[發明專利]基板材料的傳送帶

無效

• 申請號: 200810089789.7
• 申請日: 2008-04-10
• 公開（公告）號: CN101288863A
• 公開（公告）日: 2008-10-22
• 發明（設計）人: 新山喜三郎;綠川昌弘
• 申請（專利權）人: 東京化工機株式會社
• 主分類號: B05B9/03
• 分類號: B05B9/03;H05K3/00;H01L21/02;H01L21/67;H01L21/677;B65H5/06;C23F1/08;C23G3/00;G03D3/00
• 代理公司: 北京三幸商標專利事務所
• 代理人: 劉激揚

1.一種基板材料的傳送帶，其為基板材料的表面處理裝置的傳送帶，該表面處理裝置包括由處理液充滿的化學液槽；在該化學液槽內，于液中運送基板材料的傳送帶；在該化學液槽內，在液中對基板材料噴射處理液的噴嘴；

該傳送帶不與基板材料的電路形成面接觸，沿上下夾持而運送僅僅基板材料的左右兩側端面的端面運送輥沿運送方向排列設置；

該端面運送輥組合地采用朝向運送方向的直進輥與相對運送方向而稍向外側的斜輥。

2.根據權利要求1所述的基板材料的傳送帶，其特征在于，該直進輥朝向運送方向運送基板材料，該斜輥一邊朝向相對運送方向而稍斜的外側拉伸基板材料，一邊對其運送，于是，基板材料一邊在拉伸的狀態沿運送方向維持水平姿勢，一邊進行運送。

3.根據權利要求2所述的基板材料的傳送帶，其特征在于，該直進輥和斜輥的組合可為上下的組合模式、左右的組合模式、它們的并用模式、或運送方向的設置單個或多個的交替混合模式。

4.根據權利要求1所述的基板材料的傳送帶，其特征在于，在該端面運送輥的外周面上進行防滑加工。

5.根據權利要求4所述的基板材料的傳送帶，其特征在于，該端面運送輥的防滑加工由比如，滾花狀的細微的凹凸網紋形成，由上下確實夾持而持握在液中運送的該基板材料，實現可防止基于拉伸的滑動的功能。