[發明專利]探針單元以及檢查裝置

無效

• 申請號: 200810090199.6
• 申請日: 2008-04-17
• 公開（公告）號: CN101290329A
• 公開（公告）日: 2008-10-22
• 發明（設計）人: 小山內康晃;三浦一佳;齊藤裕樹;福士俊雄
• 申請（專利權）人: 日本麥可羅尼克斯股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/073;G01R31/00;H01L21/66;G02F1/13
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所
• 代理人: 劉新宇;張會華

1.一種探針單元，其特征在于，該探針單元具備：

固定在主體側的探針臺、具有直接與檢查對象板電極相接觸的探針的探針組合體、在被上述探針臺支承的狀態下支承上述探針組合體的探針基座；

上述探針基座具備：一個基準板部、一個或兩個以上的調整板部、設于上述基準板部和調整板部之間以及各調整板部之間用于調整各調整板部位置的位置調整機構。

2.根據權利要求1所述的探針單元，其特征在于，

上述探針基座的基準板部不能錯動地安裝于上探針臺的特定位置上，上述調整板部以可錯動的狀態安裝于上述探針臺上。

3.根據權利要求2所述的探針單元，其特征在于，

上述探針基座的基準板部具有直徑與固定于上述探針臺上的固定用螺栓的直徑大致相同的圓孔，上述調整板部具有容許該調整板部相對于上述固定用螺栓錯動的長孔。

4.根據權利要求1所述的探針單元，其特征在于，

上述位置調整機構由調整螺栓、調整螺栓保持架和調整塊構成，上述調整螺栓用于調整上述探針基座的基準板部和調整板部之間的間隔或者各調整板部之間的間隔；上述調整螺栓保持架設于上述基準板部和調整板部上，或設于各調整板中的一調整板上，該調整螺栓保持架用于支承可相對于其轉動的上述調整螺栓；上述調整塊設于上述基準板部和調整板部上，或設于各調整板中的另一調整板上，且具有用于旋入上述調整螺栓的螺孔。

5.一種用于檢查檢查對象板的檢查裝置，其特征在于，

該檢查裝置具備面板安置部和測定部，上述面板安置部將檢查對象板從外部搬入，并在完成檢查后將檢查對象板搬送到外部，上述測定部支承從上述面板安置部輸送來的檢查對象板并進行試驗；

上述測定部具有探針單元；

該探針單元具備：固定在主體側的探針臺、具有直接與檢查對象板電極相接觸的探針的探針組合體、在被上述探針臺支承的狀態下支承上述探針組合體的探針基座；

上述探針基座具備：一個基準板部、一個或兩個以上的調整板部、設于上述基準板部和調整板部之間以及各調整板部之間用于調整各調整板部位置的位置調整機構。

6.根據權利要求5所述的檢查裝置，其特征在于，

上述探針基座的基準板部不能錯動地安裝于上探針臺的特定位置上，上述調整板部以可錯動的狀態安裝于上述探針臺上。

7.根據權利要求6所述的檢查裝置，其特征在于，

上述探針基座的基準板部具有直徑與固定于上述探針臺上的固定用螺栓的直徑大致相同的圓孔，上述調整板部具有容許該調整板部相對于上述固定用螺栓錯動的長孔。

8.根據權利要求5所述的檢查裝置，其特征在于，

上述位置調整機構由調整螺栓、調整螺栓保持架和調整塊構成，上述調整螺栓用于調整上述探針基座的基準板部和調整板部之間的間隔或者各調整板部之間的間隔；上述調整螺栓保持架設于上述基準板部和調整板部上，或設于各調整板中的一調整板上，該調整螺栓保持架用于支承可相對于其轉動的上述調整螺栓；上述調整塊設于上述基準板部和調整板部上，或設于各調整板中的另一調整板上，且具有用于旋入上述調整螺栓的螺孔。