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[發明專利]芯片的導電結構無效

專利信息
申請號: 200810092277.6 申請日: 2008-04-14
公開(公告)號: CN101562161A 公開(公告)日: 2009-10-21
發明(設計)人: 黃祥銘;劉安鴻;李宜璋;蔡豪殷;何淑靜 申請(專利權)人: 南茂科技股份有限公司;百慕達南茂科技股份有限公司
主分類號: H01L23/485 分類號: H01L23/485
代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 代理人: 陸 嘉
地址: 臺灣省新竹科學*** 國省代碼: 中國臺灣;71
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摘要:
搜索關鍵詞: 芯片 導電 結構
【權利要求書】:

1.一種芯片的導電結構,其特征在于,包含:

一重新分布層,形成于所述芯片的一上方,其具有一第一導電區域及一第二導電區域,所述第一導電區域與所述芯片電性連接;

一凸塊下金屬層,形成于所述重新分布層的第二導電區域上,并與其電性連接;

一焊塊,形成于所述凸塊下金屬層上,并與其電性連接;

其特征在于:所述芯片及所述重新分布層之間,另設有:

一接地層,形成于所述芯片上;以及

一介電層,覆蓋所述接地層。

2.如權利要求1所述的導電結構,其特征在于,所述芯片包含多個焊盤及一第一保護層,所述多個焊盤至少包含一輸入/輸出焊盤及一接地焊盤,所述接地層形成于所述第一保護層上,并與所述接地焊盤電性連接。

3.如權利要求2所述的導電結構,其特征在于,所述重新分布層是覆蓋于所述介電層上,并在所述第一導電區域與所述芯片的輸入/輸出焊盤電性連接。

4.如權利要求3所述的導電結構,其特征在于,還包含一第二保護層,覆蓋所述重新分布層,并局部暴露所述第二導電區域。

5.如權利要求4所述的導電結構,其特征在于,所述介電層是由聚亞酰胺、苯環丁烯及SU-8光阻的其中之一所制成。

6.如權利要求5所述的導電結構,其特征在于,所述第二保護層與所述介電層具有實質上相同的一介電常數。

7.如權利要求6所述的導電結構,其特征在于,所述第二保護層是由聚亞酰胺、苯環丁烯及SU-8光阻的其中之一所制成。

8.如權利要求6所述的導電結構,其特征在于,所述介電層與所述第二保護層所形成的一厚度、所述重新分布層的一寬度、所述重新分布層的一厚度、及所述介電常數,是對應形成一關系,使所述導電結構在傳送一高頻信號時,所述重新分布層適可形成一阻抗匹配。

9.如權利要求1所述的導電結構,其特征在于,所述凸塊下金屬層為一無電解電鍍層。

10.如權利要求9所述的導電結構,其特征在于,所述無電解電鍍層是由鎳及金所制成。

11.如權利要求1所述的導電結構,其特征在于,所述凸塊下金屬層為一濺鍍層。

12.如權利要求2所述的導電結構,其特征在于,各所述焊盤是由鋁及銅的其中之一所制成。

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