[發明專利]自動化物料搬運系統和自動化物料搬運方法

無效

• 申請號: 200810212981.0
• 申請日: 2008-09-17
• 公開（公告）號: CN101677075A
• 公開（公告）日: 2010-03-24
• 發明（設計）人: 郭嘉呈;鄭遠鐘
• 申請（專利權）人: 力晶半導體股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/00;B65G15/00;B65G47/74;B65G43/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 陶鳳波

技術領域

本發明涉及一種自動化物料搬運系統和搬運方法，更特別地，涉及一種結合自動化輸送帶搬運裝置和物料控制系統的自動化物料搬運系統。

背景技術

就目前半導體制造廠內的自動化物料搬運系統(Automated?MaterialHandling?System，AMHS)來說，在傳輸系統控制器(Transport?SystemController，TSC，其為符合半導體設備和材料協會(Semiconductor?Equipmentand?Materials?International，SEMI)E82通訊協定的半導體控制裝置)間傳送，皆需通過倉儲裝置(Stocker，STK)才能將晶片盒(Front?Opening?UnifiedPod，FOUP)由傳輸系統控制器轉傳至另一傳輸系統控制器。如圖1所示，傳輸系統控制器110必須先將晶片盒(FOUP)200搬運到倉儲裝置400后，傳輸系統控制器130才可自倉儲裝置400取走晶片盒200。

由于倉儲裝置400的機器手臂(未顯示)在同時間僅可傳送單一或一定數量的晶片盒，所以當傳輸系統控制器110連續將晶片盒傳送至倉儲裝置400時，因為倉儲裝置400同時可傳送的數量有限，導致倉儲裝置400超出負荷，因而可能產生傳送瓶頸，而影響到傳送效能。

此外，在目前的自動化傳送系統中，自動化輸送帶搬運裝置(Over-HeadConveyer，簡稱為OHC，即輸送帶式高架軌道傳送系統)無法有效控制流量且皆以單一傳輸系統控制器(TSC)的方式與物料控制系統(Material?ControlSystem，MCS)連接，而并沒有以輸送帶倉儲裝置(Conveyer?StockerController，CSC)與懸吊式搬運車的相關運用。

發明內容

本發明的目的之一在于提供一種結合自動化輸送帶搬運裝置和物料控制系統的自動化物料搬運系統以及自動化物料搬運方法。

基于上述目的，本發明一實施例公開一種結合自動化輸送帶搬運裝置(OHC)和物料控制系統(MCS)的自動化物料搬運系統(AMHS)，包括物料控制系統、傳輸系統控制器、晶片盒和自動化輸送帶搬運裝置。該自動化輸送帶搬運裝置還包括至少一第一輸出/入埠與一第二輸出/入埠。該物料控制系統及輸送帶搬運裝置分別將第一虛擬倉儲代碼與第二虛擬倉儲代碼賦予該第一輸出/入埠與該第二輸出/入埠，根據該第一虛擬倉儲代碼，利用該傳輸系統控制器將該晶片盒搬運并載入至該第一輸出/入埠。該自動化輸送帶搬運裝置將該晶片盒由第一輸出/入埠載入至該自動化輸送帶搬運裝置的軌道上，將虛擬搬運車代碼賦予該晶片盒，并根據該虛擬搬運車代碼，經由該軌道移動該晶片盒，并且將該晶片盒自該軌道搬運至并載入該第二輸出/入埠，并且將該晶片盒的該虛擬搬運車代碼移除。該物料控制系統根據該第二虛擬倉儲代碼，利用該傳輸系統控制器自該第二輸出/入埠取走該晶片盒。

本發明一實施例還公開一種自動化物料搬運方法。利用物料控制系統分別將第一虛擬倉儲代碼與第二虛擬倉儲代碼賦予自動化輸送帶搬運裝置的第一虛擬緩沖倉儲與第二虛擬緩沖倉儲。根據該第一虛擬倉儲代碼，利用傳輸系統控制器將晶片盒搬運至并載入該第一虛擬緩沖倉儲。將該晶片盒自第一虛擬緩沖倉儲載入至該自動化輸送帶搬運裝置的軌道上，并且利用該自動化輸送帶搬運裝置將虛擬搬運車代碼賦予該晶片盒。根據該虛擬搬運車代碼，經由該自動化輸送帶搬運裝置的軌道移動該晶片盒，并且將該晶片盒自該自動化輸送帶搬運裝置的軌道搬運至并載入該第二虛擬緩沖倉儲。將該晶片盒的該虛擬搬運車代碼移除，并且根據該第二虛擬倉儲代碼，利用該傳輸系統控制器自該第二虛擬緩沖倉儲取走該晶片盒。

本發明一實施例還公開一種自動化物料搬運方法。分別將第一虛擬緩沖倉儲代碼與第二虛擬緩沖倉儲代碼賦予第一輸送帶倉儲裝置與第二輸送帶倉儲裝置，其中該第一輸送帶倉儲裝置包括輸出/入埠與第一軌道，且該第一軌道提供多個儲位。利用傳輸系統控制器將晶片盒搬運并載入至該第一輸送帶倉儲裝置，并且利用物料控制系統命令該第一輸送帶倉儲裝置將該晶片盒自該第一輸送帶倉儲裝置的輸入埠傳送到該第一輸送帶倉儲裝置的輸出埠。將該晶片盒自該第一輸送帶倉儲裝置的該輸出埠載入至自動化輸送帶搬運裝置的第二軌道上。當將該晶片盒載入至該第二軌道上時，給予該晶片盒一虛擬搬運車號碼。經由該自動化輸送帶搬運裝置的該第二軌道，將該晶片盒搬運并載入至該第二送輸送帶倉儲裝置。將該晶片盒的該虛擬搬運車號碼移除，并且利用該傳輸系統控制器自該第二輸送帶倉儲裝置取走該晶片盒。