[發明專利]探測裝置

有效

• 申請號: 200810099048.7
• 申請日: 2008-05-15
• 公開（公告）號: CN101308194A
• 公開（公告）日: 2008-11-19
• 發明（設計）人: 秋山收司;帶金正;鈴木勝;山本保人;矢野和哉;淺川雄二;山縣一美;中村茂木;松澤永一;小澤和博;加賀美史;小島伸時
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28;G01R1/02
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉春成

1.一種探測裝置，其將排列有多個被檢查芯片的基板載置在能夠沿水平方向和鉛垂方向移動的基板載置臺上，使所述被檢查芯片的電極墊與探測卡的探測器接觸，進行被檢查芯片的檢查，其特征在于，包括：

用于搬入基板的裝載部；和與該裝載部鄰接設置的、用于進行所述基板的被檢查芯片的檢查的探測裝置主體，

所述裝載部包括：用于從外部搬入收納有多個基板的載體，并以基板的交接口相互分離并相對的方式分別載置兩個所述載體的第一裝載口和第二裝載口；以及在這些第一裝載口和第二裝載口的中間位置具有旋轉中心，能夠圍繞鉛垂軸自由旋轉、能夠自由進退和能夠自由升降的基板搬送機構，

所述探測裝置主體由配置在通過所述旋轉中心并且與連接第一裝載口和第二裝載口的線正交的水平線的兩側、并且沿著第一裝載口和第二裝載口的排列而進行排列的第一檢查部和第二檢查部構成，

這些檢查部各自包括：基板載置臺；探測卡；以及設置為在所述基板載置臺和探測卡之間的高度位置上能夠沿水平方向移動的、包括用于對基板表面進行攝像的視野向下的基板攝像用的攝像機構的攝像單元，

所述基板搬送機構被構成為在分別載置于所述第一裝載口和第二裝載口上的載體與所述基板載置臺之間直接進行基板的交接，

所述第一檢查部和第二檢查部的基板攝像時的攝像單元的位置、基板交接時的基板載置臺的位置、和探測卡的位置關于所述水平線對稱。

2.如權利要求1所述的探測裝置，其特征在于：

所述基板攝像時的攝像單元的位置和探測卡沿著所述第一裝載口和第二裝載口的排列而進行排列，

基板交接時的基板載置臺的位置與所述基板攝像時的攝像單元的位置和探測卡相比更靠近所述水平線側。

3.如權利要求1所述的探測裝置，其特征在于：

所述基板攝像時的攝像單元的位置和探測卡與所述第一裝載口和第二裝載口的排列正交地進行排列，

基板交接時的基板載置臺的位置與所述基板攝像時的攝像單元的位置和探測卡相比更靠近所述水平線側。

4.如權利要求1～3中任一項所述的探測裝置，其特征在于：

所述基板搬送機構包括能夠各自相互獨立地進退的三個基板保持部件，從所述載體接收兩塊檢查前的基板，將該兩塊基板依次交接至所述第一檢查部的基板載置臺和第二檢查部的基板載置臺中的一個和另一個。

5.如權利要求1～3中任一項所述的探測裝置，其特征在于：

所述基板搬送機構包括：保持從所述載體接收的檢查前的基板并使其旋轉的能夠自由升降的旋轉臺；和檢測通過該旋轉臺旋轉的基板的周邊的檢測部，所述旋轉臺以根據所述檢測部的檢測結果使基板的方向與預先設定的方向一致的方式旋轉。

6.如權利要求1～3中任一項所述的探測裝置，其特征在于：

所述基板攝像用的攝像機構包括：對基板表面的廣闊區域進行攝像的低倍率攝像機；和用于對基板表面的狹窄區域進行攝像的、與所述低倍率攝像機相比倍率更高的多個高倍率攝像機。

7.如權利要求6所述的探測裝置，其特征在于：

所述高倍率攝像機排列有三個以上。

8.如權利要求6所述的探測裝置，其特征在于：

所述高倍率攝像機排列有兩個。

9.如權利要求8所述的探測裝置，其特征在于：

所述低倍率攝像機排列有兩個。

10.如權利要求9所述的探測裝置，其特征在于：

所述兩個低倍率攝像機以相對于連接與所述兩個高倍率攝像機距離相等的點的直線對稱的方式配置。

11.如權利要求1～3中任一項所述的探測裝置，其特征在于，構成為：

使所述基板的全部被檢查芯片的電極墊一并與所述探測卡的探測器接觸，或者將所述基板的全部被檢查芯片的電極墊分割為四部分并使其依次與所述探測器接觸。

12.如權利要求1～3中任一項所述的探測裝置，其特征在于：

所述基板載置臺包括用于對所述探測器進行攝像的視野向上的探測器攝像用的攝像機構，

所述探測器攝像用的攝像機構包括：對探測卡的廣闊區域進行攝像的低倍率攝像機；和用于對探測卡的狹窄區域進行攝像的、與所述低倍率攝像機相比倍率更高的多個高倍率攝像機。