[發(fā)明專利]一種提高氧化鋅薄膜紫外光致發(fā)光強(qiáng)度的方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200810111675.8 | 申請(qǐng)日： | 2008-05-16 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101281949A | 公開(kāi)（公告）日： | 2008-10-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 蔣毅堅(jiān);趙艷 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | H01L33/00 | 分類號(hào)： | H01L33/00;H01L21/428;H01S5/00 |
| 代理公司： | 北京思海天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 張慧 |
| 地址： | 100124*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 提高 氧化鋅 薄膜 紫外 光致發(fā)光 強(qiáng)度 方法 | ||
1、一種提高氧化鋅薄膜紫外光致發(fā)光強(qiáng)度的方法，其特征在于，包括以下步驟：
1)氧化鋅薄膜的預(yù)處理；
2)將預(yù)處理后的氧化鋅薄膜固定在電控旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，設(shè)定電控旋轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)速度為10～40°/s；
3)選擇準(zhǔn)分子激光波長(zhǎng)248nm，設(shè)置脈沖頻率為1～5Hz；
4)調(diào)整光路，使得光斑位于薄膜樣品中心，調(diào)節(jié)輻照在薄膜樣品上的激光光斑大小和激光輸出能量，使作用于薄膜樣品上的激光功率密度為250～650mJ/cm2；
5)薄膜樣品固定在電控旋轉(zhuǎn)臺(tái)時(shí)，薄膜樣品和激光的位置均在轉(zhuǎn)臺(tái)的中心，設(shè)定激光脈沖數(shù)為30～100，轉(zhuǎn)動(dòng)樣品轉(zhuǎn)臺(tái)，激光輻照。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，步驟4)中作用于薄膜樣品上的激光功率密度為450mJ/cm2。
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