[發明專利]生成超聲振動的裝置與方法及用其清洗晶片的裝置與方法

有效

• 申請號: 200810149050.0
• 申請日: 2008-09-18
• 公開（公告）號: CN101391255A
• 公開（公告）日: 2009-03-25
• 發明（設計）人: 安英基;鄭載正;成保藍璨
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B06B3/00
• 代理公司: 上海恩田旭誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 尹洪波

技術領域

本發明涉及一種生成超聲振動的裝置與方法，以及用該裝置與方法清洗晶片的裝置與方法。本發明尤其涉及一種對清洗晶片的清洗溶液施加超聲振動的裝置與方法，以及使用該裝置與方法清洗晶片的裝置與方法。

背景技術

半導體器件一般由重復進行的單元工藝而制得。該單元工藝包括沉積工藝、光刻工藝、蝕刻工藝、化學機械拋光工藝、清洗工藝、干燥工藝等。清洗工藝中，從晶片上去除上述單元工藝期間在晶片上形成的顆粒及不需要的層。近來，隨著晶片上形成圖形逐漸縮小，并且該圖形的縱橫比逐漸增大，清洗工藝變得越發重要。

常見地，清洗晶片的裝置包括將清洗溶液供應到晶片上的清洗溶液供應器，以及對該清洗溶液施加超聲振動的超聲振動器。

該超聲振動器僅傳遞超聲振動，而該超聲振動的強度與方向無任何的變化。因此，當該超聲振動的強度不均勻時，該超聲振動也不能均勻地清洗該晶片。

此外，當該晶片上分布的清洗溶液的厚度不足，且所施加的超聲振動強度過大時，該超聲振動會極大地損壞該晶片上的圖形。

發明內容

本發明提供了一種生成超聲振動的裝置，其能夠控制傳遞至清洗溶液的超聲振動的強度及方向。

本發明亦提供了一種生成超聲振動的方法，其能夠控制傳遞至清洗溶液的超聲振動的強度及方向。

本發明提供了一種清洗晶片的裝置，其包括該生成超聲振動的裝置。

本發明提供了一種清洗晶片的方法，其包括該生成超聲振動的方法。

本發明的實施例中，所述生成超聲振動的裝置包括超聲振動生成器及傳遞部件。所述超聲振動生成器生成超聲振動。所述傳遞部件位于所述超聲振動生成器的一端部，并且包括一種用于控制所述超聲振動的強度與方向的材料。所述超聲振動經由所述傳遞部件傳遞至用于清洗晶片的清洗溶液。

根據實施例，所述傳遞部件的材料包括固相、液相、以及氣相中的一種。

根據實施例，所述材料設置為所述傳遞部件中的至少一材料層，并且根據所述材料層的數量、各材料層的厚度、以及各材料層的寬度中的至少一個來改變所述超聲振動的強度與方向。本發明的實施例中，提供了一種生成超聲振動的方法。生成超聲振動。通過所述超聲振動經由材料層傳遞而改變所述超聲振動的強度及方向。根據實施例，所述傳遞部件的材料層包括固相、液相、以及氣相中的一種。根據實施例，根據組份層的數量、各組份層的厚度、以及各組份層的寬度中的至少一個來改變所述超聲振動的強度與方向。

本發明的實施例中，所述清洗晶片的裝置包括清洗溶液供給器、超聲振動生成器、以及傳遞部件。所述清洗溶液供給器位于所述晶片的上方，并且將清洗溶液供給到所述晶片上。所述超聲振動生成器位于所述晶片的上方，并且生成超聲振動。所述傳遞部件位于所述超聲振動生成器的一端部，并且包括用于控制所述超聲振動的強度與方向的材料。所述超聲振動經由所述傳遞部件傳遞至用于清洗晶片的清洗溶液。

根據實施例，所述傳遞部件的材料層包括固相、液相、以及氣相中的一種。

根據實施例，所述材料設置為所述傳遞部件中的至少一材料層，并且根據所述材料層的數量、各材料層的厚度、以及各材料層的寬度中的至少一個來改變所述超聲振動的強度與方向，以使所述超聲振動的強度及方向與所述晶片上形成的圖形的形狀相對應。

根據實施例，所述傳遞部件與所述超聲振動生成器在一本體中一體形成。

本發明的實施例中，提供了一種清洗晶片的方法。將清洗溶液供給至晶片上。生成超聲振動。通過所述超聲振動經由材料層傳遞而改變所述超聲振動的強度及方向。將所述超聲振動施加至所述清洗溶液。

根據實施例，所述材料層包括固相、液相、以及氣相中的一種。根據實施例，所述材料設置為所述傳遞部件中的至少一材料層，并且根據所述材料層的數量、各材料層的厚度、以及各材料層的寬度中的至少一個來改變所述超聲振動的強度與方向，以使所述超聲振動的強度及方向與所述晶片上形成的圖形的形狀相對應。

根據本發明，依據材料層的數量、各材料層的厚度、以及各材料層的寬度這些參數中的至少一個來改變該超聲振動的強度與方向。對該超聲振動的強度與方向進行控制之后，將該超聲振動施加至該晶片上的清洗溶液。因此，可容易地清洗該晶片。

附圖說明

結合附圖，參考下文的詳細描述，可清楚地了解本發明的上述及其他特征與優點，其中：

圖1為示出根據本發明實施例的超聲振動生成裝置的剖視圖；

圖2～4為示出根據本發明其他實施例的傳遞部件的剖視圖；

圖5為示出根據本發明實施例超聲振動生成方法的流程圖；