[發明專利]光學式測定裝置有效
| 申請號： | 200810088658.7 | 申請日： | 2008-04-10 |
| 公開（公告）號： | CN101285675A | 公開（公告）日： | 2008-10-15 |
| 發明（設計）人： | 松宮貞行;岡部憲嗣;下川清治 | 申請（專利權）人： | 三豐株式會社 |
| 主分類號： | G01B11/00 | 分類號： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務所 | 代理人： | 陶鳳波 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 光學 測定 裝置 | ||
1、一種光學式測定裝置，其特征在于，具備：
屏幕、
能移動的載物臺、
使光向所述載物臺上放置的測定對象物照射的照明機構、
檢測所述載物臺移動量的檢測機構、
把放置在所述載物臺上的測定對象物的光學圖像在所述屏幕上成像的第一成像機構和第二成像機構、
利用所述第一成像機構和所述第二成像機構的任一個把所述光學圖像在所述屏幕上成像進行切換的切換機構、
記錄所述光學圖像的記錄機構，
所述第一成像機構具備：
對所述光學圖像進行攝像的攝像機構、
把所述攝像機構攝像的所述光學圖像作為數字形式的圖像數據輸出的輸出機構、
根據所述輸出機構輸出的所述圖像數據把所述光學圖像向所述屏幕進行投影的投影機構，
所述第二成像機構具備：把被所述照明機構照射并被所述測定對象物反射或透射所述測定對象物的光向所述屏幕投影的投影透鏡，
所述記錄機構記錄所述第一成像機構的所述輸出機構輸出的所述圖像數據。
2、如權利要求1所述的光學式測定裝置，其特征在于，
所述投影機構具備：
根據所述圖像數據把所述光學圖像進行顯示的液晶板和向所述液晶板照射光的光源，
利用從所述光源照射并被所述液晶板反射或透射所述液晶板的光把所述光學圖像向所述屏幕投影。
3、如權利要求1所述的光學式測定裝置，其特征在于，
具備計算所述測定對象物的測定對象部位置信息的演算部，
所述演算部根據所述圖像數據和所述檢測機構檢測出的所述載物臺的移動量來計算所述測定對象部的位置信息。
4、如權利要求1所述的光學式測定裝置，其特征在于，
具備制作顯示有關測定信息的信息圖像的信息圖像制作部，
所述輸出機構把所述信息圖像制作部制作的信息圖像與所述攝像機構攝像的所述光學圖像組合而作為數字形式的圖像數據來輸出。
5、如權利要求1到權利要求4任一項所述的光學式測定裝置，其特征在于，
具備設置在從所述第二成像機構的所述投影透鏡朝向所述屏幕的光路上的半透半反鏡，
所述第一成像機構利用被所述半透半反鏡反射或透射所述半透半反鏡的光把所述光學圖像在所述屏幕上成像，
所述第二成像機構利用透射所述半透半反鏡或被所述半透半反鏡反射的光把所述光學圖像在所述屏幕上成像，
所述切換機構具備：根據從所述第一成像機構和所述第二成像機構中選擇的任一個成像機構而停止向所述半透半反鏡進行光照射的停止機構。
6、如權利要求1到權利要求4任一項所述的光學式測定裝置，其特征在于，
所述第一成像機構的所述投影機構被設置在從所述第二成像機構的所述投影透鏡朝向所述屏幕的光路上偏離的待機位置處，
所述切換機構具備：
使所述投影機構在所述待機位置與光能向所述屏幕照射的投影位置之間移動的移動機構、
停止從所述第二成像機構向所述屏幕進行光照射的停止機構，
在所述投影機構位于所述投影位置時，所述停止機構停止從所述第二成像機構向所述屏幕進行光照射。
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