[發(fā)明專利]光學(xué)式測定裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810088658.7
• 申請日: 2008-04-10
• 公開（公告）號: CN101285675A
• 公開（公告）日: 2008-10-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 松宮貞行;岡部憲嗣;下川清治
• 申請（專利權(quán)）人: 三豐株式會社
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所
• 代理人: 陶鳳波

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及使放置在載物臺上的測定對象物的光學(xué)圖像在屏幕上成像的光學(xué)式測定裝置。

背景技術(shù)

向放置在載物臺上的測定對象物照射照明光，使來自該測定對象物的透射光或反射光在屏幕上擴大成像，根據(jù)該屏幕上被擴大成像的光學(xué)圖像來測定測定對象物的尺寸和形狀等的投影機等光學(xué)式測定裝置被知曉。

例如載物臺具備雙軸線性編碼器等的投影機，使在屏幕上成像的測定對象物的光學(xué)圖像測定對象部(例如邊緣部)與屏幕上的基準(zhǔn)點對準(zhǔn)，通過讀取這時載物臺的平面坐標(biāo)就能測定測定對象物的尺寸和形狀。

這種光學(xué)式測定裝置在想記錄光學(xué)圖像時，一般是采用通過銀鹽式照相機和數(shù)碼相機等攝影裝置把成像有光學(xué)圖像的屏幕原封不動地進行攝影的方法。

文獻(xiàn)1(特開平5-264216號公報)公開了通過設(shè)置在屏幕內(nèi)側(cè)的專用照相攝影裝置而能攝影光學(xué)圖像一部分的投影機。

但使用相機等攝影裝置的方法有可能隨攝影裝置的機器種類、照明和攝影方法等條件和攝影者的不同而產(chǎn)生記錄圖像的差異。需要攝影時，在光學(xué)式測定裝置之外還需要準(zhǔn)備相機等攝影裝置，有可能使操作變煩雜。

上述文獻(xiàn)1記載的投影機需要在屏幕的內(nèi)側(cè)設(shè)置專用的照相攝影裝置，在攝影時不能辨認(rèn)光學(xué)圖像整體。因此，難于同時實施攝影和測定。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于提供一種不準(zhǔn)備另外的攝影裝置就能在測定的同時記錄光學(xué)圖像的光學(xué)式測定裝置。

本發(fā)明的光學(xué)式測定裝置具備：屏幕、能移動的載物臺、把光向所述載物臺上放置的測定對象物照射的照明機構(gòu)、檢測所述載物臺移動量的檢測機構(gòu)、把放置在所述載物臺上的測定對象物的光學(xué)圖像在所述屏幕上成像的第一成像機構(gòu)和第二成像機構(gòu)、利用所述第一成像機構(gòu)和所述第二成像機構(gòu)的任一個把所述光學(xué)圖像在所述屏幕上成像進行切換的切換機構(gòu)、記錄所述光學(xué)圖像的記錄機構(gòu)，其中，所述第一成像機構(gòu)具備：對所述光學(xué)圖像進行攝像的攝像機構(gòu)、把所述攝像機構(gòu)攝像的所述光學(xué)圖像作為數(shù)字形式的圖像數(shù)據(jù)輸出的輸出機構(gòu)、根據(jù)所述輸出機構(gòu)輸出的所述圖像數(shù)據(jù)把所述光學(xué)圖像向所述屏幕進行投影的投影機構(gòu)，所述第二成像機構(gòu)具備：把被所述照明機構(gòu)照射并被所述測定對象物反射或透射所述測定對象物的光向所述屏幕投影的投影透鏡，所述記錄機構(gòu)記錄所述第一成像機構(gòu)的所述輸出機構(gòu)輸出的所述圖像數(shù)據(jù)。

根據(jù)本發(fā)明，輸出機構(gòu)把第一成像機構(gòu)的攝像機構(gòu)所攝像的測定對象物的光學(xué)圖像作為數(shù)字形式的圖像數(shù)據(jù)進行輸出。投影機構(gòu)根據(jù)該圖像數(shù)據(jù)而把光學(xué)圖像向屏幕投影，記錄機構(gòu)記錄圖像數(shù)據(jù)。

在此，只要圖像數(shù)據(jù)被記錄，就能從圖像數(shù)據(jù)得到測定對象物的光學(xué)圖像。即也可以說記錄機構(gòu)達(dá)成光學(xué)圖像的記錄。

由于圖像數(shù)據(jù)的記錄是由光學(xué)式測定裝置設(shè)置的記錄機構(gòu)來實施，所以不需要另外準(zhǔn)備攝影裝置或把照相攝影裝置附加在光學(xué)式測定裝置上。因此，由攝影條件和攝影者的不同而在記錄的光學(xué)圖像上產(chǎn)生差異的可能性低。由于不像上述文獻(xiàn)1那樣需要在屏幕的內(nèi)側(cè)設(shè)置專用的照相攝影裝置，所以不會被照相攝影裝置妨礙投影機構(gòu)的投影而不能確認(rèn)光學(xué)圖像的整體。

因此，本發(fā)明的光學(xué)式測定裝置能不準(zhǔn)備另外的攝影裝置地在測定的同時來記錄光學(xué)圖像。

在此，具備屏幕和第一成像機構(gòu)的本發(fā)明光學(xué)式測定裝置，具有通過與現(xiàn)有所謂的投影機進行同樣的操作就能進行測定的優(yōu)點。

根據(jù)本發(fā)明，通過使用切換機構(gòu)選擇的第一成像機構(gòu)和第二成像機構(gòu)的任一個就能把光學(xué)圖像在屏幕上成像。

在此，第二成像機構(gòu)具備把來自測定對象物的光向屏幕投影的投影透鏡，具有與現(xiàn)有所謂的投影機設(shè)置的光學(xué)系統(tǒng)同樣的結(jié)構(gòu)。因此，在使用第二成像機構(gòu)實施測定時，以與現(xiàn)有投影機同樣的操作就能測定被測定物的尺寸和形狀等。

在使用第二成像機構(gòu)的測定中當(dāng)需要記錄光學(xué)圖像時，使用切換機構(gòu)就能簡單地切換成第一成像機構(gòu)，能記錄光學(xué)圖像。

在使用第一成像機構(gòu)時，由于是把光學(xué)圖像切換成圖像數(shù)據(jù)輸出，把輸出的圖像數(shù)據(jù)再返回到光學(xué)圖像進行顯示，所以有把色調(diào)、亮度等微妙的不同等失去的情況，但第二成像機構(gòu)不進行光學(xué)圖像的切換，所以有能把色調(diào)、亮度等微妙的不同原封不動進行顯示的優(yōu)點。

本發(fā)明的所述投影機構(gòu)優(yōu)選具備：根據(jù)所述圖像數(shù)據(jù)把所述光學(xué)圖像進行顯示的液晶板和向所述液晶板照射光的光源，利用從所述光源照射并被所述液晶板反射或透射所述液晶板的光把所述光學(xué)圖像向所述屏幕投影。

根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，投影機構(gòu)利用從光源照射并被液晶板反射或透射液晶板的光把測定對象物的光學(xué)圖像向所述屏幕投影。