[發(fā)明專(zhuān)利]過(guò)程監(jiān)控器以及半導(dǎo)體制造裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810096963.0
• 申請(qǐng)日: 2003-09-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101299407A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 湯淺光博
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/00
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/00;H01L21/66;H01L21/3065
• 代理公司: 北京東方億思知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 王怡

1.一種用于監(jiān)控半導(dǎo)體制造過(guò)程的過(guò)程監(jiān)控裝置，其包括：

容器元件，該容器元件是盒室、搬送機(jī)器人室、校準(zhǔn)室和用于傳感器晶片的專(zhuān)用室之一；

監(jiān)控器元件，其包括晶片和多個(gè)附接到所述晶片的傳感器，所述監(jiān)控器元件能夠由搬送機(jī)器人搬送到處理設(shè)備的目標(biāo)環(huán)境中或者搬送到所述容器元件中；以及

包括在所述容器元件中的充電機(jī)構(gòu)和讀出機(jī)構(gòu)，所述充電機(jī)構(gòu)和讀出機(jī)構(gòu)在所述監(jiān)控器元件被搬送到所述容器元件中時(shí)可與所述監(jiān)控器元件通信，

其中，所述充電機(jī)構(gòu)對(duì)所述監(jiān)控器元件的電源進(jìn)行充電，并且利用非接觸技術(shù)向所述充電機(jī)構(gòu)傳送功率。

2.如權(quán)利要求1所述的過(guò)程監(jiān)控裝置，其中，所述充電機(jī)構(gòu)和讀出機(jī)構(gòu)在所述監(jiān)控器元件被搬送到所述容器元件中時(shí)自動(dòng)地與所述監(jiān)控器元件通信。

3.如權(quán)利要求1所述的過(guò)程監(jiān)控裝置，其中，所述非接觸技術(shù)包括使用無(wú)線通信或紅外線。