[發明專利]基板搬運裝置和電纜配線構造

有效

• 申請號: 200810088537.2
• 申請日: 2008-03-27
• 公開（公告）號: CN101277006A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發明（設計）人: 末木英人;大野仁久;中山秀樹
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H02G11/00
• 分類號: H02G11/00;H01L21/68
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉春成

技術領域

本發明涉及配置將電力和信號等供給如搭載有用于搬運半導體晶片或FPD(Flat?Panel?Display(平板顯示器))基板等的搬運臂的旋轉臺那樣帶有旋轉的機構的配有多條電纜的電纜配線構造和基板搬運裝置。

背景技術

例如在半導體制造過程中對半導體晶片或FPD基板等的基板施加蝕刻和成膜等的預定處理的半導體制造裝置中，為將基板運送到裝置內的各個地方，而設置了具有搬運臂的基板搬運裝置。搬運臂以能夠改變臂的伸縮方向的方式安裝在例如旋轉臺上。在這種基板搬運裝置中，因為將搬運臂的驅動機構搭載在旋轉臺上，所以要求將用于將電力和信號供給該驅動機構的多條線體例如電線和電纜等配置在旋轉臺上。

當將例如多條電纜配置在這種旋轉臺等的旋轉部件上時，一直以來，將多條電纜直接分散地配置在這種旋轉部件與殼體內的底部之間，以不使這些電纜相互摩擦的程度，增大電纜的配線空間。

可是，近年來，伴隨著半導體制造裝置的多功能化，即便對于這種基板搬運裝置也要求單元小型化，用于電纜配線的空間也要求盡可能節省空間化。另一方面，伴隨著設置在旋轉臺上的搬運臂等的多功能化，存在著必須配置的電纜數也增加，進一步地供給的電力也增加電纜的直徑也增大的傾向。

對于將這種電纜放入到比以前狹小的空間中，如果與現有技術同樣直接分散配置電纜，則電纜的配線空間越狹小，當旋轉臺旋轉，電纜運動時，電纜之間越容易相互摩擦或相互纏繞，因此可能會在電纜自身上加上負荷，導致電纜損傷、斷線等。另外，當旋轉臺旋轉，電纜運動時，因為許多電纜分散地相互纏繞運動，所以要預測整體形態和運動的軌跡是非常困難的。

在這種情況下，也考慮用電纜導管和電纜支架(ベア：bear)等將這許多電纜匯集成1條，但是當用這種電纜導管和電纜支架匯集時，因為電纜數越多，并且單體電纜的直徑越粗，電纜導管和電纜支架也越粗，所以不能夠將電纜導管和電纜支架自身放入到狹小的空間中。即便暫時能夠放入，當旋轉臺旋轉時，也可能會在電纜導管和電纜支架內許多電纜相互摩擦或在電纜上加上負荷。

此外，在專利文獻1中，記載有如下的電纜裝置，即，順次地沿直徑方向排列設置有形成為環狀的多條單體電纜，使它們相互接合而形成為扁平形環狀形式的集成電纜，并以在俯視圖中沿上下方向曲折的形式將這種集成電纜彎曲成大致U字狀。在該電纜裝置中，當旋轉彎曲部時，彎曲部沿上下方向脹開，由此，吸收彎曲部的相對旋轉，防止電纜纏繞。在這種裝置中，因為將彎曲部折成U字狀，所以對單體電纜的直徑比較小容易彎曲的情形是有效的。但是，如所述那樣單體電纜的直徑越大，不僅要彎曲成U字狀本身變得越加困難，而且即便能夠彎曲成U字狀，因為加在各單體電纜的彎曲部分上的負荷變得極大，所以形成這種形態也是不適當的。

[專利文獻1]日本特開2000-69655號專利公報

發明內容

因此，本發明就是鑒于這種問題提出的，其目的在于，提供一種電纜的配線構造和基板搬運裝置，當將電纜配置在旋轉部件上時，能夠抑制加在構成電纜的各線體上的負荷，并且防止當電纜伴隨旋轉部件的旋轉而運動時發生相互摩擦或相互纏繞，更加節省電纜的配線空間。

為了解決所述課題，根據本發明的觀點，提供一種配線結構，其特征在于，包括：具有電纜配線空間的殼體；以俯瞰該電纜配線空間的方式，能夠相對旋轉地配設在所述殼體中的旋轉部件、和使排列成帶狀的多條線體相互接合形成一體化的，將所述各線體以沿鉛直方向排列的方式配置在所述旋轉部件上，并收容在所述電纜配線空間中的扁平狀的電纜，將所述扁平狀電纜的一端安裝在從所述旋轉部件的旋轉中心錯開的位置上，以從該處向所述電纜配線空間漸漸增大卷繞直徑的螺旋狀的方式，將電纜的另一端安裝在所述殼體上。此外，對于所述旋轉部件，不僅包括例如如旋轉臺那樣作為單體旋轉的旋轉部件主體，也包括安裝在旋轉部件主體上并與旋轉部件主體一起旋轉的旋轉體、旋轉板等。

為了解決所述課題，根據本發明的另一觀點，提供一種電纜配線構造，將電纜配置在能夠相對旋轉的旋轉部件上，其特征在于，所述電纜是使排列成帶狀的多條線體相互接合形成一體化的扁平狀電纜，將所述扁平狀電纜的一端安裝在從所述旋轉部件的鉛直的旋轉中心錯開的位置上，從該處向鉛直方向漸漸增大卷繞直徑的螺旋狀地進行配線。