[發明專利]電子元件封裝體及其制作方法有效
| 申請號: | 200810109132.2 | 申請日: | 2008-05-23 |
| 公開(公告)號: | CN101587903A | 公開(公告)日: | 2009-11-25 |
| 發明(設計)人: | 林佳升;黃郁庭;賴志隆 | 申請(專利權)人: | 精材科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/146 | 分類號: | H01L27/146;H01L23/48;H01L21/60 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人: | 彭久云 |
| 地址: | 中國臺*** | 國省代碼: | 中國臺灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 電子元件 封裝 及其 制作方法 | ||
技術領域
本發明有關于一種電子元件封裝體(electronics?package),特別是有關于一種利用晶片級封裝(wafer?scale?package;WSP)工藝制作的電子元件封裝體及其制作方法。
背景技術
光感測集成電路在獲取影像的光感測元件中扮演著重要的角色,這些集成電路元件均已廣泛地應用于例如是數碼相機(digital?camera;DC)、數字攝錄像機(digital?recorder)和手機(cell?phone)等的消費電子元件和攜帶型電子元件中。
圖1顯示一種已知的影像感測元件(image?sensor)封裝體1的剖面圖。在圖1中,顯示有基底2,其上方形成有感光元件4及接合墊6,以及蓋板8設置于上述基底2的上方。又如圖1所示,承載板9貼合至基底2,以及焊球12設置于此承載板9的背面上,且通過導電層10電性連接接合墊6。上述感光元件4可通過其正面感應穿過蓋板8的光,以產生信號,且通過導電層10將此信號傳遞至焊球12及外部電路。
發明內容
本發明的實施例提供一種電子元件封裝體。上述電子元件封裝體,包含:半導體芯片,具有第一基底、與此第一基底間隔一既定距離的支撐塊,以及接合墊,該接合墊具有一表面,其橫跨于第一基底與支撐塊上。在另一實施例中,上述第一基底,具有第一表面及相對的第二表面,其中此第二表面作為受光面,而第一表面作為背光面,且包含感光元件區。上述電子元件封裝體,可還包含:第二基底,接合至第一基底的背光面;第一封裝層,覆蓋上述第一基底的受光面;第二封裝層,覆蓋上述第二基底;導線層,形成于上述第二封裝層上,且延伸至接合墊及支撐塊的側面上,以電性連接接合墊;以及導電凸塊,設置于上述第二封裝層上,且電性連接上述導線層。
在上述電子元件封裝體中,由于,在支撐塊與第一基底之間有絕緣層,由此以隔離支撐塊與第一基底,并且上述接合墊會橫跨于此絕緣層上。因此,形成于支撐塊側面上的導線層并不會影響感光元件。再者,由于,上述電子元件具有支撐塊,其可增加導線層與接合墊間的結構強度(T接觸的結構強度)。由此,可增強上述電子元件封裝體整體的結構強度。
本發明另一實施例提供一種電子元件封裝體的制作方法。上述電子元件封裝體的制作方法,包含:提供晶片,其具有包含多個管芯區的基底,以承載或形成多顆半導體芯片,且多個接合墊形成于此基底上,以及對此基底進行晶片級封裝工藝,包含:圖案化此基底,以在每個管芯區隔離出支撐塊,使此支撐塊與基底間隔一既定距離,并暴露接合墊。上述制作方法還包含通過上述圖案化步驟,形成圖案開口于基底之中,以暴露接合墊。
在上述制作方法中,半導體芯片包含光電元件,且晶片級封裝工藝,還包含:以此基底為第一基底,其具有第一表面及相對的第二表面,其中第一表面作為背光面,而第二表面作為出光面或受光面;設置第一封裝層,以覆蓋上述第一基底的出光面或受光面;接合此第一基底的背光面至第二基底;以及,沿著兩管芯區間的預定切割道的位置,分離此第二基底,以形成多個對應管芯區的承載板。
在上述制作方法中,晶片級封裝工藝,還包含:形成絕緣層,以至少包覆上述承載板的側面;設置第二封裝層,以覆蓋此第二基底及絕緣層;在兩管芯區間的預定切割道的位置,形成通道凹口,并暴露第一封裝層的表面;形成導線層于上述第二封裝層上,且沿著上述通道凹口,延伸至接合墊與支撐塊的側面上,以電性連接接合墊;設置導電凸塊于上述第二封裝層上,且電性連接導線層;以及沿上述預定切割道,分離第一封裝層。
在上述電子元件封裝體的制作方法中,由于,上述圖案開口可同時隔離光電元件及提供檢測光電元件的開口,因而不需要額外的隔離或制作開口的步驟,因此,可縮短及簡化制作流程。
附圖說明
圖1顯示一種已知的影像感測元件封裝體的剖面圖;
圖2-11顯示根據本發明實施例的制作影像感測元件封裝體的示意圖;以及
圖12顯示根據本發明實施例的制作影像感測元件封裝體的流程圖。
【主要元件符號說明】
1~影像感測元件封裝體;
2~基底;????????????????????4~感光元件;
6~接合墊;??????????????????8~蓋板;
9~承載板;??????????????????10~導電層;
12~焊球;???????????????????100~第一基底;
101~隔離的第一基底;
101a~支撐塊;???????????????102~感光元件;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





