[發明專利]探針單元以及檢查裝置

無效

• 申請號: 200810090199.6
• 申請日: 2008-04-17
• 公開（公告）號: CN101290329A
• 公開（公告）日: 2008-10-22
• 發明（設計）人: 小山內康晃;三浦一佳;齊藤裕樹;福士俊雄
• 申請（專利權）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/073;G01R31/00;H01L21/66;G02F1/13
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所
• 代理人: 劉新宇;張會華

技術領域

本發明涉及一種檢查液晶面板等檢查對象板所使用的探針單元以及檢查裝置。

背景技術

例如，在液晶面板的制造工序中，要對封裝了液晶的液晶面板是否具有說明書所述的性能進行檢查(試驗)。通常，在該檢查中使用具備具有多個探針的探針單元的檢查裝置。此時，將檢查裝置的各探針按壓在液晶面板的電極上，在該狀態下，通過向規定電極供給規定的電信號來進行檢查。

圖2表示這樣的檢查裝置的一個例子。圖示的檢查裝置1主要由面板安置部2和測定部3構成。

面板安置部2向測定部3輸送從外部插入的液晶面板等檢查對象板5，并將完成檢查后的檢查對象板5輸送到外部。面板安置部2在其開口部6內具有面板載放臺7，用該面板載放臺7支承檢查對象板5，而將其輸送到測定部3。另外，面板安置部7接收由測定部3完成檢查后的檢查對象板5，而將其輸送到外部。

測定部3用于支承從面板安置部2輸送來的檢查對象板5并進行試驗。測定部3具備夾具8和探針9等。

夾具8是用于支承檢查對象板5的構件。該夾具8由XYZθ臺(未圖示)支承，從而使夾具8的沿XYZ軸向移動以及轉動受到控制，從而調整檢查對象板5的位置。探針9主要具備基座板10、探針單元11。探針單元11以面對基座板10的開口10A的狀態被基座板10支承。

專利文獻1公開了探針單元11的一個例子。該例子示于圖3。該探針單元11主要具備探針基座12、由該探針基座12支承的探針組合體13。

上述探針基座12是一體地支承多個探針組合體13的板材。多個探針組合體13以面對液晶面板等檢查對象板5的狀態被該探針基座12支承。

在框架14上設有使探針單元11移動來調整位置的移動機構15。該移動機構15由絲杠螺母16、移動體(未圖示)、絲杠17、電動機18和托架19構成。絲杠螺母16安裝在移動體上，并與絲杠17螺合。利用電動機18使絲杠17旋轉，從而使移動體沿X邊方向移動。利用托架19將電動機18安裝到框架14上。

專利文獻1：日本特開2001-74778號公報

但是，在上述檢查裝置1中，伴隨更換檢查對象板5品種，也要更換探針單元11。例如，對液晶面板進行檢測時，要將探針單元11更換為適合新品種液晶面板尺寸的探針單元。

在液晶面板尺寸小時，更換該探針單元11沒什么問題。在液晶面板的尺寸小時，探針單元11的尺寸也小且重量輕，因此，不會給更換探針單元11的操作帶來困難。安裝上探針單元11，然后驅動移動機構15的電動機18，使絲杠17轉動而使絲杠螺母16移動，從而通過移動體調整探針單元11的位置。由此，便可以容易地更換探針單元11。

但是，當液晶面板的尺寸變大時，探針單元11的尺寸也變大且重量變重，因此，會給更換探針單元11的操作帶來難度。

例如，對于52英寸級的液晶面板，數據側的探針單元11的長度為1650mm，重量約為35kg，僅由一名操作人員就不能更換探針單元11了。即，存在下述問題：更換作業危險且需要兩人操作，效率低。

發明內容

本發明是為了解決上述問題而作出的，其目的在于，提供一種更換操作安全且可由一人操作的探針單元以及檢查裝置。

為了解決上述課題，本發明的探針單元的特征在于，其具備：固定在主體側的探針臺、具有直接與檢查對象板電極相接觸的探針的探針組合體、在被上述探針臺支承的狀態下支承上述探針組合體的探針基座，上述探針基座具備：一個基準板部、一個或兩個以上的調整板部、設于這些基準板部和調整板部之間以及各調整板部之間用于調整各調整板部位置的位置調整機構。

這樣一來，首先安裝上述探針基座的基準板部，再一邊用位置調整機構調整一個或兩個以上的調整板部的位置，一邊安裝這些調整板部。