[發明專利]基板搬運裝置和電纜配線構造有效
| 申請號: | 200810088537.2 | 申請日: | 2008-03-27 |
| 公開(公告)號: | CN101277006A | 公開(公告)日: | 2008-10-01 |
| 發明(設計)人: | 末木英人;大野仁久;中山秀樹 | 申請(專利權)人: | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號: | H02G11/00 | 分類號: | H02G11/00;H01L21/68 |
| 代理公司: | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人: | 劉春成 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 搬運 裝置 電纜 構造 | ||
1.一種電纜配線構造,其特征在于:包括,
具有電纜配線空間的殼體;
以俯瞰該電纜配線空間的方式,能夠相對旋轉地配設在所述殼體中的旋轉部件;以及
收容在所述電纜配線空間中的扁平狀的電纜,該電纜由排列成帶狀的多條線體相互接合形成為一體,且所述各線體以沿鉛直方向排列的方式配置在所述旋轉部件上;
所述扁平狀電纜的一端安裝在從所述旋轉部件的旋轉中心錯開的位置上,另一端以從該位置朝向所述電纜配線空間漸漸增大卷繞直徑的螺旋狀的方式安裝在所述殼體上。
2.一種電纜配線構造,其特征在于:
所述旋轉部件從它的始點角度到終點角度沿正反方向旋轉;
所述扁平狀電纜的長度至少是從所述旋轉部件的始點角度到終點角度與其旋轉角度相對應的所述扁平狀電纜的卷繞直徑變化的長度。
3.根據權利要求2所述的電纜配線構造,其特征在于:在所述扁平狀電纜的卷繞直徑成為最小時的所述旋轉部件的旋轉角度,所述扁平狀電纜的一端與所述扁平狀電纜的另一端沿水平方向錯開。
4.根據權利要求2所述的電纜配線構造,其特征在于:在所述扁平狀電纜的卷繞直徑成為最小時的所述旋轉部件的旋轉角度,從所述旋轉部件的中心觀察,所述扁平狀電纜的一端與所述扁平狀電纜的另一端在相同的一側錯開。
5.根據權利要求1所述的電纜配線構造,其特征在于:構成所述扁平狀電纜的多條線體全部具有同樣的彎曲率。
6.根據權利要求5所述的電纜配線構造,其特征在于:構成所述扁平狀電纜的多條線體全部具有相同的直徑。
7.根據權利要求1所述的電纜配線構造,其特征在于:在構成所述扁平狀電纜的多條線體中,包含集束有多條單體電纜的多芯電纜。
8.一種基板搬運機構,其特征在于:包括,
能夠相對旋轉地設置在殼體上面的旋轉臺;
用于搬運搭載在所述旋轉臺上的基板的搬運臂;
配設在所述殼體內的上方,能夠與所述旋轉臺一起圍繞鉛直軸旋轉的旋轉板;以及
配置在所述旋轉板和所述殼體底面之間的空間中的扁平狀電纜,該電纜由排列成帶狀的多條線體相互接合形成為一體、且所述各線體沿鉛直方向排列,
所述扁平狀電纜的一端安裝在從所述旋轉板的旋轉中心錯開的位置上,該電纜的另一端以從該位置向下漸漸增大卷繞直徑的螺旋狀的方式安裝在所述殼體上。
9.一種電纜配線構造,用于將電纜配置在能夠相對旋轉的旋轉部件上,其特征在于:
所述電纜是由排列成帶狀的多條線體相互接合形成為一體的扁平狀的電纜;
所述扁平狀的電纜的一端安裝在從所述旋轉部件的鉛直的旋轉中心錯開的位置上,并配置成從該位置向鉛直方向漸漸增大卷繞直徑的螺旋狀。
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