[發明專利]用于獲得與太赫茲波有關的信息的設備和方法

有效

• 申請號: 200810212464.3
• 申請日: 2008-08-29
• 公開（公告）號: CN101377406A
• 公開（公告）日: 2009-03-04
• 發明（設計）人: 井辻健明
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01N21/00
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 康建忠

技術領域

本發明涉及獲得與透射過樣本或被樣本反射的太赫茲波有關的信息的設備和方法。

背景技術

太赫茲波是具有從0.03THz到30THz的任意頻帶的電磁波。在太赫茲波段，發生依賴于包含生物分子的各種物質的結構和狀態的特性吸收。利用這樣的特征，開發了以無損方式分析和識別物質的檢查技術。此外，期望應用于作為X射線的替代的安全成像技術或高速通信技術。

此外，太赫茲波的特性包括適中的穿透樣本的能力。例如，公開了利用此性質來測量多層膜的膜厚度的技術(日本專利特開No.2004-28618)。根據日本專利特開No.2004-28618，基于多個太赫茲波脈沖響應，確定多層膜的膜厚度。這些脈沖響應是通過利用探測光對太赫茲波的時間響應波形進行采樣而獲得的。根據此方法，在所有測量時間區域上進行采樣。

近年來，太赫茲波的此性質的一個應用是以無損方式測量或檢查藥片的產品質量的技術。例如，期望應用于用于測量或檢查糖衣藥片、涂膜藥片等等的涂覆厚度的技術。這些涂覆厚度影響藥片的分解性質或可溶解性。此外，藥片是通過將粉末狀的藥劑和添加劑混合而形成的。由于該原因，應用于用于測量或檢查相對于添加劑的藥劑含量的均勻性的技術是所希望的。

這些特性特征直接影響藥片的治療效果。由于該原因，用于控制并維持藥片的產品質量的技術是重要的。目前，為此目的，提取制造的藥片的一部分，并進行無損檢查。

根據日本專利特開No.2004-28618，尋求縮短測量多層膜的膜厚度所需的時間段的方法。

此外，在對于藥片進行質量控制的情況下，代替抽樣檢查，將來，可能希望在制造工藝過程中實現持續的檢查，以便可以檢查所有的藥片。為了進行這樣的工藝檢查，可能希望以無損方式測量并檢查樣本的方法，但是，還沒有建立用于實現此的方法。具體來說，為了對藥片進行工藝檢查，從在短時間內處理大量樣本的觀點來看，在稍短的時間段內監視單一藥片的狀態的方法是理想的。

發明內容

本發明提供了能夠獲得設置的區域中的透射過樣本或被樣本反射的太赫茲波的時間波形的設備。此外，本發明提供了能夠通過使用所述區域中的時間波形，從而與獲得時間波形的所有區域的情況相比，縮短獲得與樣本相關的信息(膜厚度等等)所需的時間段的設備。

鑒于上述情況，根據本發明的一個方面的太赫茲波檢測設備具有以下配置：用于從樣本中檢測太赫茲波的檢測單元，以及用于預先存儲變成樣本標準的內部信息的信息存儲單元。太赫茲波檢測設備還包括延遲光學單元，用于通過改變入射到檢測單元的探測光相對于泵浦光的延遲時間，調節操作檢測單元的時間。太赫茲波檢測設備還包括延遲時間調節單元，用于基于存儲單元中的變成標準的信息來設置希望測量的測量區域，并調節測量區域中的延遲時間。太赫茲波檢測設備還包括重構單元，用于基于檢測單元的輸出以及由延遲時間調節單元對延遲時間的調節量，重構有關樣本的內部信息。

根據本發明的一個方面的太赫茲波檢測方法具有以下步驟(a)到(e)：

(a)預先存儲變成樣本標準的內部信息；

(b)通過探測光的相對于泵浦光的延遲時間，調節檢測步驟中的檢測太赫茲波的定時；

(c)基于變成信息存儲步驟中的標準的信息，設置希望測量的測量區域，并調節測量區域中的延遲光學步驟的延遲時間；

(d)從樣本中檢測太赫茲波；以及

(e)基于檢測步驟中的輸出以及延遲時間調節步驟中的調節量，重構有關樣本的內部信息。

根據本發明的一個方面的檢查系統具有以下配置：用于從樣本中檢測太赫茲波的檢測單元，以及用于預先存儲變成樣本標準的內部信息的信息存儲單元。該檢查系統還包括延遲光學單元，該延遲光學單元用于調節入射到檢測單元的探測光相對于泵浦光的延遲時間。該檢查系統還包括延遲時間調節單元，該延遲時間調節單元用于基于存儲單元中的變成標準的信息來設置希望測量的測量區域，并調節在測量區域中的探測光的延遲時間。該檢查系統還包括處理單元，該處理單元用于基于檢測單元的輸出以及由延遲時間調節單元對延遲時間的調節量，重構有關樣本的內部信息。該檢查系統還包括比較單元，該比較單元用于將由處理單元獲得的有關樣本的內部信息與存儲在信息存儲單元中的變成樣本標準的內部信息進行比較。該檢查系統還包括設備控制單元，該設備控制單元用于基于比較單元的比較結果，對樣本進行篩選，或調節樣本的制造條件。