[發明專利]生成探針測試機用地圖數據的裝置及方法

有效

• 申請號: 200810092680.9
• 申請日: 2008-04-21
• 公開（公告）號: CN101311668A
• 公開（公告）日: 2008-11-26
• 發明（設計）人: 趙炳鶴;丁均
• 申請（專利權）人: 賽科隆股份有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01R1/073;G01R31/28;G01R31/26
• 代理公司: 上海恩田旭誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 尹洪波

技術領域

本發明涉及一種生成探針測試機用地圖數據的裝置及方法，尤其涉及一種無需人工操作自動生成探針測試機用地圖數據的裝置及方法。

背景技術

一般地，經一系列的單元處理制造半導體器件，例如制造工藝、裸芯分類(electrical?die?sorting，EDS)工藝及封裝工藝。在進行該封裝工藝之前在晶片上進行電路的電特性檢測，并且通過該EDS工藝使缺陷芯片與非缺陷芯片互相分離。該EDS工藝的公知裝置包括探針測試機，該測試機中多個探針與該晶片的導電焊盤接觸并且檢測該晶片上的缺陷芯片。

探針測試機的檢測精度一般由探針與包括半導體芯片的晶片探針區域的精確接觸決定。

圖1為立體圖，示出了在EDS工藝中生成探針測試機用地圖數據的現有裝置。上述現有裝置中，使包括電路的晶片對齊以供EDS工藝使用。

如圖1所示，其上放置有晶片的夾片臺沿x方向及y方向移動以使該晶片上的檢測芯片與該探針測試機的探針精確對齊，并且將該晶片上芯片的位置映射為地圖數據。由相機1檢查該載片臺的移動。

上述地圖數據使得該探針測試機的探針可與該晶片的探針區域精確接觸，這樣該探針與該探針區域的接觸精度取決于該地圖數據的精度。

現有技術中，操作者使用相機1測量該晶片上芯片的位置，藉此生成包括該芯片位置的原始數據。然后，將該原始數據打印在紙上。最后，該操作者根據該打印的原始數據，針對每塊芯片單獨將修正的數據應用至該探針測試機。

然而，上述生成地圖數據的工藝中的問題在于，該操作者必須依靠分開打印在紙上的浩繁的原始數據，并且該修正的數據系針對該晶片上的各芯片輸入該探針測試機，由此生成該地圖數據非常耗時。

此外，上述地圖數據生成工藝中還有一個問題就是必須依賴于該操作者的個人技藝及精度，由此降低了校準地圖數據的精度。

發明內容

因此，本發明的實施例提供一種通過自動將原始數據轉為校準地圖數據來生成探針測試機用地圖數據的裝置。

本發明的實施例亦提供一種使用上述裝置生成探針測試機用地圖數據的方法。

根據本發明的一個方面，提供了一種生成晶片上芯片的探針測試機用地圖數據的裝置。該裝置包括數據生成模塊，其使用晶片信息文件生成該晶片的原始數據，所述文件包括與該晶片相對應之樣本晶片的多種特征；誤差檢測模塊，其用于檢測該晶片上芯片的第一坐標與對應于該晶片上芯片的該原始數據中的地圖芯片的第二坐標之間的地圖誤差；校準模塊，其用于計算修正量，所述修正量用于補償該芯片的第一坐標與該地圖芯片的第二坐標之間的該地圖誤差；及坐標修正模塊，其用于根據該修正量修正該原始數據中該地圖芯片的坐標。該誤差檢測模塊包括用于測量該芯片的第一坐標的相機。

一實施例中，該晶片信息文件包括該樣本晶片的參考芯片的坐標數據、該樣本晶片上芯片的信息、由x方向及y方向表征的該樣本晶片的芯片尺寸、以及該樣本晶片的尺寸。

一實施例中，該數據生成模塊根據該樣本晶片的參考芯片的坐標數據判定地圖參考芯片的坐標，并且根據該由x方向及y方向表征的芯片尺寸以及該晶片尺寸界定作為該芯片邊界的網格圖形，藉此形成該原始數據，該原始數據中各芯片的區域由該網格圖形界定，各該芯片區域根據該芯片信息中各芯片的探針接觸信息被分為探針區域及非探針區域，且該探針接觸信息指示各該芯片區域是否與該探測測試機的探針接觸。

一實施例中，該晶片上芯片的第一坐標包括由位于該晶片上方的第一相機測量在該晶片的x方向及y方向上的平面坐標以及由位于該晶片側部的第二相機測量在垂直于該晶片的x方向及y方向的z方向上的軸坐標，這樣，由該誤差檢測模塊所檢測的該地圖誤差包括，該晶片上芯片的第一坐標與該原始數據中該地圖芯片的第二坐標之間沿該x方向及y方向的平面坐標誤差，以及該晶片上芯片的第一坐標與該原始數據中該地圖芯片的第二坐標之間沿該z方向的軸坐標誤差。

一實施例中，該坐標修正模塊包括用于修改沿該x方向及y方向的該原始數據中該地圖芯片的平面坐標以補償該平面坐標誤差的平面坐標修正模塊，藉此修正該原始數據中該地圖芯片的x及y坐標，并且包括用于修改沿z方向的該原始數據中該地圖芯片的軸坐標以補償該軸坐標誤差的軸坐標修正模塊，藉此修正該原始數據中該地圖芯片的z坐標。

一實施例中，當該地圖誤差在允許誤差范圍之外時，該校準模塊計算該用于補償該地圖誤差的修正量。

一實施例中，該裝置還包括修正檢查模塊，其用于判定該原始數據中該地圖芯片的經修正的坐標是否是可接受的。