[發(fā)明專利]電子設(shè)備用測(cè)量夾具、其集合板以及使用了它們的測(cè)量裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810090206.2
• 申請(qǐng)日: 2008-03-28
• 公開（公告）號(hào): CN101275986A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石川修
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: TDK株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G01R31/28
• 分類號(hào): G01R31/28;G01R1/073
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 黃劍鋒

發(fā)明領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電子設(shè)備用測(cè)量夾具，尤其涉及測(cè)量高頻帶域使用的電子設(shè)備的特性時(shí)使用的測(cè)量夾具、其集合板以及使用了它們的測(cè)量裝置。

背景技術(shù)

這種電子設(shè)備用測(cè)量夾具一般在基板的一面?zhèn)染邆渑c電子設(shè)備的電極端子接觸的端子，在另一面?zhèn)染邆渑c測(cè)量基板的導(dǎo)體接觸的端子。在進(jìn)行測(cè)量時(shí)，將測(cè)量夾具安放在測(cè)量基板上，在其上面搭載電子設(shè)備。由此，電子設(shè)備的電極端子經(jīng)由測(cè)量夾具的端子與測(cè)量基板的導(dǎo)體電導(dǎo)通。

但是，在電子設(shè)備上設(shè)置的多個(gè)電極端子的彼此的表面位置產(chǎn)生高低差的情況下，有可能一個(gè)電極端子處于與測(cè)量夾具的端子接觸的狀態(tài)，但其他的電極端子不能與測(cè)量夾具的端子接觸。作為解決這個(gè)問題的方法，U.S.P.6703851B1號(hào)說明書以及日本特開2003-337158號(hào)公報(bào)中公開了測(cè)量夾具使用柔性基板的技術(shù)。如果采用這種結(jié)構(gòu)，通過在將電子設(shè)備放置在測(cè)量夾具上的狀態(tài)下對(duì)電子設(shè)備施加按壓力，柔性基板根據(jù)其柔性彎曲變形，吸收電子設(shè)備的電極端子表面的高低差。

但是，由于現(xiàn)有技術(shù)的測(cè)量夾具僅依靠柔性基板構(gòu)成材料的柔性吸收高低差，因此對(duì)接觸性的提高有限。例如，如果測(cè)量夾具為了提高導(dǎo)通涉及的端子的接觸性而過度增大柔性基板的柔性的話，則容易產(chǎn)生伸長(zhǎng)變形，更有可能招致接觸不良。

尤其是近年來隨著高頻化的進(jìn)展，這種電子設(shè)備中電路的集成度提高，端子形狀也更細(xì)微化，因此如果測(cè)量夾具產(chǎn)生伸長(zhǎng)變形，存在引發(fā)兩個(gè)端子之間產(chǎn)生位置偏移、容易頻繁發(fā)生接觸不良這樣特有的情況。

并且，如果過度增大柔性基板的柔性，由于測(cè)量夾具整體的機(jī)械強(qiáng)度降低，因此夾具向測(cè)量基板的搬送作業(yè)時(shí)或設(shè)置作業(yè)時(shí)等夾具的處理困難，容易產(chǎn)生破損事故。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的課題就是要提供一種能夠提高測(cè)量結(jié)果的可靠性的電子設(shè)備用測(cè)量夾具、集合板以及使用了它們的測(cè)量裝置。

本發(fā)明的另一個(gè)課題就是要提供一種能夠僅在必要的地方設(shè)定柔性的電子設(shè)備用測(cè)量夾具、其集合板以及使用了它們的測(cè)量裝置。

本發(fā)明還有一個(gè)課題就是要提供一種安裝容易的電子設(shè)備用測(cè)量夾具、其集合板以及使用了它們的測(cè)量裝置。

本發(fā)明的再一個(gè)課題就是要提供一種成本低的電子設(shè)備用測(cè)量夾具、其集合板以及使用了它們的測(cè)量裝置。

1.測(cè)量夾具

為了解決上述問題，本發(fā)明的測(cè)量夾具包括柔性基板和多個(gè)端子板厚減少部。多個(gè)端子隔開間隔地設(shè)置在柔性基板的一個(gè)面上，板厚減少部設(shè)置在該間隔內(nèi)。

如上所述，由于本發(fā)明的電子設(shè)備用測(cè)量夾具在柔性基板的一個(gè)面上具有多個(gè)端子，因此能夠作為中繼作為測(cè)量對(duì)象物的電子設(shè)備與測(cè)量基板的電導(dǎo)通的夾具使用。

由于測(cè)量夾具具有板厚減少部，因此柔性基板的板厚在設(shè)置了板厚減少部的部分減少。因此能夠僅在配置了板厚減少部的部分付與柔性。

而且通過調(diào)整板厚減少部的配置數(shù)量和厚度減少的尺寸等，測(cè)量夾具能夠在保持柔性基板的材質(zhì)一定的情況下自由地設(shè)定柔性的程度(彎曲變形率)。

另一方面，在沒有板厚減少部的部分，測(cè)量夾具維持柔性基板預(yù)先具有的機(jī)械強(qiáng)度。因此，測(cè)量夾具確保了操作所需要的程度的機(jī)械強(qiáng)度，操作變得容易。

2.測(cè)量裝置

本發(fā)明的電子設(shè)備用測(cè)量夾具與測(cè)量基板組合用于測(cè)量裝置。即，本發(fā)明的測(cè)量裝置包括測(cè)量基板和測(cè)量夾具。測(cè)量基板具有導(dǎo)體。測(cè)量夾具的端子與導(dǎo)體電導(dǎo)通。

在用本發(fā)明的測(cè)量裝置測(cè)量電子設(shè)備的特性時(shí)，將成為測(cè)量對(duì)象的電子設(shè)備搭載在測(cè)量端子上。此時(shí)，如背景技術(shù)中說明過的那樣，在電子設(shè)備上設(shè)置的多個(gè)電極端子彼此產(chǎn)生高低差的情況下，部分電極端子有可能不能與測(cè)量夾具的端子接觸。為了解決這個(gè)問題，現(xiàn)有技術(shù)的測(cè)量夾具適當(dāng)選擇柔性基板的材質(zhì)提高柔性，并且在特性測(cè)量時(shí)施加按壓力使柔性基板整體彎曲，通過這樣實(shí)現(xiàn)電子設(shè)備的電極端子與測(cè)量夾具的其他端子的連接。

與此相對(duì)，本發(fā)明的測(cè)量夾具在柔性基板的一個(gè)面上、多個(gè)端子之間的間隔內(nèi)設(shè)置有板厚減少部。即，本發(fā)明的測(cè)量夾具的結(jié)構(gòu)為端子配置在板厚減少部的兩側(cè)，因此在特性測(cè)量時(shí)，如果在與電子設(shè)備的電極端子接觸的測(cè)量夾具的一個(gè)端子上施加壓力的話，則柔性基板在板厚減少部的地方彎曲，一個(gè)端子僅下沉高低差的量，通過這樣實(shí)現(xiàn)處于非接觸狀態(tài)的電子設(shè)備的電極端子與測(cè)量夾具的其他端子的連接。因此，與現(xiàn)有技術(shù)不同，能夠在保持柔性基板的材質(zhì)一定的情況下確保測(cè)量夾具的端子與電子設(shè)備的電極端子之間的連接性，能夠提高通過測(cè)量基板的測(cè)量結(jié)果的可靠性。