[發(fā)明專利]噴墨打印頭和制造該噴墨打印頭的方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810090560.5
• 申請(qǐng)日: 2008-04-03
• 公開（公告）號(hào): CN101376283A
• 公開（公告）日: 2009-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 樸性俊;權(quán)明鐘;金敬鎰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星電子株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B41J2/14
• 分類號(hào): B41J2/14;B41J2/16
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所
• 代理人: 王冉

技術(shù)領(lǐng)域

此總體發(fā)明構(gòu)思涉及一種噴墨打印頭，更具體的說，涉及一種具有用改進(jìn)的材料制成的腔室層和噴嘴層的熱噴墨打印頭和制造該噴墨打印頭的方法。

背景技術(shù)

噴墨打印頭是用于通過噴射精細(xì)的墨水滴在打印介質(zhì)所希望的位置形成圖像的裝置。一般的，有兩種噴墨打印頭，這兩種噴墨打印頭具有不同的噴射墨水滴的機(jī)構(gòu)。一種是熱噴墨打印頭，其利用熱源在墨水中產(chǎn)生氣泡后利用氣泡膨脹力噴射墨水滴，而另一種是壓電噴墨打印頭，其利用施加到墨水的壓力噴射墨水滴，該壓力是由壓電材料的變形引起的。

所述熱噴墨打印頭的噴墨機(jī)構(gòu)將在下面更詳細(xì)的描述。當(dāng)脈沖電流在由熱阻元件形成的加熱器上流動(dòng)時(shí)，所述加熱器產(chǎn)生熱量，而因此鄰近所述加熱器的墨水被立刻加熱到大約300℃的溫度。因此，所述墨水沸騰并產(chǎn)生氣泡，而所產(chǎn)生的氣泡膨脹并且壓迫填充到墨水腔室中的墨水。因此，所述噴嘴附近的墨水被以液滴的形式通過噴嘴噴射出墨水腔室。

所述熱噴墨打印頭包括在基體上連續(xù)堆疊腔室和噴嘴層的結(jié)構(gòu)，加熱器形成在該基體上。所述腔室層包括多個(gè)墨水腔室，該墨水腔室填充有將被噴射的墨水，而所述噴嘴層包括多個(gè)噴射墨水的噴嘴。根據(jù)傳統(tǒng)工藝，所述腔室層通過將干膜抗蝕劑堆疊在所述基體上并構(gòu)圖該堆疊的干膜抗蝕劑來形成。此外，所述噴嘴層通過在所述腔室層上熱壓片狀鎳或聚酰酰亞胺而形成。同時(shí)，最近也開發(fā)了通過利用感光環(huán)氧樹脂經(jīng)過單個(gè)過程制造所述腔室層和噴嘴層的技術(shù)。

發(fā)明內(nèi)容

此總體發(fā)明構(gòu)思提供了一種具有由改進(jìn)的材料制成的腔室層和噴嘴層的熱噴墨打印頭，以及制造所述噴墨打印頭的方法。

此總體發(fā)明構(gòu)思的其它方面和效用將部分在下述說明中闡述，而部分將根據(jù)所述描述是顯而易見的，或者可以通過實(shí)施此總體發(fā)明構(gòu)思認(rèn)識(shí)到。

本發(fā)明的上述和其它方面和效用可以通過提供一種噴墨打印頭實(shí)現(xiàn)，所述打印頭包括基體，在該基體上形成有多個(gè)加熱器以加熱墨水以便產(chǎn)生墨水氣泡；包括多個(gè)形成在所述基體上的墨水腔室的腔室層；和包括多個(gè)形成在所述腔室層上的噴嘴的噴嘴層，其中至少所述腔室層和所述噴嘴層之一由酰亞胺硅樹脂制成。

可以另外在所述基體和所述腔室層之間形成膠結(jié)層。所述膠結(jié)層可以用酰亞胺硅樹脂形成。

所速腔室層的厚度可以為10到25μm。所述噴嘴層的厚度可以為10到20μm。

所述基體可以包括墨水供給孔，其貫穿所述基體以將墨水供給到所述墨水腔室。

隔離層、加熱器、為加熱器供給電流的電極、以及保護(hù)加熱器和電極的鈍化層可以依次形成在所述基體上。保護(hù)所述加熱器免受當(dāng)氣泡破裂時(shí)所產(chǎn)生的氣穴壓力作用的抗氣穴層可以另外形成在所述鈍化層上。

此總體發(fā)明構(gòu)思的上述和其它效用也可以通過提供一種制造噴墨打印頭的方法實(shí)現(xiàn)，所述方法包括在基體上形成多個(gè)包括多個(gè)加熱器的材料層；在基體上形成包括多個(gè)墨水腔室的腔室層，其中多個(gè)材料層形成在所述基體上；在所述腔室層上形成具有多個(gè)噴嘴的噴嘴層；以及在所述基體中形成用于將墨水供給到所述墨水腔室的墨水供給孔，其中所述腔室層和所述噴嘴層中的至少一個(gè)由酰亞胺硅樹脂形成。

所述方法還可以包括在形成所述腔室層之前在基體上形成膠結(jié)層，其中多個(gè)材料層形成在所述基體上。所述膠結(jié)層可以用酰亞胺硅樹脂形成。

所述腔室層的形成可以包括在所述基體上施加液體酰亞胺硅樹脂，其中多個(gè)材料層形成在所述基體上；并使所施加的液體酰亞胺硅樹脂干燥，構(gòu)圖所干燥的酰亞胺硅樹脂以形成墨水腔室；并熱固化所構(gòu)圖的酰亞胺硅樹脂。所述液體酰亞胺硅樹脂的粘度可以為大約800-1600厘泊。構(gòu)圖的酰亞胺硅樹脂可以在300℃或更低的溫度熱固化。

所述方法還可以包括通過依次蝕刻所述鈍化層和所述隔離層形成暴露所述基體的上表面的溝槽，并在所述腔室層形成后形成填充所述溝槽和所述墨水腔室的犧牲層。所述方法還可以包括在形成所述犧牲層后平整所述犧牲層和腔室層的上表面。

所述噴嘴層的形成可以包括在所述犧牲層和所述腔室層上施加液體酰亞胺硅樹脂，使得所述液體酰亞胺硅樹脂干燥，構(gòu)圖所干燥的酰亞胺硅樹脂以形成噴嘴，以及熱固化所構(gòu)圖的酰亞胺硅樹脂。

所述墨水供給孔的形成可以包括蝕刻所述基體的下表面直到暴露出填充到所述溝槽中的犧牲層，并去掉填充到所述墨水腔室和所述溝槽中的犧牲層。