[發(fā)明專利]納米壓印裝置無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200810202315.9 | 申請(qǐng)日： | 2008-11-06 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101393391A | 公開（公告）日： | 2009-03-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李以貴;陳少軍;張冠;孫健 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 上海交通大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G03F7/00 | 分類號(hào)： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海交達(dá)專利事務(wù)所 | 代理人： | 王錫麟;王桂忠 |
| 地址： | 200240*** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 納米 壓印 裝置 | ||
1.一種納米壓印裝置，其特征在于，包括正方形活塞、穩(wěn)定裝置、五邊形方柱、螺栓，其中：五邊形方柱中間是一個(gè)五邊形空腔，在五邊形方柱前表面與側(cè)壁形成的45°拐角處的內(nèi)壁上下各安裝兩個(gè)相同的穩(wěn)定裝置以及螺栓，正方形活塞在五邊形空腔內(nèi)上下運(yùn)動(dòng)；所述穩(wěn)定裝置是由兩個(gè)彈簧、第一鋼板和第二鋼板構(gòu)成，其中第二鋼板帶有V槽形狀，兩個(gè)彈簧間隔焊接在第一鋼板與五邊形方柱45°拐角內(nèi)壁之間，第二鋼板焊接在第一鋼板另一側(cè)的中央，穩(wěn)定裝置以V槽形狀對(duì)準(zhǔn)正方形活塞，順時(shí)針旋轉(zhuǎn)螺栓可使得螺栓接觸到第一鋼板，從而可使第二鋼板靠近正方形活塞。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印裝置，其特征是，所述V槽形狀，其V的邊長(zhǎng)相等，V的角度為90°。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印裝置，其特征是，所述彈簧，其彈性系數(shù)為10N/m。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印裝置，其特征是，所述五邊形空腔是位于五邊形方柱的正中央。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的納米壓印裝置，其特征是，所述的五邊形方柱45°拐角內(nèi)壁中央，五邊形方柱高度的上下1/3處各設(shè)一個(gè)螺紋通孔用于安插螺栓，同時(shí)設(shè)置棱臺(tái)空洞用于安裝穩(wěn)定裝置，棱臺(tái)的上底面與五邊形空腔的45°齊平。
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G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
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