[發明專利]激光轉印裝置的轉印頭

無效

• 申請號: 200810088460.9
• 申請日: 2008-03-31
• 公開（公告）號: CN101276072A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發明（設計）人: 竹澤佳史;駒井良男;井上勇輝;和田竹彥
• 申請（專利權）人: 歐姆龍株式會社
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;G09F9/30;B23K26/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 陶鳳波

1、一種激光轉印裝置的轉印頭，用于在下述狀態支承轉印板，該轉印板在具有激光透射性的板狀小片的對物面上粘附轉印材料薄膜而構成，所述狀態為使轉印對象體的大致水平的被轉印面與轉印材料薄膜之間保持微小的大致一定的間隔而使轉印材料薄膜與被轉印面相對向，其特征在于，具有：

轉印板保持架，在其下面保持所述轉印板，并且向上面側開設有使所述轉印板露出的轉印窗口；

轉印頭機體，其具有所述轉印板保持架收納用空間，并且賦予水平方向及垂直方向的位置基準；

保持架支承機構，其相對于所述轉印頭機體、以可上下移動且不可水平移動的方式來支承收納在所述轉印頭機體的轉印板保持架收納用空間中的轉印板保持架；

轉印板浮起部件，通過向所述轉印板保持架的下方噴射壓力氣體，使所述轉印板與所述轉印板保持架一同、相對于所述被轉印面浮起。

2、如權利要求1所述的激光轉印裝置的轉印頭，其特征在于，

所述保持架支承機構由板簧構成，該板簧以所述轉印板保持架收納用空間的內周緣部為固定端、以收納在所述轉印板保持架收納用空間的轉印板保持架的外周緣部為自由端，以所述轉印板保持架相對于所述轉印頭機體可上下移動的方式支承于所述轉印板保持架與所述轉印頭機體之間。

3、如權利要求1所述的激光轉印裝置的轉印頭，其特征在于，

所述保持架支承機構由鋼球導向件構成，該鋼球導向件設于所述轉印板保持架收納用空間的內周面與收納在所述轉印板保持架收納用空間的轉印板保持架的外周面之間，以所述轉印板保持架相對于所述轉印頭機體可上下移動的方式支承在所述轉印板保持架與所述轉印頭機體之間。

4、如權利要求1所述的激光轉印裝置的轉印頭，其特征在于，

所述保持架支承機構由壓縮彈簧構成，該壓縮彈簧設于所述轉印板保持架收納用空間的內周面與收納在所述轉印板保持架收納用空間的轉印板保持架的外周面之間，以所述轉印板保持架相對于所述轉印頭機體可上下移動的方式彈性地按壓支承在所述轉印板保持架與所述轉印頭機體之間。

5、如權利要求1所述的激光轉印裝置的轉印頭，其特征在于，

所述保持架支承機構由樹脂軸承構成，該樹脂軸承設于所述轉印板保持架收納用空間的內周面與收納在所述轉印板保持架收納用空間的轉印板保持架的外周面之間，以所述轉印板保持架相對于所述轉印頭機體可上下移動的方式可滑動地支承在所述轉印板保持架與所述轉印頭機體之間。

6、如權利要求1所述的激光轉印裝置的轉印頭，其特征在于，

所述保持架支承機構由聯軸機構構成，使所述轉印板保持架收納用空間的內周面的內徑與收納在所述轉印板保持架收納用空間的轉印板保持架的外周面的外徑大致相同，所述聯軸機構將所述轉印板保持架和所述轉印板保持架收納用空間以上下自如滑動的方式嵌合支承。

7、如權利要求1所述的激光轉印裝置的轉印頭，其特征在于，

所述保持架支承機構包括：

多個壓力氣體噴嘴，其沿周向隔開適當距離而配置在所述轉印板保持架收納用空間的內周面；

環狀槽，其設置在所述轉印板保持架收納用空間中收納的轉印板保持架的外周面，接受從所述多個壓力氣體噴嘴噴射的壓力氣體。

8、如權利要求1所述的激光轉印裝置的轉印頭，其特征在于，

所述轉印板浮起部件包括：

壓力氣體供給部件，其用于將來自規定壓力氣體源的壓力氣體向所述轉印板保持架的壓力氣體入口孔供給；

保持架內壓力氣體通路，其將所述轉印板保持架的壓力氣體入口孔和所述轉印板保持架下面的多個壓力氣體出口孔連通；

多個壓力氣體噴射孔，其位于所述轉印板上，與所述轉印板保持架下面的多個壓力氣體出口孔位置對齊，

由此，通過使來自所述壓力氣體源的壓力氣體經由所述保持架內壓力氣體通路、由所述轉印板的所述壓力氣體噴射孔向轉印板保持架的下方噴射，使所述轉印板與所述轉印板保持架一同、相對于所述被轉印面浮起。

9、如權利要求8所述的激光轉印裝置的轉印頭，其特征在于，

所述壓力氣體供給部件是連接所述壓力氣體源與所述轉印板保持架的壓力氣體入口孔之間的撓性管。