[發明專利]生成探針測試機用地圖數據的裝置及方法

有效

• 申請號: 200810092680.9
• 申請日: 2008-04-21
• 公開（公告）號: CN101311668A
• 公開（公告）日: 2008-11-26
• 發明（設計）人: 趙炳鶴;丁均
• 申請（專利權）人: 賽科隆股份有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01R1/073;G01R31/28;G01R31/26
• 代理公司: 上海恩田旭誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 尹洪波

1.一種生成晶片上芯片的探針測試機用地圖數據的裝置，包括：

數據生成模塊，其使用晶片信息文件生成該晶片的原始數據，所述文件包括與該晶片相對應之樣本晶片的多種特征；

誤差檢測模塊，其用于檢測該晶片上芯片的第一坐標與對應于該晶片上芯片的該原始數據中的地圖芯片的第二坐標之間的地圖誤差，該誤差檢測模塊包括用于測量該芯片的第一坐標的相機；

校準模塊，其用于計算修正量，所述修正量用于補償該芯片的第一坐標與該地圖芯片的第二坐標之間的該地圖誤差；及

坐標修正模塊，其用于根據該修正量修正該原始數據中該地圖芯片的所述坐標。

2.如權利要求1所述的裝置，其中，該晶片信息文件包括該樣本晶片的參考芯片的坐標數據、該樣本晶片上芯片的信息、由x方向及y方向表征的該樣本晶片的芯片尺寸、以及該樣本晶片的尺寸。

3.如權利要求2所述的裝置，其中，該數據生成模塊根據該樣本晶片的參考芯片的坐標數據判定地圖參考芯片的坐標，并且根據該由x方向及y方向表征的芯片尺寸以及該晶片尺寸界定作為該芯片邊界的網格圖形，藉此形成該原始數據，該原始數據中各芯片的區域由該網格圖形界定，各該芯片區域根據該芯片信息的各芯片的探針接觸信息被分為探針區域及非探針區域，且該探針接觸信息指示各該芯片區域是否與該探針測試機的探針接觸。

4.如權利要求1所述的裝置，其中，該晶片上芯片的第一坐標包括由位于該晶片上方的第一相機測量在該晶片的x方向及y方向上的平面坐標以及由位于該晶片側部的第二相機測量在垂直于該晶片的x方向及y方向的z方向上的軸坐標，這樣，由該誤差檢測模塊所檢測的該地圖誤差包括該晶片上芯片的第一坐標與該原始數據中該地圖芯片的第二坐標之間的沿該x方向及y方向的平面坐標誤差、以及該晶片上芯片的第一坐標與該原始數據中該地圖芯片的第二坐標之間的沿該z方向的軸坐標誤差。

5.如權利要求4所述的裝置，其中，該坐標修正模塊包括平面坐標修正模塊，其用于修改沿該x方向及y方向的該原始數據中該地圖芯片的平面坐標以補償該平面坐標誤差，藉此修正該原始數據中該地圖芯片的x及y坐標，該坐標修正模塊還包括軸坐標修正模塊，其用于修改沿該z方向的該原始數據中該地圖芯片的軸坐標以補償該軸坐標誤差，藉此修正該原始數據中該地圖芯片的z坐標。?

6.如權利要求1所述的裝置，其中，當該地圖誤差在允許誤差范圍之外時，該校準模塊計算該用于補償該地圖誤差的修正量。?

7.如權利要求1所述的裝置，還包括修正檢查模塊，其用于判定該原始數據中的該地圖芯片經修正的坐標是否為可接受的。?

8.一種生成晶片上芯片的探針測試機用地圖數據的方法，包括使用晶片信息文件生成該晶片的原始數據，所述文件包括與該晶片相對應之樣本晶片的多種特征；?

通過比較該晶片上芯片的第一坐標與對應于該晶片上芯片的該原始數據中的地圖芯片的第二坐標來檢測地圖誤差，該芯片的第一坐標由相機測量；?

計算修正量，所述修正量用于補償該芯片的第一坐標與該地圖芯片的第二坐標之間的該地圖誤差；及?

根據該修正量修正該原始數據中該地圖芯片的坐標。?

9.如權利要求8所述的方法，其中，該晶片信息文件包括該樣本晶片的參考芯片的坐標數據、該樣本晶片上芯片的信息、由x方向及y方向表征的該樣本晶片的芯片尺寸、以及該樣本晶片的尺寸。?

10.如權利要求8所述的方法，其中，計算該修正量包括將該地圖誤差與預設的允許誤差范圍進行比較。?

11.如權利要求8所述的方法，其中，還包括判定該原始數據中的該地圖芯片經修正的坐標是否是可接受的。?