[發明專利]應用于移栽容器的穩壓系統

無效

• 申請號: 200810099800.8
• 申請日: 2008-06-16
• 公開（公告）號: CN101609257A
• 公開（公告）日: 2009-12-23
• 發明（設計）人: 陳俐殷;蔡銘貴;黃柏凱
• 申請（專利權）人: 億尚精密工業股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G03F1/00;H01L21/677;H01L21/673;H01L21/67;B65D85/00
• 代理公司: 北京中原華和知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 壽 寧;張華輝

1、一種應用于移載容器的穩壓系統，其特征在于其包含：

一裝置，其具有至少一進氣回路與至少一排氣回路，該裝置具有至少一擺置單元，該擺置單元上設有至少一連接進氣回路的進氣閥件與至少一連接排氣回路的穩壓閥件，其中穩壓閥件具有一個或多數流道孔；

至少一移轉容器，其具有一可選擇性啟閉的容置空間，且移轉容器上設有復數連通容置空間與外部環境的氣閥，不同氣閥并可同時串接前述裝置的進氣閥件與穩壓閥件，其中對應穩壓閥件的氣閥是跨設于流道孔上，使得穩壓閥件可同步吸排移載容器容置空間與外部環境的氣體。

2、根據權利要求1所述的應用于移載容器的穩壓系統，其特征在于其中所述的裝置是選自晶圓或光掩膜的管理系統儲存柜、容置柜、運輸設備或制程設備的進出料機體。

3、根據權利要求1所述的應用于移載容器的穩壓系統，其特征在于其中所述的裝置是為一供承置光掩膜盒的收納柜，其具有至少一供光掩膜盒放置的擺置單元，該擺置單元具有供支撐光掩膜盒的承座，且該承座上設有至少一對應光掩膜盒的定位元件，而進氣閥件與穩壓閥件是設置于擺置單元的承座表面。

4、根據權利要求1所述的應用于移載容器的穩壓系統，其特征在于其中所述的移轉容器是選自供容置晶圓或光掩膜的密封式箱體或盒體等。

5、根據權利要求1所述的應用于移載容器的穩壓系統，其特征在于其中所述的移轉容器可為儲存光掩膜的光掩膜盒，其具有一承置光掩膜的底座，該底座頂面并設有組設呈ㄇ形支撐體的兩承抵塊與一貼抵塊，又底座上覆設有一殼罩，供光掩膜盒形成可選擇性啟閉的密封環境。

6、根據權利要求1、4或5所述的應用于移載容器的穩壓系統，其特征在于其中所述的移轉容器的氣閥具有一中空的閥體，且閥體內部中段形成設有一具有較小通孔的隔片，該閥體內設有一可相對隔片通孔滑動的浮動桿，該浮動桿兩端分別具有一較大徑的抵頂部與一可穿出隔片的頸部，且頸部上束設有一可選擇性封閉隔片通孔的密封墊圈，而浮動桿的抵頂部與隔片間頂撐有一彈簧，讓浮動桿的密封墊圈可相對遠離或緊貼隔片，達到讓氣閥可受進氣閥件與穩壓閥件作用選擇性導通或密封的目的。

7、根據權利要求1、2或3所述的應用于移載容器的穩壓系統，其特征在于其中所述的裝置的進氣閥件具有一中空的閥體，且該閥體內部中段形成設有一具有較小通孔的隔片，該閥體內設有一可相對隔片通孔滑動的浮動桿，該浮動桿的兩端分別具有一較大徑的抵頂部與一可穿出隔片的頸部，且頸部上束設有一可選擇性封閉隔片通孔的密封墊圈，而浮動桿的抵頂部與隔片間頂撐有一彈簧，讓浮動桿的密封墊圈可相對遠離或緊貼隔片，達到讓進氣閥件可受氣閥作用選擇性導通或密封。

8、根據權利要求1、2或3所述的應用于移載容器的穩壓系統，其特征在于其中所述的裝置的穩壓閥件具有一中空的閥體，且該閥體的頂面形成設有一道較大徑的凸環片，且閥體內部形成設有一隔片，而同步跨接移載容器氣閥內、外部的流道孔是設置于隔片上。

9、根據權利要求8所述的應用于移載容器的穩壓系統，其特征在于其中所述的穩壓閥件的隔片頂面并具有向上凸出的推桿，供選擇性啟閉移載容器氣閥的氣流通道。