[發(fā)明專(zhuān)利]電子元件封裝體及其制作方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200810109132.2 | 申請(qǐng)日: | 2008-05-23 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN101587903A | 公開(kāi)(公告)日: | 2009-11-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 林佳升;黃郁庭;賴(lài)志隆 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 精材科技股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L27/146 | 分類(lèi)號(hào): | H01L27/146;H01L23/48;H01L21/60 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務(wù)所 | 代理人: | 彭久云 |
| 地址: | 中國(guó)臺(tái)*** | 國(guó)省代碼: | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 電子元件 封裝 及其 制作方法 | ||
1.一種電子元件封裝體,包含:
半導(dǎo)體芯片,具有基底;
支撐塊,與該基底間隔一既定距離;以及
接合墊,具有一表面,其橫跨于該基底與該支撐塊上。
2.如權(quán)利要求1所述的電子元件封裝體,其中該支撐塊與該基底共平面。
3.如權(quán)利要求1所述的電子元件封裝體,還包含絕緣層,位于該支撐塊與該基底之間,以隔離該基底與該支撐塊,且該接合墊橫跨于該絕緣層上。
4.如權(quán)利要求1所述的電子元件封裝體,其中該支撐塊與該基底由相同材料構(gòu)成。
5.如權(quán)利要求4所述的電子元件封裝體,其中該支撐塊由硅材料構(gòu)成。
6.如權(quán)利要求1所述的電子元件封裝體,還包含導(dǎo)線(xiàn)層,與該支撐塊及該接合墊的側(cè)面接觸。
7.如權(quán)利要求1所述的電子元件封裝體,還包含封裝層,覆蓋該半導(dǎo)體芯片及該支撐塊。
8.如權(quán)利要求7所述的電子元件封裝體,其中該封裝層與該半導(dǎo)體芯片及該支撐塊之間還包含間隔層。
9.如權(quán)利要求1所述的電子元件封裝體,其為背光式影像感測(cè)元件封裝體,包含:
以該半導(dǎo)體芯片的基底作為第一基底,其具有受光面及背光面,且該背光面包含感光元件區(qū);
第二基底,接合至該第一基底的背光面;
第一封裝層,覆蓋該第一基底的受光面;
第二封裝層,覆蓋該第二基底;
導(dǎo)線(xiàn)層,形成于該第二封裝層上,且延伸至該接合墊及該支撐塊的側(cè)面上,以電性連接該接合墊;以及
導(dǎo)電凸塊,設(shè)置于該第二封裝層上,且電性連接該導(dǎo)線(xiàn)層。
10.一種電子元件封裝體的制作方法,包括:
提供晶片,具有包含多個(gè)管芯區(qū)的基底,以承載或形成多顆半導(dǎo)體芯片,且多個(gè)接合墊形成于該基底上;以及
對(duì)該基底實(shí)施晶片級(jí)封裝工藝,其包含:
圖案化該基底以于每個(gè)管芯區(qū)隔離出支撐塊,以使該支撐塊與該基底間隔一既定距離,且暴露該接合墊。
11.如權(quán)利要求10所述的電子元件封裝體的制作方法,其中該基底包含第一表面及相對(duì)的第二表面,這些接合墊形成于該基底的第一表面上,且該基底的第二表面被圖案化以隔離出該支撐塊,并形成圖案化開(kāi)口以暴露出該接合墊。
12.如權(quán)利要求11所述的電子元件封裝體的制作方法,其中這些半導(dǎo)體芯片包含光電元件,且該晶片級(jí)封裝還包含:
以該基底為第一基底,且以該第一表面為背光面,及該相對(duì)的第二表面為出光面或受光面;
設(shè)置第一封裝層,以覆蓋該第一基底的出光面或受光面;
接合該第一基底的背光面至第二基底上;以及
沿著兩管芯區(qū)間的預(yù)定切割道的位置,分離該第二基底,以形成多個(gè)對(duì)應(yīng)管芯區(qū)的承載板。
13.如權(quán)利要求12所述的電子元件封裝體的制作方法,其中該晶片級(jí)封裝工藝還包含:
形成絕緣層,以至少包覆這些承載板的側(cè)面;
設(shè)置第二封裝層,以覆蓋該第二基底及該絕緣層;
于兩管芯區(qū)間的該預(yù)定切割道的位置形成通道凹口;
形成導(dǎo)線(xiàn)層于該第二封裝層上,且沿著該通道凹口延伸至該接合墊與該支撐塊的側(cè)面上,以電性連接該接合墊;
設(shè)置導(dǎo)電凸塊于該第二封裝層上,且電性連接該導(dǎo)線(xiàn)層;以及
沿該預(yù)定切割道分離該第一封裝層。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類(lèi)目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的多個(gè)半導(dǎo)體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無(wú)源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專(zhuān)門(mén)適用于整流、振蕩、放大或切換的半導(dǎo)體組件并且至少有一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的;包括至少有一個(gè)躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的無(wú)源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射或者微粒子輻射并且專(zhuān)門(mén)適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過(guò)這樣的輻射控制電能的半導(dǎo)體組件的
H01L27-15 .包括專(zhuān)門(mén)適用于光發(fā)射并且包括至少有一個(gè)電位躍變勢(shì)壘或者表面勢(shì)壘的半導(dǎo)體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點(diǎn)的熱電元件的;包括有熱磁組件的





