[發明專利]含硼氯硅烷物流的后處理

無效

• 申請號: 200810086559.5
• 申請日: 2008-03-20
• 公開（公告）號: CN101269815A
• 公開（公告）日: 2008-09-24
• 發明（設計）人: C·施瓦茨;D·施瓦茨;H·勞勒德;I·波利;A·內爾特;H·塞勒
• 申請（專利權）人: 贏創德固賽有限責任公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 溫宏艷;李連濤

1.從含硼氯硅烷混合物經蒸餾分離富硼蒸餾物流來制備貧硼氯硅烷的方法，其中在一或多個蒸餾塔的裝置中，至少在一個蒸餾塔中分流出富硼的側物流并進行處置或輸送到其它應用中。

2.從含硼氯硅烷混合物經蒸餾分離富硼蒸餾物流來制備貧硼三氯硅烷的方法，其中在只有一個蒸餾塔的裝置中分流出貧硼三氯硅烷側物流并輸送到進一步后處理或其它應用中，以及富硼塔頂物流或側物流被分流出并進行處置或輸送到其它應用中。

3.權利要求1或2的方法，其中在蒸餾塔或最下面的蒸餾塔中分流出貧硼四氯硅烷塔底物流并輸送到進一步后處理或其它應用中。

4.上述權利要求之一的方法，其中至少在一個蒸餾塔分流出貧硼三氯硅烷的側物流或塔底物流并輸送到進一步后處理或其它應用中。

5.權利要求4的方法，其中在多個蒸餾塔的情況下在不處于最下面的蒸餾塔之一中分流出貧硼三氯硅烷塔底物流。

6.權利要求4的方法，其中在多個蒸餾塔的情況下在這些蒸餾塔之一中分流出側物流，和在位于上述蒸餾塔之上的其它蒸餾塔之一中分流出貧硼三氯硅烷塔底物流，其中任選地將兩股貧硼三氯硅烷物流匯集。

7.上述權利要求之一的方法，其中在蒸餾塔中或者在多個蒸餾塔的情況下在不處于最下面的蒸餾塔的至少之一中分流出貧硼二氯硅烷塔頂物流，并且任選地與一股或多股貧硼三氯硅烷物流匯集或被輸送到其它應用中。

8.權利要求7的方法，其中從蒸餾塔或最上面的蒸餾塔的塔頂物流中分離出惰性氣體。

9.上述權利要求之一的方法，其中蒸餾在0.5-22bar，優選在1-10bar的壓力進行，而且在多個蒸餾塔的情況下各自壓力可相互獨立。

10.權利要求1-9之一的方法，其中含硼氯硅烷混合物含2-98重量％，優選40-95重量％的四氯硅烷；1-97重量％，優選5-50重量％的三氯硅烷；0.01-20重量％，優選0.05-5重量％二氯硅烷以及0.1-20重量ppm，優選0.5-5重量ppm的BCl₃。

11.權利要求1-9之一的方法，其中富硼側物流至少含蒸餾進料中所含的BCl₃量的20％，優選至少含其50％。

12.權利要求1-9之一的方法，其中一股或多股貧硼三氯硅烷側物流和/或塔頂物流含多于90重量％，優選99重量％的三氯硅烷，而且BCl₃份額低于蒸餾進料中的份額。

13.權利要求1-9之一的方法，其中貧硼低沸物塔頂物流含惰性氣體和含蒸餾進料所含BCl₃的量的最多60％，優選含其最多50％。

14.權利要求8的方法，其中匯集的貧硼三氯硅烷和二氯硅烷物流中BCl₃的份額低于蒸餾進料中的份額。

15.從含硼氯硅烷混合物制備貧硼氯硅烷的設備，包括：

a)適宜于蒸餾含硼氯硅烷混合物的一個或多個蒸餾塔，

b)用于導入含硼氯硅烷混合物的機構，該機構設置在蒸餾塔或最下面的蒸餾塔內，并適宜于導入優選1000-800000kg/h的質量流量，

c)用于分離貧硼四氯硅烷塔底物流的機構，該機構設置在蒸餾塔或最下面的蒸餾塔內，并適宜于導出優選500-750000kg/h的質量流量，

d)用于分離貧硼三氯硅烷側物流或塔底物流的機構，該機構設置在至少一個蒸餾塔內并適宜于導出優選1000-50000kg/h的質量流量，

e)用于分離貧硼低沸物、主要是二氯硅烷，的塔頂物流的機構，該機構設置在不處于最下面的蒸餾塔的至少之一內并適宜于導出優選10-1000kg/h的質量流量，

f)用于從蒸餾塔或者在多個蒸餾塔的情況下從最上面的蒸餾塔的塔頂物流分離惰性氣體的機構，以及

g)任選地，用于匯集來自塔頂物流的貧硼低沸物，主要是二氯硅烷，與一種或多種之前分離出的貧硼三氯硅烷物流的機構，以及用于導出經提純氯硅烷物流的機構，其中后者適宜于導出優選1000-50000kg/h的質量流量，

其中至少在蒸餾塔之一中設置用于分離富硼側物流的機構，該機構適宜于導出優選1-100kg/h的質量流量。

16.用于從含硼氯硅烷混合物制備貧硼氯硅烷的設備，包括：

a)適宜于蒸餾含硼氯硅烷混合物的蒸餾塔，

b)設置在蒸餾塔內的用于導入含硼氯硅烷混合物的機構，該機構適宜于導入優選1000-800000kg/h的質量流量，

c)設置在蒸餾塔內的用于分離貧硼四氯硅烷塔底物流的機構，該機構適宜于導出優選500-750000kg/h的質量流量，

d)設置在蒸餾塔內的用于分離貧硼三氯硅烷側物流的機構，該機構適宜于導出優選1000-50000kg/h的質量流量，和

e)用于從蒸餾塔塔頂物流分離惰性氣體的機構，

其中在蒸餾塔內設置用于分離富硼塔頂物流或側物流的機構，以便分離硼，該機構適宜于導出優選1-100kg/h的質量流量。