[發明專利]探測裝置

有效

• 申請號: 200810099048.7
• 申請日: 2008-05-15
• 公開（公告）號: CN101308194A
• 公開（公告）日: 2008-11-19
• 發明（設計）人: 秋山收司;帶金正;鈴木勝;山本保人;矢野和哉;淺川雄二;山縣一美;中村茂木;松澤永一;小澤和博;加賀美史;小島伸時
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/02
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉春成

技術領域

本發明涉及使探測器與被檢查體的電極墊電接觸，對該被檢查體的電特性進行測定的技術。

背景技術

在半導體晶片(以下稱為晶片)上形成IC芯片后，為了檢查IC芯片的電特性，在晶片的狀態下進行利用探測裝置的探測器檢查。該探測裝置的結構是：晶片載置于在X、Y、Z方向上能夠自由移動且圍繞Z軸能夠自由旋轉的晶片卡盤上，以使設置在晶片卡盤上方的探測卡的探測器例如探針，與晶片的IC芯片的電極墊接觸的方式對晶片卡盤的位置進行控制。

并且，為了使晶片上的IC芯片的電極墊與探測器正確接觸，進行所謂的精對準(fine?alignment)，即，通過裝置內的攝像機對晶片的表面進行攝像，并且通過例如設置在晶片卡盤側的攝像機對探測器進行攝像，根據各攝像時的晶片卡盤的位置求取電極墊與探測器接觸的晶片卡盤的位置。為了進行這樣的對準，必須確保晶片卡盤的移動區域，但是隨著晶片的大口徑化，其移動區域也變大，無法避免裝置的大型化。進而，當晶片卡盤的移動區域變大時，其移動時間也變長，對準所需的時間也變長。此外，另一方面，根據提高通過量(throughput)的要求，進行了以能夠搬入多個載體的方式構成裝載部、相對多個檢查部共用裝載部等各種研究，但是又出現了當追求高通過量時裝置的占用面積變大這種折衷(trade?off)關系。

現有技術中以高通過量為目標的探測裝置，已知有專利文獻1所述的裝置。該裝置采用在裝載部的兩側連接有包括晶片卡盤、探測卡等的兩臺檢查部的結構。但是因為檢查部本身沒有進行小型化的設計，所以由于在裝載部的兩側設置檢查部而導致裝置的占用面積變大，此外，由于設置有在其與搬入裝載部的載體之間進行晶片的交接的、能夠沿裝載部的長度方向自由進退的夾架(pincette)，和在該夾架與左右的檢查部之間分別進行晶片的交接的兩臺搖臂，所以很難說晶片的搬送效率高，并且因為必須確保這些搖臂的移動軌跡，所以不能夠解決裝置整體的小型化的課題。

專利文獻1：日本專利特公平6-66365號公報：第一圖

發明內容

本發明是鑒于上述情況提出的，其目的是提供一種能夠實現裝置的小型化并且能夠獲得高通過量的探測裝置。

本發明的探測裝置，其將排列有多個被檢查芯片的基板載置在能夠沿水平方向和鉛垂方向移動的基板載置臺上，使上述被檢查芯片的電極墊與探測卡的探測器接觸，進行被檢查芯片的檢查，其特征在于，包括：

用于搬入基板的裝載部；和與該裝載部鄰接設置的、用于進行上述基板的被檢查芯片的檢查的探測裝置主體，

上述裝載部包括：用于從外部搬入收納有多個基板的載體，并以基板的交接口相互分離并相對的方式分別載置兩個上述載體的第一裝載口(load?port)和第二裝載口；以及在這第一裝載口和第二裝載口的中間位置具有旋轉中心，能夠圍繞鉛垂軸自由旋轉、能夠自由進退和能夠自由升降的基板搬送機構，

所述探測裝置主體由配置在通過上述旋轉中心并且與連接第一裝載口和第二裝載口的線正交的水平線的兩側、并且沿著第一裝載口和第二裝載口的排列而進行排列的第一檢查部和第二檢查部構成，

這些檢查部各自包括：基板載置臺；探測卡；以及設置為在上述基板載置臺和探測卡之間的高度位置上能夠沿水平方向移動的、包括用于對基板表面進行攝像的視野向下的基板攝像用的攝像機構的攝像單元，

上述基板搬送機構被構成為在分別載置于上述第一裝載口和第二裝載口上的載體與上述基板載置臺之間直接進行基板的交接，

上述第一檢查部和第二檢查部的基板攝像時的攝像單元的位置、基板交接時的基板載置臺的位置、和探測卡的位置關于上述水平線對稱。

優選上述基板攝像時的攝像單元的位置和探測卡沿著上述第一裝載口和第二裝載口的排列而進行排列，或者，上述基板攝像時的攝像單元的位置和探測卡與上述第一裝載口和第二裝載口的排列正交地進行排列，

基板交接時的基板載置臺的位置與上述基板攝像時的攝像單元的位置和探測卡相比更靠近上述水平線側。

上述基板搬送機構優選包括能夠各自相互獨立地進退的三個基板保持部件，從上述載體接收兩塊檢查前的基板，將該兩塊基板依次交接至上述第一檢查部的基板載置臺和第二檢查部的基板載置臺中的一個和另一個。

也可以是，上述基板搬送機構包括：保持從上述載體接收的檢查前的基板并使其旋轉的能夠自由升降的旋轉臺；和檢測通過該旋轉臺旋轉的基板的周邊的檢測部，上述旋轉臺以根據上述檢測部的檢測結果使基板的方向與預先設定的方向一致的方式旋轉。