[發明專利]自動清洗承載平臺裝置

有效

• 申請號: 200810090269.8
• 申請日: 2008-03-28
• 公開（公告）號: CN101281373A
• 公開（公告）日: 2008-10-08
• 發明（設計）人: 劉耀隆;葉奕志
• 申請（專利權）人: 深超光電（深圳）有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;B08B5/00;B08B7/04;B08B7/00
• 代理公司: 東莞市中正知識產權事務所
• 代理人: 魯慧波

1.一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該自動清洗承載平臺系統包括：

一支撐架，其系位于一系統運作機臺；

一第一開口部份，其系位于該支撐架上方；

一第二開口部份，其系位于該支撐架上方并與第一開口部份連結；

一檔片，其系位于該第一開口部份與該第二開口部份側邊。

2.根據權利要求1所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該支撐架與承載平臺間設有一機構墊片組，增加緩沖降低震動所帶來之損傷。

3.根據權利要求1所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該第一開口部份前端系為一吹氣孔，其吹出氣流可將平臺上之異物吹起。

4.根據權利要求1或3所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該吹氣孔有一角度設計30-50度，以利異物吹起。

5.根據權利要求1或3所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該第一開口部份后端接續為一高真空管路快速接頭，其系為連接廠物端來源及該吹氣裝置。

6.根據權利要求3所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該第一開口部份之流道中更包含一過濾裝置，可過濾干燥空氣。

7.根據權利要求1或6所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該過濾裝置可為一可更換式干燥濾網。

8.根據權利要求1或6所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該過濾裝置可為一可靜電式干燥濾網。

9.根據權利要求1所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該第二開口部份前端為一吸氣孔，可供吸入氣流通過，其吸入氣流可將該平臺上之異物吸入流道。

10.根據權利要求1或9所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該第二開口部份后端接續為一高真空管路快速接頭，其系為連接廠物端來源及該吸氣裝置。

11.根據權利要求1或9所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該第二開口部份之流道中更包含一黏片滾筒，其系位于該吸氣裝置出口處。

12.根據權利要求1或11所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該黏片滾筒系為一可拆換式黏片滾筒，可輔助并加強吸附后之異物掉落之可能性。

13.根據權利要求1或11所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該黏片滾筒系為一可自動化更換式黏片滾筒，可由自動化機構自動更換新的黏片滾筒。

14.根據權利要求9所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該第二開口部份之流道上包含一吸氣裝置角度調節栓，該角度調節栓可調節吸氣裝置與承載平臺之角度。

15.根據權利要求1或14所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該角度調節栓系為一手動旋鈕式微調裝置。

16.根據權利要求1或14所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該角度調節栓系為一自動化調整之微調裝置。

17.根據權利要求1所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該自動清洗承載平臺系統于回復時只可進行吸氣之動作。

18.根據權利要求1所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該文件片為一隔檔硬物，其系可清除較大之突起物。

19.根據權利要求1或18所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該文件片為可調式檔片，可調整檔片與承載平臺之距離。

20.根據權利要求1所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該文件片與第一開口部份及第二開口部份間有一異物回流空間，避免吹出氣流于平臺上造成擾流而將異物擴散。

21.根據權利要求1所述的一種自動清洗承載平臺裝置，其特征在于：該支撐架可做為一龍門式架構。