[發明專利]安裝光纖的波導元件及其制造方法

有效

• 申請號: 200810092867.9
• 申請日: 2008-05-07
• 公開（公告）號: CN101303434A
• 公開（公告）日: 2008-11-12
• 發明（設計）人: 安田裕紀;平野光樹;牛渡剛真
• 申請（專利權）人: 日立電線株式會社
• 主分類號: G02B6/12
• 分類號: G02B6/12;G02B6/13
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 張敬強

技術領域

本發明涉及連接損失小且生產率高的安裝光纖的波導元件及其制造方法。

背景技術

一直以來，在安裝光纖的波導元件(以下，稱為安裝光纖的波導元件)上 設有光纖槽，以便將光纖向芯部的延長線上引導，并且容易穩定地固定光纖。

安裝光纖的波導元件具有與光纖安裝槽面對的包層及芯部的端面。即，在 包層上設置階梯部并將該階梯部的底部作為光纖槽的底面，使在該光纖槽上放 置并安裝的光纖的端面與包層及芯部的端面接觸。

專利文獻1：日本特開2006-184754號公報。

專利文獻2：日本特開2002-267860號公報。

如圖4所示，現有的安裝光纖的波導元件101的被包層103包圍周圍的芯 部104形成至包層103的端面，通過安裝在光纖槽102上的光纖105的端面與 包層103的端面接觸，光纖105中的芯部和安裝光纖的波導元件101的芯部 104光結合。

但是，若將包層103的端面附件放大之后仔細觀察，則如圖5所示，芯部 104的前端104a呈圓形。這是因為，例如在安裝光纖的波導元件101利用光 刻技術(直接曝光)制造的場合，為了在作為原料的波導基板上劃分成所需形 狀而形成芯部104和包層103，在放置光掩模進行曝光時，在光掩模的邊緣產 生光的衍射等，在光掩模上成直角棱邊的掩模圖形變成圓形而被曝光。由于包 層103的端面位于光掩模的邊緣，所以即使光掩模上的芯部圖形變成直角棱 邊，所形成的芯部104的前端104也呈圓形。尤其是，在芯部直徑(粗細)小 的場合，芯部104的前端104a容易形成圓形。

另外，呈圓形的芯部104的前端104a與包層103的端面103a之間，用包 層103填埋。

如圖5所示，若芯部104的前端104a呈圓形，則在芯部的前端104a的曲 面與光纖105之間進入包層103，芯部104與包層103的界面彎曲，所以光產 生折射而光路改變，從而光大量泄漏到鄰接芯部等從而使光隔離惡化，而且連 接損失增大。

而且，若芯部的前端104a呈圓形并被包層103覆蓋，則由于與光纖105 的相對位置(沿著端面的方向的位置)而光結合的良好程度發生較大變化，所 以因制造不均引起的芯部前端部與光纖的相對位置(沿著端面的方向)的變化 所產生的損失的不均勻變大，安裝光纖的波導元件的生產率下降。

另外，在如專利文獻2所示的光波導元件中，也存在如上所述的芯部端面 變成圓形，并且在與光纖連接時連接損失變大的問題。而且，如圖6所示，由 于是通過將芯部61的光連接端面形成于包層62的凹部內之后，除去覆蓋了光 連接端面的包層材料及基板，從而制作使芯部61從包層端面突出的光波導的 方法，因此在包層62的除去工序中存在芯部61被破壞的問題。

發明內容

于是，本發明的目的在于解決上述問題，提供一種連接損失小且生產率高 的安裝光纖的波導元件及其制造方法。

為達到上述目的，本發明的安裝光纖的波導元件在基板上形成內包層、芯 部和覆蓋包層而構成，在上述安裝光纖的波導元件上形成用于安裝光纖的光纖 安裝槽，該波導元件具有與上述光纖安裝槽面對的覆蓋包層的端面，在該光纖 安裝槽一側上述芯部和上述內包層比上述覆蓋包層的端面還突出。

另外，本發明的安裝光纖的波導元件在基板上形成內包層、芯部和覆蓋包 層而構成，在上述安裝光纖的波導元件上形成用于安裝光纖的光纖安裝槽，該 波導元件具有與上述光纖安裝槽面對的覆蓋包層的端面，在該光纖安裝槽一側 上述芯部比上述覆蓋包層的端面還突出，而且以L字狀形成至上述光纖安裝 槽的底面。

具有多個上述芯部，這些芯部在比上述覆蓋包層的端面靠外的位置彼此連 接也可以。

具有多個上述芯部，這些芯部在比上述覆蓋包層的端面靠外的位置向鄰接 的芯部的方向擴展也可以。

在上述光纖安裝槽上安裝光纖，該光纖的端面與上述芯部接觸，通過在上 述光纖的端面與上述覆蓋包層、芯部層及內包層的端面之間填充粘接劑并使其 硬化，使上述芯部和上述光纖連接，上述芯部和硬化后的上述粘接劑的折射率 的差在±0.005的范圍內也可以。

上述芯部和上述粘接劑是相同材料也可以。