[發(fā)明專利]光刻膠組合物及使用其形成光刻膠圖案的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810091113.1
• 申請日: 2008-04-02
• 公開（公告）號: CN101281369A
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 樸廷敏;鄭斗喜;李羲國;尹赫敏;丘冀赫
• 申請（專利權(quán)）人: 三星電子株式會社;東進瑟彌侃株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/20
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所
• 代理人: 宋莉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明公開了一種光刻膠組合物以及使用該光刻膠組合物形成光刻膠圖案的方法。具體而言，在實施方式中公開了一種能夠防止光刻膠圖案的倒錐形形狀的光刻膠組合物以及使用該光刻膠組合物形成光刻膠圖案的方法。

背景技術(shù)

液晶顯示(LCD)裝置利用液晶的光學(xué)和電學(xué)性質(zhì)(例如各向異性的折射率和各向異性的介電常數(shù))顯示圖像。與其它類型的顯示器例如陰極射線管(CRT)或等離子體顯示面板(PDP)相比，LCD裝置合意的特性包括更輕的重量、更低的能耗和更低的驅(qū)動電壓。

通常，LCD裝置包括LCD面板和為LCD面板提供光的光源。LCD面板包括多個像素和多個薄膜晶體管(TFT)。像素和TFT利用使用光刻膠組合物的光刻方法形成。

光刻膠組合物可分為正性光刻膠組合物或負性光刻膠組合物。當(dāng)將負性光刻膠組合物用于形成精細圖案時，優(yōu)選降低曝光過程中的光能以減少來自光衍射的鄰近圖案的干擾。然而，當(dāng)曝光過程中的光能降低時，光刻膠膜的下部未提供有足夠的光能。因此，光刻膠圖案可具有倒錐形形狀，其中光刻膠圖案上部的寬度大于光刻膠圖案下部的寬度。

具有倒錐形形狀的光刻膠圖案可易于被外界壓力損壞，例如，在制造過程中干燥時由于施加的壓力增加而易于損壞。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明公開了一種能夠防止光刻膠圖案具有倒錐形形狀的光刻膠組合物。實施方式還提供了一種利用上述光刻膠組合物形成光刻膠圖案的方法。

在一種實施方式中，光刻膠組合物包括約0.5-約20重量份的光致產(chǎn)酸劑(photo-acid?generator)、約10-約70重量份的含有羥基的酚醛清漆樹脂(novolac?resin)、約1-約40重量份的交聯(lián)劑、以及約10-約150重量份的溶劑，其中該交聯(lián)劑由烷氧基甲基三聚氰胺化合物構(gòu)成。該光致產(chǎn)酸劑可包括由以下化學(xué)式1表示的第一化合物，并且任選地包括由以下化學(xué)式2表示的第二化合物。

<化學(xué)式1>

其中R₁和R₂獨立地表示具有1-4個碳原子的烷基。

<化學(xué)式2>

其中R₃表示具有1-4個碳原子的烷基。

該交聯(lián)劑的實例可包括六甲氧基甲基三聚氰胺或六羥甲基三聚氰胺六甲基醚等、或前述化合物中的至少一種的組合。

該光致產(chǎn)酸劑可進一步包括重氮鹽、銨鹽、碘鎓鹽、锍鹽、鏻鹽、鉮鹽(arsonium?salt)、氧鎓鹽、鹵代有機化合物、醌二疊氮(quinone?diazide)化合物、二(磺酰基)重氮甲烷化合物、砜化合物、有機酸酯化合物、有機酸酰胺化合物、有機酸酰亞胺化合物等、或包括前述化合物中的至少一種的組合。此外，該交聯(lián)劑可包括烷氧基甲基化氨基樹脂、烷基醚化三聚氰胺樹脂、苯并胍胺樹脂、烷基醚化苯并胍胺樹脂、脲醛樹脂、烷基醚化脲醛樹脂、氨基甲酸酯-甲醛樹脂、甲階段酚醛樹脂型酚醛樹脂、烷基醚化甲階段酚醛樹脂型酚醛樹脂、或環(huán)氧樹脂等、或包括前述樹脂中的至少一種的組合。

該溶劑的實例可包括二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、或二甘醇等、或包括前述溶劑中的至少一種的組合。

該光刻膠組合物可進一步包括約0.1-約10重量份的添加劑，該添加劑包括助粘劑、表面活性劑和任選的光敏劑。該光敏劑的實例可包括氫氧化四丁基銨、三乙醇胺、二乙醇胺、三辛胺、正辛胺、氫氧化三甲基锍、或氫氧化三苯基锍等、或包括前述光敏劑中的至少一種的組合。

如以上所解釋的，該光刻膠組合物可減小光刻膠圖案具有倒錐形形狀的可能性。因此，可防止和減少對光刻膠圖案的損壞，并改善光刻膠圖案的分辨率。

附圖說明

當(dāng)結(jié)合附圖考慮時，通過參照以下詳細描述，本發(fā)明實施方式的以上和其它優(yōu)點將變得容易顯現(xiàn)。

圖1為說明根據(jù)本發(fā)明的實施方式形成光刻膠圖案的示例性方法的截面圖。

圖2為說明根據(jù)本發(fā)明的實施方式形成光刻膠圖案的示例性方法的截面圖。

圖3為說明根據(jù)本發(fā)明的實施方式形成光刻膠圖案的示例性方法的截面圖。

具體實施方式

在下文中參照附圖更全面地描述本發(fā)明的實施方式。本發(fā)明可以許多不同的形式體現(xiàn)，并且不應(yīng)理解為限于本文中所闡述的實施方式。相反，提供這些實施方式，使得該公開內(nèi)容徹底且完整，并將本發(fā)明的范圍全面地傳達給本領(lǐng)域技術(shù)人員。在附圖中，為了清楚起見，放大了各層及區(qū)域的厚度、尺寸和相對尺寸。