[發(fā)明專利]剝離方法及借此制造用于液晶顯示裝置的陣列基板的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810210365.1
• 申請日: 2008-07-18
• 公開（公告）號: CN101349877A
• 公開（公告）日: 2009-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭喜榮;洪玄碩;林周洙;金泓植
• 申請（專利權(quán)）人: 樂金顯示有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42;H01L21/84;G02F1/1362
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 李輝;孫海龍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種液晶顯示裝置，尤其涉及一種剝離方法及借此制造用于液晶顯示(LCD)裝置的陣列基板的方法，其能夠防止圖像質(zhì)量的惡化。?

背景技術(shù)

相關(guān)技術(shù)的液晶顯示(LCD)裝置使用了液晶分子的光學(xué)各向異性和極化特性。作為其形狀薄而長的結(jié)果，液晶分子具有確定的對準(zhǔn)方向。可通過將電場作用于液晶分子而控制液晶分子的對準(zhǔn)方向。換句話說，當(dāng)電場的強(qiáng)度或方向改變時，液晶分子的對準(zhǔn)也得到了改變。由于液晶分子光學(xué)各向異性之緣故，入射光線基于液晶分子的朝向而折射，因此可通過控制光線的透射率來顯示圖像。?

由于包含薄膜晶體管(TFT)作為開關(guān)元件的LCD裝置(稱為有源矩陣LCD(AM-LCD)裝置)具有高分辨率和顯示移動圖像的優(yōu)越特性，AM-LCD已經(jīng)得到了廣泛使用。?

圖1為平面視圖，示出了用于相關(guān)技術(shù)LCD的陣列基板。在圖1中的LCD裝置中，像素電極和公共電極都設(shè)置在陣列基板上。可將其稱為板內(nèi)切換(IPS)模式的LCD裝置。?

如圖1所示，陣列基板10包括顯示區(qū)域DR和位于顯示區(qū)域DR外圍的非顯示區(qū)域NDR。顯示區(qū)域DR用作根據(jù)液晶分子排列的改變的圖像顯示區(qū)。陣列基板10上形成了多條選通線20和多條數(shù)據(jù)線30。該多條選通線20和多條數(shù)據(jù)線30互相交叉，從而限定多個像素區(qū)域。此外，陣列基板10上形成了多條公共線50。公共線50與選通線20平行并且互相隔開。通過非顯示區(qū)域NDR內(nèi)的公共連接線70而將公共信號施加于公共線50。?

如果公共連接線70與選通線20形成于同一層的話，則選通線20之間會出現(xiàn)短路的問題。因此，公共連接線70與數(shù)據(jù)線30形成于同一層內(nèi)。公共連接線70通過公共觸點孔CMH而連接到公共線50上。?

在各個像素區(qū)域內(nèi)設(shè)置有像素電極(圖未示)、公共電極(圖未示)和薄膜晶體管(TFT)T。像素電極(圖未示)和公共電極(圖未示)互相交替地設(shè)置。TFT?T設(shè)置在選通線20與數(shù)據(jù)線30之間的交叉部位上，并且由從選通線20延伸的柵極、半導(dǎo)體層、從數(shù)據(jù)線30延伸的源極及與源極分開的漏極組成。?

柵焊盤電極42設(shè)置在選通線20的一端，而數(shù)據(jù)焊盤電極44則設(shè)置在數(shù)據(jù)線30的一端。柵焊盤電極42和數(shù)據(jù)焊盤電極44分別通過選通帶載封裝(TCP)(圖未示)和數(shù)據(jù)TCP(圖未示)而連接到選通驅(qū)動單元(圖未示)和數(shù)據(jù)驅(qū)動單元(圖未示)上。此外，雖然圖未示，靜電保護(hù)電路線(圖未示)和多種信號線設(shè)置在非顯示區(qū)域NDR上。?

公共連接線70將來自公共信號產(chǎn)生單元(圖未示)的公共信號傳輸?shù)斤@示區(qū)域DR內(nèi)的多條公共線50。因此，公共連接線70的寬度大于各公共線50。?

另一方面，為了減少掩模工藝步驟，引入了剝離方法。然而，由于多種信號線和金屬圖案(例如公共連接線70、柵焊盤電極42、數(shù)據(jù)焊盤電極44、靜電保護(hù)電路線(圖未示)、用于檢測短路問題的多模式查找(MPS)線(圖未示)及啞線(圖未示))具有相對較大的寬度，剝離方法中存在一些問題。具體地，由于將光刻膠(PR)圖案和光刻膠圖案上的層去除的剝離劑沒有滲入到信號線和金屬圖案上方的中心部位內(nèi)，PR圖案不合需要地保留下來。?

參照附圖來解釋以上問題。圖2為圖1中部位“A”的平面放大圖，圖3A-3C為截面圖，示出了制造沿著圖2中的線III-III取出的部位的工藝。圖2和圖3A-3C示出了公共連接線，然而問題也可產(chǎn)生于各種信號線和金屬圖案內(nèi)，比如非顯示區(qū)域NDR內(nèi)的柵焊盤電極、數(shù)據(jù)焊盤電極、靜電保護(hù)電路線、多模式查找(MPS)(圖未示)線及啞線(圖未示)內(nèi)。?

線70是由圖2中的剝離工藝制成的。由于用于剝離工藝的剝離劑容?易滲入感光圖案比如線70上的光刻膠(PR)圖案的邊緣部位D和E中，因而完美地將感光圖案去除。然而，剝離劑難以滲入到中心部位F內(nèi)。此后分別將感光層和感光圖案稱為PR層和PR圖案。因此，感光圖案在剝離工藝之后保留了下來。剩余的感光圖案對隨后的工藝或圖像顯示質(zhì)量產(chǎn)生不良效果。當(dāng)線具有相對較大的寬度時，出現(xiàn)了嚴(yán)重問題。?

將詳細(xì)地解釋剝離工藝中的問題。如圖3A所示，柵絕緣層45形成于基板10上。在非顯示區(qū)域NDR內(nèi)，金屬層60形成于柵絕緣層45上，而對應(yīng)于金屬層60一部分的PR層82則形成于金屬層60上。?