[發明專利]光刻膠組合物及使用其形成光刻膠圖案的方法

有效

• 申請號: 200810091113.1
• 申請日: 2008-04-02
• 公開（公告）號: CN101281369A
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發明（設計）人: 樸廷敏;鄭斗喜;李羲國;尹赫敏;丘冀赫
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社;東進瑟彌侃株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/20
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 宋莉

1.一種光刻膠組合物，包括：

0.5-20重量份的光致產酸劑，該光致產酸劑包括由以下化學式1表示的第一化合物和/或由以下化學式2表示的第二化合物；

10-70重量份的含有羥基的酚醛清漆樹脂；

1-40重量份的交聯劑，該交聯劑包括烷氧基甲基三聚氰胺化合物；以及

10-150重量份的溶劑，

<化學式1>

<化學式2>

其中R₁、R₂和R₃獨立地表示具有1-4個碳原子的烷基。

2.權利要求1的光刻膠組合物，其中該交聯劑包括六甲氧基甲基三聚氰胺或六羥甲基三聚氰胺六甲基醚、或六甲氧基甲基三聚氰胺與六羥甲基三聚氰胺六甲基醚的組合。

3.權利要求1的光刻膠組合物，其中該光致產酸劑進一步包括重氮鹽、銨鹽、碘鎓鹽、锍鹽、鏻鹽、鉮鹽、氧鎓鹽、鹵代有機化合物、醌二疊氮化合物、二(磺酰基)重氮甲烷化合物、砜化合物、有機酸酯化合物、有機酸酰胺化合物、有機酸酰亞胺化合物、或前述化合物中的至少一種的組合。

4.權利要求1的光刻膠組合物，其中該交聯劑進一步包括烷氧基甲基化氨基樹脂、烷基醚化三聚氰胺樹脂、苯并胍胺樹脂、烷基醚化苯并胍胺樹脂、脲醛樹脂、烷基醚化脲醛樹脂、氨基甲酸酯-甲醛樹脂、甲階段酚醛樹脂型酚醛樹脂、烷基醚化甲階段酚醛樹脂型酚醛樹脂、環氧樹脂、或包括前述樹脂中的至少一種的組合。

5.權利要求1的光刻膠組合物，其中該溶劑為二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、二甘醇、或前述溶劑中的至少一種的組合。

6.權利要求1的光刻膠組合物，進一步包括0.1-10重量份的添加劑，該添加劑包括助粘劑、表面活性劑、光敏劑、或前述添加劑中的至少一種的組合。

7.權利要求6的光刻膠組合物，其中該光敏劑為氫氧化四丁基銨、三乙醇胺、二乙醇胺、三辛胺、正辛胺、氫氧化三甲基锍、氫氧化三苯基锍、或前述光敏劑中的至少一種的組合。

8.一種形成光刻膠圖案的方法，該方法包括：

將光刻膠組合物涂覆到基板上以形成光刻膠膜，該光刻膠組合物包括：0.5-20重量份的光致產酸劑，該光致產酸劑包括由以下化學式1表示的第一化合物和/或由以下化學式2表示的第二化合物：

<化學式1>

<化學式2>

其中R₁、R₂和R₃獨立地表示具有1-4個碳原子的烷基；

10-70重量份的含有羥基的酚醛清漆樹脂；1-40重量份的包括烷氧基甲基三聚氰胺化合物的交聯劑；以及10-150重量份的溶劑；

使該光刻膠膜曝光；以及

除去該光刻膠膜的一部分以形成光刻膠圖案。

9.權利要求8的方法，其中該交聯劑包括六甲氧基甲基三聚氰胺或六羥甲基三聚氰胺六甲基醚、或六甲氧基甲基三聚氰胺與六羥甲基三聚氰胺六甲基醚的組合。

10.權利要求8的方法，其中該光刻膠組合物進一步包括0.1-10重量份的添加劑，該添加劑包括助粘劑、表面活性劑、或光敏劑、或前述添加劑中的至少一種的組合。

11.權利要求8的方法，其中使該光刻膠膜曝光于由汞-氙(Hg-Xe)燈發出的光、氟化氪激光、或氟化氬激光；或電子束、X-射線、G-線射線、I-線射線光、或前述光中的一種的組合。

12.權利要求8的方法，進一步包括在70℃-130℃的溫度下烘干該光刻膠膜，并將該光刻膠膜曝光。

13.權利要求8的方法，進一步包括在70℃-160℃的溫度下烘干該光刻膠膜，并將該光刻膠膜曝光。