[發(fā)明專利]移栽容器的氣閥結(jié)構(gòu)

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810099799.9
• 申請日: 2008-06-16
• 公開（公告）號: CN101609784A
• 公開（公告）日: 2009-12-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳俐殷;汪欣聰
• 申請（專利權(quán)）人: 億尚精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677;G03F1/00;G03F7/20;B65D81/20;F16K17/19
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 壽 寧;張華輝

1、一種移載容器的氣閥結(jié)構(gòu)，其特征在于該供儲存晶圓或光掩膜的移載容器具有可選擇性啟閉的容置空間，又該移載容器上設(shè)有一個或多數(shù)的氣閥，而移載容器可供擺置于對應(yīng)的承載裝置上，且該承載裝置上設(shè)有對應(yīng)移載容器氣閥的進排氣閥件，其中：

該氣閥，具有一中空的閥體，且閥體內(nèi)部中段形成設(shè)有一具有較小通孔的隔片，又閥體內(nèi)部在隔片兩側(cè)分別形成一第一槽孔與一第二槽孔；

再者該閥體內(nèi)滑設(shè)有一浮動桿，該浮動桿的兩端分別形成設(shè)有一較大徑的抵頂部與一較小徑的頸部；

該浮動桿的頸部可穿經(jīng)一彈簧后，由閥體第一槽孔經(jīng)隔片進入第二槽孔，并在該頸部上套設(shè)有一密封墊圈，使浮動桿可通過彈簧讓密封墊圈可選擇性啟閉閥體的隔片。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的移載容器的氣閥結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的氣閥的浮動桿抵頂部的周緣具有一個或多數(shù)供氣流流動的通道。

3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的移載容器的氣閥結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的移載容器上埋設(shè)有一螺帽，而該氣閥的閥體在對應(yīng)外緣形成設(shè)有一螺紋段，供氣閥鎖設(shè)于移載容器上，使得氣閥可便于由移載容器外部組裝與拆解。

4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的移載容器的氣閥結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的移載容器可選自晶圓傳送箱或光掩膜盒。

5、根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的移載容器的氣閥結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的承載裝置的進排氣閥件可為一進氣閥件，進氣閥件具有一中空的閥體，該閥體內(nèi)設(shè)有一可選擇性啟閉流道的浮動桿，該浮動桿上具有至少一供氣流流動的通孔，且該浮動桿并具有向上凸出的推桿，該推桿可選擇性推動氣閥的浮動桿。

6、根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的移載容器的氣閥結(jié)構(gòu)，其特征在于其中所述的承載裝置的進排氣閥件可為一穩(wěn)壓閥件，該穩(wěn)壓閥件則具有一中空的閥體，該閥體內(nèi)部形成設(shè)有一隔片，且該隔片的頂面具有一供選擇性啟閉氣閥的推桿；又該閥體的隔片上形成設(shè)有一個或多數(shù)流道孔，且流道孔是跨設(shè)于氣閥的內(nèi)、外，使得穩(wěn)壓閥件可同步吸排移載容器的容置空間與外部環(huán)境的氣體。