[發明專利]雙大馬士革工藝中的灰化處理方法

有效

• 申請號: 200810207675.8
• 申請日: 2008-12-24
• 公開（公告）號: CN101764080A
• 公開（公告）日: 2010-06-30
• 發明（設計）人: 孫武;張海洋
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: H01L21/768
• 分類號: H01L21/768;H01L21/311;G03F7/42
• 代理公司: 北京德琦知識產權代理有限公司 11018
• 代理人: 宋志強;麻海明

1.一種雙大馬士革工藝中的灰化處理方法，其特征在于，該方法包括：

在雙大馬士革工藝中，使用二氧化碳氣體流進行灰化處理；

在進行所述灰化處理時，不使用一氧化碳氣體流；

在進行所述灰化處理時，所使用的偏壓為0～200瓦；所使用的源壓為 600～1000瓦；所使用的氧氣流量為200～500標準毫升/分鐘；所使用的二氧化 碳流量為50～200標準毫升/分鐘；所使用的氣壓為20～50毫托。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還進一步包括：

在進行所述灰化處理時，所使用的偏壓為100瓦或200瓦；所使用的源壓 為600瓦或800瓦；所使用的氧氣流量為300標準毫升/分鐘或500標準毫升/ 分鐘；所使用的二氧化碳流量為100標準毫升/分鐘；所使用的氣壓為20毫托 或40毫托。