[發(fā)明專利]激光加工裝置、定位裝置、觀察裝置及觀察方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810090313.5
• 申請日: 2008-03-28
• 公開（公告）號: CN101274392A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小川純一;栗山規(guī)由;林和夫;庭山博
• 申請（專利權(quán)）人: 雷射先進科技株式會社
• 主分類號: B23K26/03
• 分類號: B23K26/03;B23K26/02;B23K26/40
• 代理公司: 隆天國際知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 高龍鑫

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種通過觀察像能夠?qū)υO(shè)置在透明或半透明的基板上的器件圖案(device?pattern)進行明確識別的技術(shù)。

背景技術(shù)

下述方法已被公知，即為了使用藍寶石等硬度高的脆性材料在基板上形成短波長LD(激光二極管)或LED(發(fā)光二極管)等的器件圖案，而通過照射脈沖激光來形成用于分割的起點的方法(例如參照專利文獻1)。

在通過專利文獻1公開的裝置或其他裝置形成用于將基板分割為器件芯片單位的分割起點時，使用由CCD(Charge?coupled?device：電荷耦合器件)攝像機等構(gòu)成的觀察光學(xué)系統(tǒng)，對在基板上設(shè)置的規(guī)定的位置基準物進行觀察及攝像，并基于所得攝像數(shù)據(jù)，以特定的該位置基準物的坐標為基礎(chǔ)，通過運算處理來確定分割位置。另外，作為位置基準物，可以使用預(yù)先形成的定位用標記等，有時也可以由器件圖案自身兼作位置基準物。

分割位置的確定精度取決于通過觀察光學(xué)系統(tǒng)得到的位置基準物的像的狀態(tài)。因此，在使用光學(xué)觀察系進行觀察及攝像時，需要能夠清楚地獲取位置基準物的像，并且使位置基準物與附著于基板的異物等明確地區(qū)別開。因此在使用觀察光學(xué)系統(tǒng)進行觀察時，通常同時要對觀察面照射基于同軸照明(明視場照明)和斜射照明(暗視場照明)的照明光。

專利文獻1：國際公開第2006/062017號小冊子(pamphlet)

例如需要在規(guī)定位置對藍寶石等的透明或半透明的基板(以下稱其為“透明基板”)進行分割等情況時，需要對透明基板上的任意位置進行準確地確定。這種情況下，通常需要首先確定在透明基板上形成的不透明部分的配置位置和配置狀態(tài)。例如在將所形成的金屬薄膜等的不透明的器件圖案分割為各個器件單位的情況下，則要在形成器件圖案側(cè)的主面上粘貼規(guī)定的粘接板，而透明基板的不形成器件圖案側(cè)(未粘貼粘接板)的主面，則朝向設(shè)有加工單元和觀察光學(xué)系統(tǒng)等的一側(cè)固定。此時，通過觀察光學(xué)系統(tǒng)能夠透過透明基板從背面?zhèn)扔^察器件圖案。

此時，如果在粘接板和透明基板之間的界面部分，以及器件圖案的端部部分等上存在由于粘接板密封性缺陷而產(chǎn)生的氣泡，由于該氣泡所引起的漫反射就會導(dǎo)致有時難以識別該氣泡和器件圖案，無法根據(jù)觀察像(拍攝圖像)來準確地確定器件圖案的形狀。

另外，如果在器件圖案和透明基板之間，設(shè)有用于使觀察用照明光擴散的擴散層，即，在透明基板上形成有作為基底層的擴散層，并且在該擴散層上設(shè)有器件圖案的情況下，觀察光學(xué)系統(tǒng)不僅經(jīng)由透明基板還需在經(jīng)由擴散層的狀態(tài)下來觀察器件圖案，因而可能導(dǎo)致無法獲取正確的像。為了提高光學(xué)器件的光取出效率，通過在透明基板的表面上實施壓花處理所形成的層等也相當(dāng)于擴散層。

圖9A、圖9B用于對此時所得的觀察像進行說明。另外，這里如圖9A所示，例示了使用觀察單元106進行觀察的實例，其中層疊體100的結(jié)構(gòu)是：在透明基板101的一個主面上設(shè)有作為基底層擴散層102，并且形成有器件圖案103，在形成有器件圖案103一側(cè)的主面上粘貼粘接板104，并且將該粘接板104側(cè)吸附固定于承載臺107。并且，在粘接板104和透明基板101之間的界面，以及器件圖案103的端部部分存在氣泡105。

如圖9A所示，向透明基板101照射落射照明光L1001，如果在該狀態(tài)下使用觀察單元106進行觀察，則照明光在擴散層102被吸收或反射。因此，如圖5(b)所示，觀察像I1001成為整體明亮的像，雖然能夠抵消氣泡的影響，但是器件圖案像IP1001不清楚。

作為解決該問題的方法，可以考慮使用透射照明系統(tǒng)來觀察器件圖案的方式，即：以透明的石英構(gòu)成承載臺，從承載臺下側(cè)經(jīng)由承載臺，對粘貼在粘接板上的基板進行同軸照明(透射照明)。