[發明專利]自動清洗承載平臺裝置

有效

• 申請號: 200810090269.8
• 申請日: 2008-03-28
• 公開（公告）號: CN101281373A
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發明（設計）人: 劉耀隆;葉奕志
• 申請（專利權）人: 深超光電（深圳）有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;B08B5/00;B08B7/04;B08B7/00
• 代理公司: 東莞市中正知識產權事務所
• 代理人: 魯慧波

技術領域

本發明屬一種平臺清潔裝置技術領域，是對現有技術進步改進，具體涉及一種自動清洗承載平臺裝置。

背景技術

光阻涂布設備的潔凈度在微影制程良率上扮演相當重要的角色，光阻涂布設備容易沾染灰塵粒子或光阻凝固物質，進而影響涂布的質量，因此，維護涂布平臺上的潔凈度相當重要。

一般來說光阻涂布裝置(linear?coater?unit)是以精度相當高的噴嘴(nozzle)做涂布(coating)，目前經常在噴嘴平臺(nozzle?stage)上發生很多異常，而必須以人力方式在平臺上以無塵布或吸塵器做清潔，此種方式會造成許多問題，例如：

1.人員在清潔機臺時有可能在保養時造成零件(如：噴嘴、線性馬達等損壞)。

2.由于平臺之價格相當昂貴，人員進行清潔機臺時可能造成平臺本體損傷的可能。

3.人員清潔機臺時間較長，潔凈度也較差，且清潔液、無塵布等耗材損失花費相當可觀。

4.若潔凈度不佳將造成機臺后續異常發生，或后續玻璃背面刮傷之風險。

例如我國臺灣專利公告號第M292784號之專利申請提供一種光阻涂布設備之組件潔凈裝置，為其并無針對噴嘴平臺(nozzle?stage)做重點式清潔，所以清潔效果有限，此外該專利申請為一可拆卸之移動裝置，欲清潔時組裝時間相對較為耗時。又如我國臺灣專利公告號第I287472號，一種塵埃清凈器，主要為一除塵裝置，針對于平臺上做清潔，其系具有一空氣吸入室及一空氣噴出室，可對被除塵對象噴出洗滌空氣，令塵埃自被除塵對象飛散，接著將塵埃吸入空氣吸入室，達到清潔效果，但該塵埃清凈器對被除塵對象噴出洗滌空氣時，并無法有效控制塵埃之飛濺方向，經常使塵埃擴散，造成二次污染。

發明內容

本發明的目的是避免上述現有技術中的不是之處而提供的一種自動清洗承載平臺裝置，該自動清洗承載平臺裝置能更有效清除附于平臺上之異物；能有效降低人為造成機臺對象的損傷；能縮短清理平臺之時間，有效降低保養時間，增加生產時效；能降低因清潔效率不佳造成的后續當機異常，有效降低成本。

本發明的目的可通過下列的措施來實現：

一種自動清洗承載平臺系統，其系做一往復作動以清潔平臺，該自動清洗承載平臺系統包括：一支撐架，其系位于一系統運作機臺；一第一開口部份，其系位于該支撐架上方；一第二開口部份，其系位于該支撐架上方并與第一開口部份連結；一檔片，其系位于該第一開口部份與該第二開口部份側邊。

上述所述支撐架與承載平臺間設有一機構墊片組，增加緩沖降低震動所帶來之損傷。

上述所述第一開口部份前端系為一吹氣孔，其吹出氣流可將平臺上之異物吹起。

上述所述吹氣孔有一角度設計30-50度，以利異物吹起。

上述所述第一開口部份后端接續為一高真空管路快速接頭，其系為連接廠物端來源及該吹氣裝置。

上述所述第一開口部份之流道中更包含一過濾裝置，可過濾干燥空氣。

上述所述過濾裝置可為一可更換式干燥濾網。

上述所述過濾裝置可為一可靜電式干燥濾網。

上述所述第二開口部份前端為一吸氣孔，可供吸入氣流通過，其吸入氣流可將該平臺上之異物吸入流道。

上述所述第二開口部份后端接續為一高真空管路快速接頭，其系為連接廠物端來源及該吸氣裝置。

上述所述第二開口部份之流道中更包含一黏片滾筒，其系位于該吸氣裝置出口處。

上述所述黏片滾筒系為一可拆換式黏片滾筒，可輔助并加強吸附后之異物掉落之可能性。

上述所述黏片滾筒系為一可自動化更換式黏片滾筒，可由自動化機構自動更換新的黏片滾筒。

上述所述第二開口部份之流道上包含一吸氣裝置角度調節栓，該角度調節栓可調節吸氣裝置與承載平臺之角度。

上述所述角度調節栓系為一手動旋鈕式微調裝置。

上述所述角度調節栓系為一自動化調整之微調裝置。

上述所述自動清洗承載平臺系統于回復時只可進行吸氣之動作。

上述所述文件片為一隔檔硬物，其系可清除較大之突起物。

上述所述文件片為可調式檔片，可調整檔片與承載平臺之距離。

上述所述文件片與第一開口部份及第二開口部份間有一異物回流空間，避免吹出氣流于平臺上造成擾流而將異物擴散。

上述所述支撐架可做為一龍門式架構。