[發明專利]納米壓印裝置

無效

• 申請號: 200810202315.9
• 申請日: 2008-11-06
• 公開（公告）號: CN101393391A
• 公開（公告）日: 2009-03-25
• 發明（設計）人: 李以貴;陳少軍;張冠;孫健
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00
• 代理公司: 上海交達專利事務所
• 代理人: 王錫麟;王桂忠

技術領域

本發明涉及一種納米技術領域的裝置，具體地說，涉及的是一種納米壓印裝置。

背景技術

納米壓印技術由美國普林斯頓大學S.Y.Chou教授在1995年提出的。具體原理如下：通過具有納米尺度微細結構的模板對基片上的光刻膠(也稱為抗蝕層)施加壓力，從而在該光刻膠上設置微細圖案。具有微細圖案的模板的制備通常是基片上旋涂一層聚合物(如PMMA)，在利用電子束直寫曝光技術在其表面刻蝕所需圖形，其目前最高的分辨率可達1～5nm。目前，在信息存儲、生物傳感器和亞波長光學器件領域，納米壓印技術已成為價格相對較低、性能可靠、具有量產能力的制備技術。

經對現有技術的文獻檢索發現，Hiroshi?Ono，Shuichi?Shoji，Jun?Mizuno，Mikiko?Saito在2007年6月Networked?Sensing?Systems，2007.INSS’07.Fourth?International?Conference?on(網絡傳感系統國際會議)發表的“Fabrication?of?Multilayer?Interconnection?Using?UltravioletNanoimprint?Lithography”(采用紫外光納米壓印技術制造多層互聯)130-133頁上提到的納米壓印裝置(UV-EQUIPMENT)。具體如下：該裝置由用于固定基片的底座，固定模型的圓頂盤以及用于施加預載力的砝碼構成。這種裝置能夠實現納米壓印，但是不足之處是在活塞上下移動時由于空隙導致垂直度、水平度不高導致精度不高，這樣的誤差會使得圖形不能夠很好的對齊，從而會影響光刻精度。

發明內容

本發明針對現有的技術不足，提供一種納米壓印裝置，使其具有高精度、高垂直度和高平行度，從而解決背景技術中的問題。

本發明是通過以下技術方案實現的：本發明所述的納米壓印裝置，包括正方形活塞、穩定裝置、五邊形方柱、螺栓，五邊形方柱中間是一個五邊形空腔，在五邊形方柱前表面與側壁形成的45°拐角處的內壁上下各安裝兩個相同的穩定裝置以及螺栓。正方形活塞在五邊形方柱的空腔內上下運動。

所述穩定裝置是由兩個彈簧、第一鋼板和第二鋼板構成，其中第二鋼板帶有V槽形狀。兩個彈簧以一定的間隔焊接在第一鋼板與五邊形方柱45°拐角(即五邊形方柱前表面與側壁形成的45°拐角)內壁之間，第二鋼板焊接在第一鋼板另一側的中央，穩定裝置以V槽形狀對準正方形活塞。

所述V槽形狀，其V的邊長相等，V的角度為90°。

所述五邊形空腔是位于五邊形方柱的正中央。

所述彈簧的彈性系數為10N/m。

所述五邊形方柱45°拐角內壁中央，五邊形方柱高度的上下1/3處各設一個螺紋通孔用于安插螺栓，同時設置棱臺空洞用于安裝穩定裝置，棱臺的上底面與五邊形空腔的45°齊平。

本發明采用正方形活塞取代現有圓形的活塞，把空腔做成五邊形的，并且在空腔內壁不同位置各安裝一個使得活塞不發生晃動的穩定裝置。穩定裝置以V槽對準正方形活塞的直角，使得活塞四周都受到力的作用。本發明和現有的納米壓印裝置相比，既可以實現垂直方向上很好的精度，又可以實現水平方向上的很好的精度，這樣活塞旋轉得到很好的抑制，配合公差降為0。

附圖說明

圖1為本發明整體結構示意圖；

圖2為本發明結構剖面圖；

圖中：1為正方形活塞，2為螺栓，3為五邊形方柱，4為第二鋼板，5為五邊形空腔，6為第一鋼板，7為彈簧。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明的實施例作詳細說明：本實施例在以本發明技術方案為前提下進行實施，給出了詳細的實施方式和具體的操作過程，但本發明的保護范圍不限于下述的實施例。

如圖1所示，本實施例包括正方形活塞1、穩定裝置、五邊形方柱3、螺栓2，五邊形方柱3中間是一個五邊形空腔5，在五邊形方柱3前表面與側壁形成的45°拐角處的內壁上下各安裝兩個相同的穩定裝置以及螺栓2。正方形活塞1在五邊形方柱3的五邊形空腔5內上下運動。

所述的正方形活塞1是插放在五邊形方柱3的五邊形空腔5內的。

所述五邊形方柱3的三等分處各有一個棱臺空腔，該棱臺的尺寸邊長分別為4cm，4cm，2.5cm，2.5cm。(順時針方向)。在上下1/3處具有螺紋的圓形通孔各插一個螺栓。

如圖2所示，所述穩定裝置是由兩個彈簧7、第一鋼板4和第二鋼板6構成，其中第二鋼6帶有V槽形狀。兩個彈簧7以一定的間隔焊接在第一鋼板4與五邊形方柱45°拐角內壁之間，第二鋼板6焊接在第一鋼板4另一側的中央，穩定裝置以V槽形狀對準正方形活塞1。