[發(fā)明專利]觸控電路的透明基板雙面導(dǎo)電膜的制法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810089058.2
• 申請(qǐng)日: 2008-04-15
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101561729A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-10-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周祎平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 宸鴻光電科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G06F3/044
• 分類號(hào): G06F3/044;H01L21/00;H01L21/3213;H01L21/84
• 代理公司: 北京尚誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 邸萬(wàn)杰

1.一種觸控電路的透明基板雙面導(dǎo)電膜的制法，其特征在于，包含：

在一透明基板的第一表面的一第一導(dǎo)電基材層上附著一具有感光變色劑的第一光阻層，并在該透明基板的第二表面的一第二導(dǎo)電基材層上附著一第二光阻層；

對(duì)該第一光阻層進(jìn)行曝光，促使該第一光阻層接受曝光區(qū)域形成一具供識(shí)別顏色的電路圖形；

利用該電路圖形作為第二光阻層曝光用的對(duì)位基準(zhǔn)進(jìn)行位置調(diào)整，并對(duì)該第二光阻層進(jìn)行曝光；

對(duì)該透明基板雙面同時(shí)進(jìn)行顯影，使第一導(dǎo)電基材層及第二導(dǎo)電基材層各自裸露出一待接受蝕刻的區(qū)域；

對(duì)第一導(dǎo)電基材層及第二導(dǎo)電基材層裸露的區(qū)域同時(shí)進(jìn)行蝕刻，促使第一導(dǎo)電基材上層形成一觸控電路的一第一導(dǎo)電膜，且第二導(dǎo)電基材上層形成該觸控電路的一第二導(dǎo)電膜。

2.如權(quán)利要求1所述的觸控電路的透明基板雙面導(dǎo)電膜的制法，其特征在于，其中該透明基板為一觸控板的透明基板或一顯示面板的上層透明基板。

3.如權(quán)利要求1所述的觸控電路的透明基板雙面導(dǎo)電膜的制法，其特征在于，其中光阻層為正光阻或負(fù)光阻。

4.如權(quán)利要求1所述的觸控電路的透明基板雙面導(dǎo)電膜的制法，其特征在于，其中該第一導(dǎo)電基材層與該第二導(dǎo)電基材層由透明的導(dǎo)電材料制成。

5.如權(quán)利要求1所述的觸控電路的透明基板雙面導(dǎo)電膜的制法，其特征在于，其中該第一光阻層使用一具鏤空電路圖樣的第一光罩覆蓋而接受紫外線光進(jìn)行曝光，該第二光阻層也使用一具鏤空電路圖樣的第二光罩覆蓋而接受紫外線光進(jìn)行曝光，且第一光阻層使用的具鏤空電路圖樣作為第二光阻層與第二光罩的對(duì)位基準(zhǔn)。

6.如權(quán)利要求5所述的觸控電路的透明基板雙面導(dǎo)電膜的制法，其特征在于，其中該第一光阻層與該第二光阻層為非同步曝光。

7.如權(quán)利要求1所述的觸控電路的透明基板雙面導(dǎo)電膜的制法，其特征在于，其中還包含：在該第一導(dǎo)電膜與該第二導(dǎo)電膜形成后一同以除光阻劑除去殘余的第一及第二光阻層，完全裸露第一導(dǎo)電膜與第二導(dǎo)電膜。

8.如權(quán)利要求1所述的觸控電路的透明基板雙面導(dǎo)電膜的制法，其特征在于，其中該感光變色劑為有機(jī)雙鍵烯類物質(zhì)所組成。

9.如權(quán)利要求1所述的觸控電路的透明基板雙面導(dǎo)電膜的制法，其特征在于，其中該透明基板的第一表面位于該透明基板的頂面，該第一導(dǎo)電基材層位于該透明基板頂面的上導(dǎo)電基材層且形成該觸控電路的上層導(dǎo)電膜，該透明基板的第二表面是位于該透明基板的底面，該第二導(dǎo)電基材層位于該透明基板底面的下導(dǎo)電基材層且形成該觸控電路的下層導(dǎo)電膜。

10.如權(quán)利要求1所述的觸控電路的透明基板雙面導(dǎo)電膜的制法，其特征在于，其中該透明基板的第一表面是位于該透明基板的底面，該第一導(dǎo)電基材層位于該透明基板底面的下導(dǎo)電基材層且形成該觸控電路的下層導(dǎo)電膜，該透明基板的第二表面是位于該透明基板的頂面，該第二導(dǎo)電基材層位于該透明基板底面的上導(dǎo)電基材層且形成該觸控電路的上層導(dǎo)電膜。