[發明專利]一種多晶硅四面四角的磨削方法

有效

• 申請號: 200810204589.1
• 申請日: 2008-12-15
• 公開（公告）號: CN101745854A
• 公開（公告）日: 2010-06-23
• 發明（設計）人: 盧建偉
• 申請（專利權）人: 上海日進機床有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B7/17
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明涉及一種硅材料的磨削技術，特別是涉及一種多晶硅四面 四角的磨削方法。

背景技術

隨著非再生能源的日益枯竭，可再生能源的開發逐漸被人們所重 視，太陽能作為無限量能源和清潔能源自然成為新能源領域的重中之 重，為此，人們在該領域投入了大量的人力物力加以研究和開發，并 同時促生了其相關產業的發展，例如，作為太陽能電池原料的硅材料 生產和加工產業。

太陽能電池是由許多太陽能硅晶片用導電膠粘在表面鍍有防腐導 電層的金屬板上，通過光電效應或者光化學效應直接把光能轉化成電 能，而制作所述太陽能硅晶片的原料則是業界慣稱的“硅棒”(還稱作 硅錠)，具體地，是將所述硅棒加以切割、倒角、研磨、拋光、切片等 工序加工得到晶片，為保證最終制得的太陽能硅晶片達到高質量的要 求，加工過程中的任一環節都不容忽視，在此，我們針對多晶硅的磨 削加以詳述。

在對所述多晶硅棒進行加工過程中，為方便對多晶硅棒進行后續 的拋光及切片等作業，需要事先將所述多晶硅棒加工成具有四面四角 的立方體，即如圖1所示，所述多晶硅棒具有圍繞其頂面10和底面10 相互平行的第一面11及第二面12，分別垂直所述第一面11及第二面 12并且相互平行的第三面13及第四面14，介于所述第一面11與第三 面13之間的倒角15，介于所述第三面13與第二面12之間的倒角16， 介于所述第二面12與第四面14之間的倒角17，以及介于所述第四面 14與第一面11之間的倒角18。

由于所述多晶硅棒的四個面及四個角都需要進行磨削作業，在現 有的加工技術中，通常的做法是將所述多晶硅棒置于兩個相對平行的 砂輪之間進行雙面磨削，由于該種做法一次只能磨削該多晶硅棒的兩 個面，如果將其四面四角都進行磨削將需要進行四次操作，這樣不但 耗時耗力，而且也容易因為頻繁操作而不能確保該多晶硅棒的精確尺 寸，進而影響到該多晶硅棒的品質。

因而，如何設計一種多晶硅四面四角的磨削方法，在一次操作過 程中就能完成對所述多晶硅棒的四面四角的進行磨削作業，實為相關 領域之業者目前亟待解決的問題。

發明內容

鑒于以上所述現有技術的缺點，本發明的目的在于提供一種多晶 硅四面四角的磨削方法，在一次操作過程中就能完成對所述多晶硅棒 的四面四角的進行磨削作業，進而提高工作效率以及產品品質。

為實現上述目的及其他相關目的，本發明提供一種多晶硅四面四 角的磨削方法，其特征在于：將一對具有環形磨削面的杯形砂輪沿橫 向軸相對設置，使兩個所述杯形砂輪之間形成一外環磨削空間以及一 內環調整空間，并在所述二杯形砂輪繞橫向軸旋轉時，輸送所述多晶 硅通過所述外環磨削空間進行雙面或雙角磨削，當所述多晶硅進至所 述內環調整空間時，令所述多晶硅繞其縱向軸旋轉預設角度，并自所 述內環調整空間送出所述多晶硅，以使其通過所述外環磨削空間時進 行另一雙面或雙角磨削。

前述本發明的多晶硅四面四角的磨削方法，其中，所述多晶硅具 有分別相對的第一對待磨面、第二對待磨面、第一對待磨角、以及第 二對待磨角。

在實際的磨削作業中，所述二杯形砂輪的環形磨削面之間的間距 小于所述多晶硅的二相對待磨面之間的間距，以使所述多晶硅通過外 環磨削空間時對其二相對待磨面進行磨削，具體地，所述多晶硅自外 部通過所述外環磨削空間時對第一對待磨面進行磨削；所述多晶硅自 所述內環調整空間通過所述外環磨削空間時對第二對待磨面進行磨 削。

在實際的磨削作業中，所述二杯形砂輪的環形磨削面之間的間距 小于所述多晶硅的二相對待磨角之間的間距，以使所述多晶硅通過外 環磨削空間時對其二相對待磨角進行磨削，具體地，所述多晶硅自外 部通過所述外環磨削空間時對第一對待磨角進行磨削；所述多晶硅自 所述內環調整空間通過所述外環磨削空間時對第二對待磨角進行磨 削。

需要特別說明的是，所述內環調整區的橫向寬度大于所述多晶硅 斷面的對角線長度，所述內環調整空間的縱向高度大于所述多晶硅的 高度，如此以使得所述多晶硅進至所述內環調整空間時能夠繞其縱向 軸旋轉預設角度，于具體實施方式中，所述預設角度為90度。