[發明專利]化學放大型正性抗蝕劑組合物

無效

• 申請號: 200810099591.7
• 申請日: 2008-05-15
• 公開（公告）號: CN101308328A
• 公開（公告）日: 2008-11-19
• 發明（設計）人: 秋田誠;末次益實;橋本和彥
• 申請（專利權）人: 住友化學株式會社
• 主分類號: G03F7/039
• 分類號: G03F7/039
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 陳平

1.一種化學放大型正性抗蝕劑組合物，其包含(A)樹脂和(B)至少一種 酸生成劑，其中所述的(A)樹脂包含(i)由式(I)表示的聚合單元：

其中R¹⁰表示氫原子或C1-C4烷基，R¹¹表示C1-C4烷基，p表示1至3的整數， q表示0至2的整數，并且當q是1或2時，多個R¹¹可以相同或不同，

(ii)由式(II)表示的聚合單元：

其中R¹表示氫原子或甲基，R²表示C1-C8烷基，并且環X表示脂環烴基， 和

(iii)選自由式(III)表示的聚合單元和由式(IV)表示的聚合單元中的至少一 種聚合單元：

式(III)中，R³表示氫原子或C1-C4烷基，并且R⁴、R⁵、R⁶、R⁷和R⁸各自獨立 地表示氫原子，C1-C4烷基，C1-C4烷氧基或羥基；

式(IV)中，R⁹表示氫原子或甲基，n₁表示0或1，并且R^a表示可以被選自C1-C6 烷基和羥基中的至少一個取代的蒽基。

2.根據權利要求1所述的化學放大型正性抗蝕劑組合物，其中選自由 式(III)表示的聚合單元和由式(IV)表示的聚合單元中的至少一種聚合單元 是由式(III)表示的聚合單元。

3.根據權利要求1所述的化學放大型正性抗蝕劑組合物，其中由式(II) 表示的聚合單元是由式(IIa)表示的聚合單元：

其中R¹表示氫原子或甲基，并且R²表示C1-C8烷基。

4.根據權利要求1所述的化學放大型正性抗蝕劑組合物，其中式(I)中 的p是1并且q是0。

5.根據權利要求1所述的化學放大型正性抗蝕劑組合物，其中至少一 種酸生成劑包含具有磺酰基的重氮甲烷化合物。

6.根據權利要求1所述的化學放大型正性抗蝕劑組合物，其中由式(I) 表示的聚合單元、由式(II)表示的聚合單元以及選自由式(III)表示的聚合單 元和由式(IV)表示的聚合單元的至少一種聚合單元基于樹脂中的所有聚合 單元分別在30至89.9摩爾％范圍內，10至40摩爾％范圍內和0.1至30摩爾％ 范圍內。

7.根據權利要求1所述的化學放大型正性抗蝕劑組合物，其中所述化 學放大型正性抗蝕劑組合物還包含含氮有機堿化合物。