉸接至所述殼體側壁的一部分之上的所述門通過正壓從所述殼體向外打開；

鉸接至所述分區壁的一部分之上的門通過負壓從所述上空間與下空間中的一個向內打開；

所述顆粒經由所述上空間與下空間中的所述一個從所述第二空間清除至外部空間；且

在界定出所述上空間與下空間中另外一個的所述殼體側壁的另一部分之上形成穿通的開孔，以使所述上空間與下空間中的所述另一空間與所述外部空間連通。

7.一種傳送基片的裝置，所述裝置包括：

殼體；

以垂直方向設在所述殼體中的分區壁，其將所述殼體的內部空間分為第一空間與第二空間；

壓力生成部件，其將所述第一空間分為上空間與下空間，并且其可在所述第一空間中以垂直方向移動，以使所述上空間與所述下空間交替生成正壓與負壓；

基片支撐部件，其可移動地設在所述第二空間中以支撐及傳送所述基片；及

第一門與第二門，它們分別鉸接至所述殼體側壁的上部與下部，以通過正壓從所述殼體向外打開，及

第三門與第四門，它們分別鉸接至所述分區壁的上部與下部，以通過負壓從所述上空間及下空間向內打開；

其中顆粒經由所述第一空間從所述第二空間清除至外部空間。

8.如權利要求7所述的裝置，還包括移動所述壓力生成部件及所述基片支撐部件的驅動部。

9.如權利要求8所述的裝置，其中所述驅動部包括：

滑輪，其設于所述第一空間的上部及下部、以及所述第二空間的上部及下部；及

穿通所述分區壁使所述滑輪互相連接的皮帶，

其中所述壓力生成部件及所述基片支撐部件安裝在所述皮帶上，并且通過所述皮帶的旋轉以垂直方向移動。

10.如權利要求7所述的裝置，還包括：

移動所述基片支撐部件的第一驅動部；及

移動所述壓力生成部件的第二驅動部。

11.如權利要求7所述的裝置，還包括分別連接至所述第一門、第二門、第三門、及第四門的彈性部件，以關閉已打開的所述第一門、第二門、第三門、及第四門。

12.如權利要求7所述的裝置，其中所述第一門與第三門設在所述壓力生成部件的上死點的上方，并且所述第二門與第四門設在所述壓力生成部件的下死點的下方。

13.如權利要求7所述的裝置，還包括根據所述上空間中的壓力以及所述下空間中的壓力來打開及關閉所述門的驅動部。