[發(fā)明專利]基板材料的傳送帶

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810089789.7
• 申請日: 2008-04-10
• 公開（公告）號: CN101288863A
• 公開（公告）日: 2008-10-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 新山喜三郎;綠川昌弘
• 申請（專利權(quán)）人: 東京化工機(jī)株式會(huì)社
• 主分類號: B05B9/03
• 分類號: B05B9/03;H05K3/00;H01L21/02;H01L21/67;H01L21/677;B65H5/06;C23F1/08;C23G3/00;G03D3/00
• 代理公司: 北京三幸商標(biāo)專利事務(wù)所
• 代理人: 劉激揚(yáng)

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及基板材料的傳送帶。即，本發(fā)明涉及用于電路基板的制造工序的，表面處理裝置的端面運(yùn)送方式的傳送帶。

背景技術(shù)

電子設(shè)備所采用的電路基板的小型輕量化、厚度極薄化、柔性化、進(jìn)而多層化、半導(dǎo)體封裝化等的進(jìn)展非常顯著，同樣對于所形成的電子電路的細(xì)微化處理，高密度化處理也顯著。

另外，在這樣的電路基板的制造工序中，采用表面處理裝置，基板材料通過化學(xué)液、清洗液等的處理液而進(jìn)行表面處理。

在這種表面處理裝置中，一邊通過傳送帶的上下運(yùn)送輥水平運(yùn)送基板材料，一邊從噴嘴噴射處理液，由此，依次進(jìn)行表面處理，形成電子電路，制作電路基板。

另外，在過去，傳送帶、噴嘴設(shè)置于氣氛中、空中，基板材料通過在氣氛中、空中噴射的處理液而進(jìn)行表面處理，但是，伴隨最近的厚度極薄化的進(jìn)展，基板材料無法抵抗處理液的噴射壓力、處理液的重量，經(jīng)常發(fā)生撓曲、打卷、掉落的事故。

于是，為了應(yīng)對這些事故，人們通過下述的表面處理裝置，謀求上述事故的發(fā)生問題的解決，在該表面處理裝置中，傳送帶、噴嘴設(shè)置于充滿處理液的化學(xué)液槽中，由此，一邊在液中運(yùn)送極薄而沒有韌性的基板材料，一邊通過液中噴射的處理液對其進(jìn)行表面處理。

作為這樣的表面處理裝置，比如，列舉有下述的專利文獻(xiàn)1、2中的所示的形式。專利文獻(xiàn)1涉及空中噴射方式，專利文獻(xiàn)2涉及液中噴射方式。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2002-68435號文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)2：日本特開平10-079565號文獻(xiàn)

(關(guān)于端面運(yùn)送方式的傳送帶)

另外，本發(fā)明人針對液中噴射方式的表面處理裝置，進(jìn)一步進(jìn)行了研究，于平成18年9月28日提出了申請?zhí)枮槿毡咎卦?006-264189號的專利申請，該專利申請的主要內(nèi)容在于針對該傳送帶，不與基板材料的電路形成面接觸，僅僅從上下夾持而運(yùn)送兩側(cè)端面，在液中設(shè)置端面運(yùn)送輥。

即，在過去的這種傳送帶中，由于從上下夾持基板材料的整個(gè)內(nèi)外表面而進(jìn)行運(yùn)送的整個(gè)面運(yùn)送輥設(shè)置于液體中，故在基板材料的電路形成面上容易產(chǎn)生擦傷、傷痕、損傷等的損害，在可靠性、成品率方面出現(xiàn)問題，但是，本專利申請打算解決這樣的問題(本發(fā)明為該專利申請的改進(jìn)發(fā)明)。

發(fā)明內(nèi)容

但是，針對為這樣的液中噴射方式下的端面運(yùn)送方式的表面處理裝置的傳送帶，最近，下述的方面成為課題。即，所運(yùn)送的基板材料搖晃、S形擺動(dòng)，由此，運(yùn)送精度降低，對基板材料的穩(wěn)定運(yùn)送產(chǎn)生妨礙。

對這些方面進(jìn)一步具體描述。在該傳送帶中，極薄而沒有韌性的基板材料一邊僅僅在夾持量、持握量僅為10mm的寬度的較窄的兩側(cè)端面，夾持于左右上下的端面運(yùn)送輥之間，在液體中進(jìn)行運(yùn)送，一邊在液體中噴射處理液。于是，基板材料承受處理液的噴射壓力、重量的影響，上下?lián)u晃、產(chǎn)生起伏狀、撓曲、容易松弛，于是，具有發(fā)生掉落等的運(yùn)送事故的危險(xiǎn)。

另外，基板材料的液體中運(yùn)送在數(shù)米～數(shù)十米的范圍內(nèi)，不容易均等地(比如，通過端面運(yùn)送輥的夾持壓力全部均等)裝配在全長的范圍設(shè)置的樹脂制的傳送帶。于是，不僅有上述噴射壓力等的影響，而且還具有這樣的傳送帶的缺陷，基板材料在中途容易左右偏離，進(jìn)行S形擺動(dòng)，于是，從此方面來說具有發(fā)生掉落等的運(yùn)送事故的危險(xiǎn)。

此外，由于這些運(yùn)送事故，人們還指出基板材料的表面處理精度降低的問題。

本發(fā)明的基板材料的傳送帶針對這樣的實(shí)際情況，得出了本發(fā)明者們的深入研究努力的結(jié)果，以便解決上述過去實(shí)例的課題。

于是，本發(fā)明的目的在于提供一種基板材料的傳送帶，其中，第1，防止基板材料的搖晃、S形擺動(dòng)；并且第2，還防止基板材料的滑動(dòng)；第3，不對基板材料造成損害而實(shí)現(xiàn)。

解決這樣的課題的本發(fā)明的技術(shù)方案如下所述。首先，技術(shù)方案1如下所述。

技術(shù)方案1所述的基板材料的傳送帶用于基板材料的表面處理裝置。該表面處理裝置包括由處理液充滿的化學(xué)液槽；在該化學(xué)液槽內(nèi)，于液中運(yùn)送基板材料的傳送帶；在該化學(xué)液槽內(nèi)，在液中對基板材料噴射處理液的噴嘴。

其特征在于，該傳送帶不與基板材料的電路形成面接觸，沿上下夾持而運(yùn)送僅僅基板材料的左右兩側(cè)端面的端面運(yùn)送輥沿運(yùn)送方向排列設(shè)置。另外，作為該端面運(yùn)送輥，組合地采用朝向運(yùn)送方向的直進(jìn)輥與相對運(yùn)送方向而稍向外側(cè)的斜輥。