[發明專利]加熱裝置

有效

• 申請號: 200810087859.5
• 申請日: 2008-03-26
• 公開（公告）號: CN101277554A
• 公開（公告）日: 2008-10-01
• 發明（設計）人: 岡島久和;后藤義信
• 申請（專利權）人: 日本礙子株式會社
• 主分類號: H05B3/20
• 分類號: H05B3/20;H05B3/06;H01L21/00;H01L21/687
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司
• 代理人: 張敬強

1.一種由陶瓷構成的加熱裝置，其特征在于，

具備：具有加熱面的板狀的加熱基體；以及，與該加熱基體的背面，軸線方向與上述背面垂直地接合的中空筒狀的支撐部件，

在上述加熱基體和上述支撐部件的接合部附近，形成將該加熱基體的背面和支撐部件的外表面光滑地連接的凹曲面部，該凹曲面部在包含上述支撐部件的軸線的剖面中，具有短軸方向與支撐部件的軸線方向平行的橢圓的圓弧曲線，上述凹曲面部在包含上述支撐部件的軸線的剖面中，橢圓的長軸半徑B對短軸半徑A的比B/A為1.5或其以上。

2.根據權利要求1所述的加熱裝置，其特征在于，

上述凹曲面部的表面粗糙度，按中心線平勻粗糙度Ra在0.8μm或其以下。