[發(fā)明專利]剝離方法及借此制造用于液晶顯示裝置的陣列基板的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810210365.1
• 申請日: 2008-07-18
• 公開（公告）號: CN101349877A
• 公開（公告）日: 2009-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭喜榮;洪玄碩;林周洙;金泓植
• 申請（專利權(quán)）人: 樂金顯示有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42;H01L21/84;G02F1/1362
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 李輝;孫海龍

1.一種剝離方法，該方法包括：

在基板上形成第一材料層；

在所述第一材料層上形成包含第一開孔和第二開孔的光刻膠圖案；

使用所述光刻膠圖案作為構(gòu)圖掩模而對所述第一材料層進行構(gòu)圖，從而形成材料圖案，所述材料圖案具有位于所述材料圖案內(nèi)的第一溝槽和第二溝槽，所述第一溝槽和第二溝槽分別對應(yīng)于所述第一開孔和第二開孔；

在包括所述光刻膠圖案及所述第一溝槽和第二溝槽的所述基板的整個表面上形成第二材料層；及

同時去除所述光刻膠圖案和所述光刻膠圖案上的所述第二材料層，

其中所述材料圖案的在所述第一溝槽與第二溝槽之間的部分和所述材料圖案的在所述第一溝槽與第二溝槽側(cè)邊的部分的末端部位相互連接起來從而形成了線，

其中形成所述第二材料層的步驟是通過具有小于各個光刻膠圖案的阻熱溫度的處理溫度的濺射方法來進行的。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一溝槽和所述第二溝槽從包括棒條形狀、鋸齒形狀、交叉形狀及風(fēng)標形狀的組中選出。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第二材料層包括鈍化層、透明導(dǎo)電材料層和導(dǎo)電金屬材料層中的至少一個。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述線具有大于200微米的寬度。

5.一種制造用于液晶顯示裝置的陣列基板的方法，該方法包括：

在具有顯示區(qū)域及位于所述顯示區(qū)域外圍的第一到第四非顯示區(qū)域的基板上形成選通線和柵極，所述柵極設(shè)置在所述顯示區(qū)域內(nèi)；

在所述基板上形成數(shù)據(jù)線、數(shù)據(jù)焊盤、半導(dǎo)體層、源極和漏極，所述數(shù)據(jù)線與所述選通線交叉，所述數(shù)據(jù)焊盤設(shè)置在所述數(shù)據(jù)線的一端并且位于所述第一非顯示區(qū)域內(nèi)，所述半導(dǎo)體層設(shè)置在所述柵極的上方，所述源極與所述數(shù)據(jù)線連接并且設(shè)置在所述半導(dǎo)體層上，所述漏極與所述源極分開并且設(shè)置在所述半導(dǎo)體層上；

在包含所述數(shù)據(jù)線、所述數(shù)據(jù)焊盤、所述源極和所述漏極的所述基板的整個表面上形成絕緣材料層；

形成與所述源極和所述漏極對應(yīng)的第一光刻膠圖案及具有第一開孔和第二開孔的第二光刻膠圖案，所述第一光刻膠圖案暴露出所述漏極的一部分，而所述第一開孔和第二開孔分別對應(yīng)于所述數(shù)據(jù)焊盤的第一部位和第二部位；

使用所述第一光刻膠圖案和第二光刻膠圖案作為構(gòu)圖掩模而對所述絕緣材料層進行構(gòu)圖，從而形成暴露出所述漏極一部分的鈍化層和具有第一溝槽和第二溝槽的第一鈍化圖案，所述第一溝槽和第二溝槽分別暴露出所述數(shù)據(jù)焊盤的所述第一部位和第二部位；

在包含所述第一光刻膠圖案和第二光刻膠圖案、所述鈍化層和所述第一鈍化圖案的所述基板的整個表面上形成導(dǎo)電材料層；及

借助剝離工藝同時將所述第一光刻膠圖案和第二光刻膠圖案及位于所述第一光刻膠圖案和第二光刻膠圖案上的所述導(dǎo)電材料層去除，

其中形成所述導(dǎo)電材料層的步驟是通過具有小于各個光刻膠圖案的阻熱溫度的處理溫度的濺射方法來進行的。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述導(dǎo)電材料層為透明導(dǎo)電材料或不透明金屬導(dǎo)電材料。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，形成所述第一光刻膠圖案和第二光刻膠圖案的步驟包括形成具有第三開孔和第四開孔的第三光刻膠圖案，所述第三開孔和第四開孔分別對應(yīng)于第二、第三和第四非顯示區(qū)域中的每一個內(nèi)的第三部位和第四部位；

對所述絕緣材料層構(gòu)圖的步驟包括形成具有第三溝槽和第四溝槽的第二鈍化圖案，所述第三溝槽和第四溝槽分別將第二、第三和第四非顯示區(qū)域中的每一個內(nèi)的第三和第四部位暴露出來；及

剝離步驟包括將所述第三光刻膠圖案及位于所述第三光刻膠圖案上的所述透明導(dǎo)電材料層去除。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述第一溝槽、第二溝槽、第三溝槽和第四溝槽中的每一個包括棒條形狀、鋸齒形狀、交叉形狀及風(fēng)標形狀中的其中一個。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述數(shù)據(jù)焊盤和所述第二、第三及第四非顯示區(qū)域中的每一個具有大于200微米的寬度。